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本发明提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，涉及太阳能电池镀膜技术领域。该等离子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体，所述设备主体的内部设置有沉积室，所述沉积室的顶部固定连接有第一电极板，所述沉积室的底部固定连接有第二电极板，所述第二电极板...
该专利属于江苏籽硕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏籽硕科技有限公司授权不得商用。

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