一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构，涉及光伏组件生产技术领域。包括基座和若干个气缸，基座与板式PECVD自动化平台固定连接，若干个气缸的缸体均与基座连接，且若干个气缸两两一组间隔排布于板式PECVD自动化平台的载板传输皮带之间，每组气缸的伸缩杆末端固定连接有一个第一铝合金板，第一铝合金板上表面连接有铝合金网格架，铝合金网格架上表面连接有第二铝合金板，第二铝合金板上表面连接有若干个呈矩阵形式排布的热塑性塑料支撑柱。本实用新型专利技术能够避免支撑板在长时间的使用过程中出现形变，保证支撑板被气缸顶起时处于水平状态，从而保证载板被支撑板支撑时处于水平状态，避免硅片出现漏吸或吸嘴印加深。印加深。印加深。

【技术实现步骤摘要】
一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构


[0001]本技术涉及光伏组件生产
，具体为一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构。

技术介绍

[0002]在异质结太阳能电池的生产过程中，PECVD无疑是最为关键的工序，该工序制作的PN结是发生光生伏特效应的基础，由于PECVD为沉积式镀膜，且为了有较好镀膜均一性，因此目前异质结电池片生产所用的CVD设备主要为板式PECVD自动化平台，其工艺流程为：进行过表面清洗和织构化处理的N型单晶硅片经自动化平台从花篮上料到N型专用载板进CVD设备，依次制作本征非晶硅层和N型掺杂层，然后回到自动化平台经过翻转机构将硅片翻面再上料至P型专用载板后进CVD设备，依次制作本征非晶硅层和P型掺杂层，最后回到自动化平台从P型专用载板下料至花篮完成制程。其中，上下料机构普遍采用四脚吸盘，其利用真空发生器形成负压将硅片吸附在吸盘的四个吸嘴上来完成硅片的移动。由于吸嘴与硅片的直接接触，当吸盘从N/P型载板上吸起硅片的时候，如果载板表面水平度不够，将导致四脚吸盘吸腿与硅片距离不等，造成部分吸腿对硅片吸力不够，造成硅片的漏吸报警，这些硅片或因受力不均或因位置偏移与其他硅片干涉而发生碎片和划伤不良，拉高碎片率，拉低良率，造成不必要的成本损失；如果因此而加大吸盘吸力，增加吸盘的下压高度，虽然减少了漏吸片的情况，但是会在硅片上残留严重的吸嘴印，一样会造成良率的下降。基于这种漏吸和吸嘴印的矛盾，必须通过保证载板在自动化平台上的水平度，来保证吸盘吸片的水平，从而降低碎片和吸嘴印的风险，增加设备生产的稳定性。
[0003]为了保证载板水平，CVD自动化平台上需要加装载板支撑机构，该机构普遍采用多组气缸连接支撑板的组合，间隔排布于载板传输皮带之间。当载板进入自动化平台，夹紧气缸夹紧载板后，载板下方的所有支撑板气缸携带支撑板顶起，达到支撑并校准载板水平的目的，因此支撑板的水平以及顶升的高度都直接影响相应位置的载板水平。
[0004]现有的板式PECVD自动化平台的载板支撑结构中，支撑板使用ACETAL(乙缩醛热塑性塑料)材料制作而成，其虽然质量轻且耐高温，但在使用过程中会发生变形，从而影响硅片载板的水平，继而造成硅片出现漏吸或吸嘴印加深。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构。本技术的技术方案如下：
[0006]一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构，其包括基座和若干个气缸，所述基座与板式PECVD自动化平台固定连接，若干个气缸的缸体均与基座连接，且若干个气缸两两一组间隔排布于板式PECVD自动化平台的载板传输皮带之间，每组气缸的伸缩杆末端固定连接有一个第一铝合金板，所述第一铝合金板上表面连接有铝合金网格架，所述铝合金网格架上表面连接有第二铝合金板，所述第二铝合金板上表面连接有若干个呈矩阵形式排布的
热塑性塑料支撑柱。
[0007]可选地，热塑性塑料支撑柱位于铝合金网格架的纵横交汇处。
[0008]可选地，所述每组气缸的伸缩杆末端与第一铝合金板两端连接，且每组气缸中两个气缸与第一铝合金板的固定连接处与任一气缸的缸体底面组成三角形结构。
[0009]可选地，所述热塑性塑料支撑柱的材质为PEEK。
