并行反馈水净化系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种并行反馈水净化系统及方法，所述系统包括沿水流方向依次设置的前级净化系统与主净化系统，还包括：旁路净化系统，旁路净化系统与主净化系统相连，用于将主净化系统出水口的至少部分水再次过滤净化，之后进入主净化系统的进水口进行重复过滤净化。本发明专利技术通过并行反馈形成多次循环过滤，使得即使主净化系统或旁路净化系统中的部分净化部件失效，也不会影响整个水净化系统的水的质量，水净化系统的稳定性、可靠性得到了提高。同时，也避免了水净化系统中水的质量降低时需要同时更换所有的净化部件，提高了水净化系统的使用寿命，降低了更换频率，从而避免浪费，降低工艺用水净化系统的运营成本。水净化系统的运营成本。水净化系统的运营成本。

【技术实现步骤摘要】
并行反馈水净化系统及方法


[0001]本专利技术涉及水净化系统
，特别涉及一种并行反馈水净化系统及方法。

技术介绍

[0002]在高端芯片制造的全部工艺流程中有许多制约最终成品率的关键点，而厂房内的工艺水质量无疑是其中最基础也是最重要的关键点之一。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。高纯水的国家标准为：GB1146.1
‑
89至GB1146.11
‑
89，目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质，其中TOC(总有机碳)小于1ppb～10ppb，DO(溶解氧)小于1ppb～10ppb，颗粒0.05微米小于200个/升，离子含量大部分小于20ppt～50ppt。但对于高纯水来说这些指标是不够的，还应该检测纯水中某项杂质的含量。这是因为电阻率是衡量水中电介质总和的参数，不能表征某一单项杂质的含量，而高纯水所关心的不仅仅是杂质的总含量，而且要关注某单项杂质元素的含量。
[0003]随着芯片工艺进步，芯片的线宽逐渐减小，对于能够造成线间短路的工艺水中杂质颗粒尺寸和数目，以及某一单项杂质的去除要求不断增加，现有的多级净化过滤器增加级数的方法不但会增加成本，而且也会降低可靠性。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种并行反馈水净化系统及方法，以降低成本，提高水净化系统的可靠性。
[0005]为解决上述技术问题，根据本专利技术的第一个方面，提供了一种并行反馈水净化系统，包括沿水流方向依次设置的前级净化系统与主净化系统，其特征在于，还包括：旁路净化系统，所述旁路净化系统与所述主净化系统相连，用于将所述主净化系统出水口的至少部分水再次过滤净化，之后进入所述主净化系统的进水口进行重复过滤净化。
[0006]可选的，所述旁路净化系统的净化部件与所述主净化系统的净化部件相同。
[0007]可选的，所述旁路净化系统沿水流方向依次包括：精密过滤器、高效反渗透器、中间水箱、EDI水泵、EDI系统以及微孔过滤器。
[0008]可选的，所述旁路净化系统还包括变频调速水泵，位于所述主净化系统的出水口与所述精密过滤器之间，用于调节流经所述旁路净化系统的水的回流比。
[0009]可选的，所述并行反馈水净化系统还包括控制系统，用于根据所述主净化系统出水口的水的质量来控制所述变频调速水泵的转速以调节回流比。
[0010]可选的，所述控制系统包括水质传感器与PID变频控制器，所述水质传感器用于检测所述主净化系统出水口的水的质量并传输至所述PID变频控制器，所述PID变频控制器用于控制所述变频调速水泵的转速。
[0011]为解决上述技术问题，根据本专利技术的第二个方面，还提供了一种并行反馈水净化方法，包括：
[0012]采用前级净化系统对自来水进行初步过滤净化之后流入主净化系统的进水口；
[0013]采用所述主净化系统对水进行进一步过滤净化；以及
[0014]采用旁路净化系统对所述主净化系统的出水口的至少部分水再次进行过滤净化，之后进入所述主净化系统的进水口。
[0015]可选的，采用变频调速水泵调节流经所述旁路净化系统的水的回流比。
[0016]可选的，采用水质量传感器检测所述主净化系统出水口的水的质量并传输至PID变频控制器；采用所述PID变频控制器控制所述变频调速水泵的转速。
