温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种板式PECVD自动化平台的载板支撑机构，涉及光伏组件生产技术领域。包括基座和若干个气缸，基座与板式PECVD自动化平台固定连接，若干个气缸的缸体均与基座连接，且若干个气缸两两一组间隔排布于板式PECVD自动化平台的载板传输...
该专利属于晋能光伏技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能光伏技术有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。