一种等离子体增强化学气相沉积设备制造技术

本发明专利技术提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，涉及太阳能电池镀膜技术领域。该等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体，所述设备主体的内部设置有沉积室，所述沉积室的顶部固定连接有第一电极板，所述沉积室的底部固定连接有第二电极板，所述第二电极板的顶部放置有托盘；所述托盘的内部设置有滑槽，并且滑槽的内部设置有滑动连接有挡板，所述挡板的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板。通过设置滑槽、挡板、放置腔、挤压板、滑杆、顶紧弹簧、固定板和阻挡块，当工作人员需要对太阳能电池进行翻面时，工作人员用手下压挡板，使挡板进入滑槽内并且将太阳能电池从放置腔内移出，方便工作人员对太阳能电池进行翻面。便工作人员对太阳能电池进行翻面。便工作人员对太阳能电池进行翻面。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体增强化学气相沉积设备


[0001]本专利技术涉及太阳能电池镀膜
，具体为一种等离子体增强化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]等离子体化学气相沉积是指用等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。按产生等离子体的方法，分为射频等离子体、直流等离子体和微波等离子体CVD等，在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法，其中太阳能电池在镀膜时，常采用等离子体化学气相沉积设备进行镀膜。
[0003]现有的等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池镀膜时，都是将太阳能电池放置在托盘的凹槽内，之后会将托盘放置在两个电极板之间进行镀膜，当工作人员对太阳能电池的另一侧进行镀膜时需要将太阳能电池从凹槽内取出进行翻面，而太阳能电池的顶面通常与凹槽托盘的顶部平行设置，因此，太阳能电池的取出存在一定的不便。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种等离子体增强化学气相沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的内部设置有沉积室(2)，所述沉积室(2)的顶部固定连接有第一电极板(3)，所述沉积室(2)的底部固定连接有第二电极板(4)，所述第二电极板(4)的顶部放置有托盘(12)；所述托盘(12)的内部设置有滑槽(15)，并且滑槽(15)的内部设置有滑动连接有挡板(16)，所述挡板(16)的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板，并且横向侧板与纵向侧板相互垂直设置，所述横向侧板与纵向侧板之间形成放置腔(17)，所述挡板(16)的左右侧壁上均固定连接有挤压板(18)，所述挤压板(18)的底部固定连接有滑杆(19)，所述滑杆(19)的圆周面上套设有顶紧弹簧(20)，所述托盘(12)的左右侧壁上均固定连接有固定板(21)，并且滑杆(19)与固定板(21)滑动连接，所述滑杆(19)的底端固定连接有阻挡块(22)，并且阻挡块(22)位于固定板(21)的下方，所述顶紧弹簧(20)位于固定板(21)的上方。2.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备主体(1)的左侧壁上设置有通孔(7)，并且通孔(7)的内部卡接有密封塞(8)，所述密封塞(8)靠近沉积室(2)的一侧固定连接有连接杆(11)，所述连接杆(11)远离密封塞(8)的一端与托盘(12)固定连接，所述密封塞(8)远离连接杆(11)的一侧固定连接有封堵门(9)，所述封堵门(9)远离密封塞(8)的一侧固定连接有把手...

【专利技术属性】
技术研发人员：任斌，王乃雷，梁飞虎，
申请(专利权)人：江苏籽硕科技有限公司，
类型：发明
国别省市：