[0010]可选地，所述热塑性塑料支撑柱为圆柱形，直径为3cm，圆心处设有螺丝沉孔，并通过螺丝沉孔与第二铝合金板连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]本技术通过设置第二铝合金板、第一铝合金板、铝合金网格架和热塑性塑料支撑柱，即设置支撑板由第二铝合金板、第一铝合金板和铝合金网格架构成，铝合金材质的支撑板既能耐高温，也能够在长时间的使用过程中不易发生形变，达到了能够避免支撑板在长时间的使用过程中出现形变，保证支撑板被气缸顶起时处于水平状态，从而保证载板被支撑板支撑时处于水平状态，继而避免硅片出现漏吸或吸嘴印加深的效果。热塑性塑料支撑柱能够避免较硬的第二铝合金板对载板背面造成冲击，避免载板背面受到撞击损伤。
附图说明
[0013]图1为本技术立体图；
[0014]图2为本技术图1中A的放大结构示意图；
[0015]图3为本技术主视结构示意图；
[0016]图4为本技术侧视结构示意图；
[0017]图5为本技术第二铝合金板仰视结构示意图。
[0018]附图标记：1、载板传输皮带；2、热塑性塑料支撑柱；3、基座；4、第二铝合金板；5、铝合金网格架；6、第一铝合金板；7、气缸。
具体实施方式
[0019]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0020]如图1至图5所示，本技术提出的一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构，包括基座3和若干个气缸7，所述基座3与板式PECVD自动化平台固定连接，若干个气缸7的缸体均与基座3连接，且若干个气缸7两两一组间隔排布于板式PECVD自动化平台的载板传输皮带1之间，每组气缸7的伸缩杆末端固定连接有一个第一铝合金板6，所述第一铝合金板6上表面连接有铝合金网格架5，所述铝合金网格架5上表面连接有第二铝合金板4，所述第二铝合金板4上表面连接有若干个呈矩阵形式排布的热塑性塑料支撑柱2。
[0021]可选地，热塑性塑料支撑柱2位于铝合金网格架5的纵横交汇处，由于铝合金网格架5纵横交汇处的强度较高，使得第二铝合金板4和铝合金网格架5不易发生形变。
[0022]本技术在使用时，第二铝合金板4、第一铝合金板6以及铝合金网格架5均为铝合金材质，整个载板支撑机构的支撑板由第二铝合金板4、第一铝合金板6和铝合金网格架5构成，铝合金材质的支撑板既能耐高温，在长时间的使用过程中也不易发生形变，虽然质量相对于ACETAL材质的支撑板较重，但在具体实施时，可以设置第二铝合金板4和第一铝合金板6的厚度为当前使用的载板支撑机构中ACETAL材质的支撑板的一半或更少。铝合金材质
的铝合金网格架5的设置既能够降低铝合金材质支撑板的重量，又能够保持载板支撑机构整体的强度。热塑性塑料支撑柱2在保证良好支撑的前提下，能够避免较硬的第二铝合金板4对载板背面造成冲击，避免载板背面受到撞击损伤。
[0023]可选地，所述每组气缸7的伸缩杆末端与第一铝合金板6两端连接，且每组气缸7中两个气缸7与第一铝合金板6的固定连接处与任一气缸7的缸体底面组成三角形结构。由于三角形具有稳定性，因而可以提高气缸7和第一铝合金板6固定连接处的稳定性，尽可能地保证了对载板的水平支撑。
[0024]可选地，所述热塑性塑料支撑柱2的材质为PEEK。PEEK耐高温且质轻。所述热塑性塑料支撑柱2为圆柱形，直径为3cm，圆心处设有螺丝沉孔，并通过螺丝沉孔与第二铝合金板4连接。热塑性塑料支撑柱2能够避免对载板背面产生划痕。
[0025]为了说明本技术的有益效果，下面提供改进前的ACETAL支撑板和改进后的铝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构，其特征在于：包括基座(3)和若干个气缸(7)，所述基座(3)与板式PECVD自动化平台固定连接，若干个气缸(7)的缸体均与基座(3)连接，且若干个气缸(7)两两一组间隔排布于板式PECVD自动化平台的载板传输皮带(1)之间，每组气缸(7)的伸缩杆末端固定连接有一个第一铝合金板(6)，所述第一铝合金板(6)上表面连接有铝合金网格架(5)，所述铝合金网格架(5)上表面连接有第二铝合金板(4)，所述第二铝合金板(4)上表面连接有若干个呈矩阵形式排布的热塑性塑料支撑柱(2)。2.根据权利要求1所述的一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构，其特征在于：所述热塑性塑料支撑柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛志楠，郭磊，王明明，江科，王强强，霍礼煜，王泰，孙建相，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：