一种等离子体增强化学气相沉积设备制造技术

本发明专利技术提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，涉及太阳能电池镀膜技术领域。该等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体，所述设备主体的内部设置有沉积室，所述沉积室的顶部固定连接有第一电极板，所述沉积室的底部固定连接有第二电极板，所述第二电极板的顶部放置有托盘；所述托盘的内部设置有滑槽，并且滑槽的内部设置有滑动连接有挡板，所述挡板的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板。通过设置滑槽、挡板、放置腔、挤压板、滑杆、顶紧弹簧、固定板和阻挡块，当工作人员需要对太阳能电池进行翻面时，工作人员用手下压挡板，使挡板进入滑槽内并且将太阳能电池从放置腔内移出，方便工作人员对太阳能电池进行翻面。便工作人员对太阳能电池进行翻面。便工作人员对太阳能电池进行翻面。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体增强化学气相沉积设备


[0001]本专利技术涉及太阳能电池镀膜
，具体为一种等离子体增强化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]等离子体化学气相沉积是指用等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。按产生等离子体的方法，分为射频等离子体、直流等离子体和微波等离子体CVD等，在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法，其中太阳能电池在镀膜时，常采用等离子体化学气相沉积设备进行镀膜。
[0003]现有的等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池镀膜时，都是将太阳能电池放置在托盘的凹槽内，之后会将托盘放置在两个电极板之间进行镀膜，当工作人员对太阳能电池的另一侧进行镀膜时需要将太阳能电池从凹槽内取出进行翻面，而太阳能电池的顶面通常与凹槽托盘的顶部平行设置，因此，太阳能电池的取出存在一定的不便。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种等离子体增强化学气相沉积设备，解决了太阳能电池从托盘的凹槽内取出不便的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体，所述设备主体的内部设置有沉积室，所述沉积室的顶部固定连接有第一电极板，所述沉积室的底部固定连接有第二电极板，所述第二电极板的顶部放置有托盘；
[0008]所述托盘的内部设置有滑槽，并且滑槽的内部设置有滑动连接有挡板，所述挡板的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板，并且横向侧板与纵向侧板相互垂直设置，所述横向侧板与纵向侧板之间形成放置腔，所述挡板的左右侧壁上均固定连接有挤压板，所述挤压板的底部固定连接有滑杆，所述滑杆的圆周面上套设有顶紧弹簧，所述托盘的左右侧壁上均固定连接有固定板，并且滑杆与固定板滑动连接，所述滑杆的底端固定连接有阻挡块，并且阻挡块位于固定板的下方，所述顶紧弹簧位于固定板的上方。
[0009]优选的，所述设备主体的左侧壁上设置有通孔，并且通孔的内部卡接有密封塞，所述密封塞靠近沉积室的一侧固定连接有连接杆，所述连接杆远离密封塞的一端与托盘固定连接，所述密封塞远离连接杆的一侧固定连接有封堵门，所述封堵门远离密封塞的一侧固定连接有把手。
[0010]优选的，所述托盘与通孔对应设置，并且托盘与通孔相适配，所述连接杆的数量设置有两个，并且连接杆对称设置在固定板的前后两侧。
[0011]优选的，所述沉积室的前后内壁上均设置有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，并且限位块与托盘固定连接。
[0012]优选的，所述设备主体的右侧壁上设置有进气管和出气管，并且进气管位于出气管的上方。
[0013]优选的，所述挤压板与固定板对应设置，并且挤压板位于固定板的上方，所述滑杆、顶紧弹簧和阻挡块的数量均设置有多个，并且均匀分布在挤压板和固定板之间。
[0014]优选的，所述托盘的内部设置有横向槽与纵向槽，并且横向槽与纵向槽均位于滑槽的内侧，所述横向槽与纵向槽相互垂直设置。
[0015]优选的，所述滑槽与挡板对应设置，所述横向侧板与横向槽对应设置，所述纵向侧板与纵向槽对应设置。
[0016](三)有益效果
[0017]本专利技术提供了一种等离子体增强化学气相沉积设备。具备以下有益效果：
[0018]本专利技术，通过设置滑槽、挡板、放置腔、挤压板、滑杆、顶紧弹簧、固定板和阻挡块，当工作人员需要对太阳能电池进行翻面时，工作人员用手下压挡板，使挡板进入滑槽内并且将太阳能电池从放置腔内移出，方便工作人员对太阳能电池进行翻面。