[0017]可选的，若水的质量低于设定值，所述PID变频控制器控制变频调速水泵提高转速，以提高回流比；若水的质量高于设定值，所述PID变频控制器控制所述变频调速水泵降低转速，以降低回流比；若水的质量达到设定值，所述PID变频控制器控制所述变频调速水泵维持当前转速。
[0018]综上所述，在本专利技术提供的并行反馈水净化系统及方法中，通过并行反馈使得主净化系统出水口的至少部分水经过旁路净化系统再次过滤净化，之后进入所述主净化系统的进水口进行重复过滤净化，形成多次循环过滤，使得即使主净化系统或旁路净化系统中的部分净化部件失效，也不会影响整个水净化系统的水的质量，水净化系统的稳定性、可靠性得到了提高。同时，也避免了水净化系统中水的质量降低时需要同时更换所有的净化部件，提高了水净化系统的使用寿命，降低了更换频率，从而避免浪费，降低工艺用水净化系统的运营成本。
[0019]进一步的，采用水质量传感器检测所述主净化系统出水口的水的质量并传输至PID变频控制器，采用PID变频控制器根据水的质量调节变频调速水泵的转速以调节流经所述旁路净化系统的水的回流比，使水的质量可以通过回流比得到控制，从而提高了并行反馈水净化系统的可控性，进一步降低并行反馈水净化系统的运营成本。
附图说明
[0020]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本专利技术，而不对本专利技术的范围构成任何限定。其中：
[0021]图1是本专利技术一实施例提供的并行反馈水净化系统的结构示意图。
[0022]图2是本专利技术一实施例提供的前级净化系统的结构示意图。
[0023]图3是本专利技术一实施例提供的主净化系统、旁路净化系统以及控制系统的结构示意图。
[0024]附图中：
[0025]10
‑
前级净化系统；20
‑
主净化系统；30
‑
旁路净化系统；31
‑
变频调速水泵；40
‑
控制系统；41
‑
水质传感器；42
‑
PID变频控制器。
具体实施方式
[0026]为使本专利技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0027]如在本专利技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本专利技术中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本专利技术中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本专利技术中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
[0028]本专利技术的核心思想在于提供一种并行反馈水净化系统及方法，以降低成本，提高水净化系统的可靠性。
[0029]所述并行反馈水净化系统包括：沿水流方向依次设置的前级净化系统与主净化系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种并行反馈水净化系统，包括沿水流方向依次设置的前级净化系统与主净化系统，其特征在于，还包括：旁路净化系统，所述旁路净化系统与所述主净化系统相连，用于将所述主净化系统出水口的至少部分水再次过滤净化，之后进入所述主净化系统的进水口进行重复过滤净化。2.根据权利要求1所述的并行反馈水净化系统，其特征在于，所述旁路净化系统的净化部件与所述主净化系统的净化部件相同。3.根据权利要求1所述的并行反馈水净化系统，其特征在于，所述旁路净化系统沿水流方向依次包括：精密过滤器、高效反渗透器、中间水箱、EDI水泵、EDI系统以及微孔过滤器。4.根据权利要求3所述的并行反馈水净化系统，其特征在于，所述旁路净化系统还包括变频调速水泵，位于所述主净化系统的出水口与所述精密过滤器之间，用于调节流经所述旁路净化系统的水的回流比。5.根据权利要求4所述的并行反馈水净化系统，其特征在于，所述并行反馈水净化系统还包括控制系统，用于根据所述主净化系统出水口的水的质量来控制所述变频调速水泵的转速以调节回流比。6.根据权利要求5所述的并行反馈水净化系统，其特征在于，所述控制系统包括水质传感器与PID变频控制器，所述水质...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵志伟，
申请(专利权)人：上海传芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：