下载摆臂机构及固晶设备的技术资料

文档序号:41064208

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本申请属于半导体生产设备技术领域,更具体地说,是涉及一种摆臂机构及固晶设备。摆臂机构包括安装座、摆臂、转动装置以及摆动装置,所述摆臂绕第一方向可转动地连接于所述安装座;所述转动装置安装于所述安装座,所述转动装置用于驱动所述安装座绕第二方向转...
该专利属于深圳新益昌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新益昌科技股份有限公司授权不得商用。

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