附图说明
[0019]图1为本专利技术正面剖视图；
[0020]图2为图1中A结构示意图；
[0021]图3为图1中B结构示意图；
[0022]图4为本专利技术托盘正面剖视图；
[0023]图5为本专利技术部分结构俯视图；
[0024]图6为本专利技术挡板结构示意图。
[0025]其中，1、设备主体；2、沉积室；3、第一电极板；4、第二电极板；5、进气管；6、出气管；7、通孔；8、密封塞；9、封堵门；10、把手；11、连接杆；12、托盘；13、限位块；14、限位槽；15、滑槽；16、挡板；17、放置腔；18、挤压板；19、滑杆；20、顶紧弹簧；21、固定板；22、阻挡块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]实施例：
[0028]如图1
‑
6所示，本专利技术实施例提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体1，设备主体1的内部设置有沉积室2，沉积室2的顶部固定连接有第一电极板3，沉积室2的底部固定连接有第二电极板4，第二电极板4的顶部放置有托盘12，托盘12采用铝合金、碳－碳复合材料、石墨、钛合金、碳纤维、不锈钢或玻璃等材料制成，避免在太阳能电池在镀膜的过程中托盘12发生形变；
[0029]托盘12的内部设置有滑槽15，并且滑槽15的内部设置有滑动连接有挡板16，滑槽
15主要用于挡板16的收纳，当工作人员需要对太阳能电池进行翻面时，用手下压挡板16，使挡板16进入滑槽15的内部，此时太阳能电池从放置腔17的内部移出，方便工作人员对太阳能电池翻面，挡板16的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板，并且横向侧板与纵向侧板相互垂直设置，横向侧板与纵向侧板的设置，主要对多个太阳能电池进行阻隔，横向侧板与纵向侧板之间形成放置腔17，挡板16的左右侧壁上均固定连接有挤压板18，挤压板18的底部固定连接有滑杆19，滑杆19主要对挡板16进行限位，使挡板16进行平稳地上下滑动，同时还能对顶紧弹簧20进行保护，避免挤压板18下移的过程中发生弯折，滑杆19的圆周面上套设有顶紧弹簧20，顶紧弹簧20始终处于压缩状态，并且利用顶紧弹簧20的弹力将挡板16顶起，并且将太阳能电池进行固定，当阻挡块22与固定板21接触时，挡板16仍然位于滑槽15的内部，不会从滑槽15的内部脱落，托盘12的左右侧壁上均固定连接有固定板21，并且滑杆19与固定板21滑动连接，滑杆19的底端固定连接有阻挡块22，并且阻挡块22位于固定板21的下方，阻挡块22主要对滑杆19进行限位，避免滑杆19从固定板21上脱落，同时避免挡板16从滑槽15内脱落，顶紧弹簧20位于固定板21的上方。
[0030]设备主体1的左侧壁上设置有通孔7，通孔7的设置方便托盘12的拿取与放置，并且通孔7的内部卡接有密封塞8，密封塞8主要将通孔7堵住，密封塞8靠近沉积室2的一侧固定连接有连接杆11，连接杆11的设置，主要将托盘12与密封塞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的内部设置有沉积室(2)，所述沉积室(2)的顶部固定连接有第一电极板(3)，所述沉积室(2)的底部固定连接有第二电极板(4)，所述第二电极板(4)的顶部放置有托盘(12)；所述托盘(12)的内部设置有滑槽(15)，并且滑槽(15)的内部设置有滑动连接有挡板(16)，所述挡板(16)的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板，并且横向侧板与纵向侧板相互垂直设置，所述横向侧板与纵向侧板之间形成放置腔(17)，所述挡板(16)的左右侧壁上均固定连接有挤压板(18)，所述挤压板(18)的底部固定连接有滑杆(19)，所述滑杆(19)的圆周面上套设有顶紧弹簧(20)，所述托盘(12)的左右侧壁上均固定连接有固定板(21)，并且滑杆(19)与固定板(21)滑动连接，所述滑杆(19)的底端固定连接有阻挡块(22)，并且阻挡块(22)位于固定板(21)的下方，所述顶紧弹簧(20)位于固定板(21)的上方。2.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备主体(1)的左侧壁上设置有通孔(7)，并且通孔(7)的内部卡接有密封塞(8)，所述密封塞(8)靠近沉积室(2)的一侧固定连接有连接杆(11)，所述连接杆(11)远离密封塞(8)的一端与托盘(12)固定连接，所述密封塞(8)远离连接杆(11)的一侧固定连接有封堵门(9)，所述封堵门(9)远离密封塞(8)的一侧固定连接有把手...

【专利技术属性】
技术研发人员：任斌，王乃雷，梁飞虎，
申请(专利权)人：江苏籽硕科技有限公司，
类型：发明
国别省市：