均匀换气降速结构及晶圆传送盒制造技术

本公开是关于一种均匀换气降速结构及晶圆传送盒，涉及半导体技术领域，均匀换气降速结构包括：缓冲通道以及迷宫扰流结构；缓冲通道的一端具有进气口，另一端延伸至待换气位置；迷宫扰流结构包括活动连接于进气口的阀门以及固定连接于缓冲通道内的挡板，阀门与缓冲通道的内壁之间形成可调节的第一开口，挡板阻挡经过第一开口进入缓冲通道内的气流向待换气位置流动。本公开通过迷宫扰流结构对通过进气口之后的气流的流动进行干扰阻碍，使这部分气流的流动受阻并改变方向，达到降低气体流速的目的，减小气体流速过大喷吹在晶圆上造成扬尘的可能，减小了由于氮气通入造成扬尘进而给后续制程带来的风险。后续制程带来的风险。后续制程带来的风险。

【技术实现步骤摘要】
均匀换气降速结构及晶圆传送盒


[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种均匀换气降速结构及晶圆传送盒。

技术介绍

[0002]当前，根据制程需求，部分产品的工艺要求产品减少与空气接触，晶圆传送盒在加载进机台后便开始被通入氮气，从而使晶圆传送盒内的气压高于机台大气模块的气压。
[0003]现有技术的缺点在于：晶圆传送盒的内部气压要求较大，要在较短时间内达到预设的压力且保持动态平衡，需要供给晶圆传送盒较大的氮气压力，这就导致氮气流速较高，会由于形成扬尘而产生影响制程的风险。

技术实现思路

[0004]以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0005]为克服相关技术中存在的问题，本公开提供了一种均匀换气降速结构及晶圆传送盒。
[0006]本公开实施例的第一方面，提供了一种均匀换气降速结构，均匀换气降速结构包括：缓冲通道以及迷宫扰流结构；缓冲通道的一端具有进气口，另一端延伸至待换气位置；迷宫扰流结构包括活动连接于进气口的阀门以及固定连接于缓冲通道内的挡板，阀门与缓冲通道的内壁之间形成可调节的第一开口，挡板阻挡经过第一开口进入缓冲通道内的气流向待换气位置流动。
[0007]根据本公开的一些实施例，所述进气口无气体通过时，所述第一开口封闭，所述第一开口的开启程度与经过所述进气口的气流流速呈正比。
[0008]根据本公开的一些实施例，所述挡板的顶端与所述缓冲通道内壁之间形成供气流通过的第二开口，所述第一开口与所述第二开口在所述缓冲通道的长度方向上交错分布。
[0009]根据本公开的一些实施例，所述阀门包括铰接于所述进气口的门板，所述门板的转动轴线与经过所述进气口的气流方向夹角设置。
[0010]根据本公开的一些实施例，所述缓冲通道内设有用于驱动所述门板转动后遮盖所述第一开口的弹性件。
[0011]本公开实施例的第二方面，提供一种晶圆传送盒，所述晶圆传送盒包括盒体以及开设于盒体上的进风口，进风口与进气口连通，前述的均匀换气降速结构内置于所述盒体内，所述盒体内分为多层子传送层，每一子传送层均对应一缓冲通道。
[0012]根据本公开的一些实施例，所述缓冲通道呈阶梯状分布，所述进气口沿斜向在竖直方向上分布。
[0013]根据本公开的一些实施例，进风口的两端分别位于盒体的内侧和外侧，进风口自位于盒体内侧的一端向进风口位于盒体外侧的一端的内径逐渐缩小。
[0014]根据本公开的一些实施例，盒体内固定连接有与进风口连通并用阻碍经进风口进
入盒体内的气体流动的滤芯。
[0015]根据本公开的一些实施例，盒体内部设有缓冲板，缓冲板上开设有供气流通过的缓冲孔，缓冲板位于经过缓冲通道流动至子传送层的气流的流动路径上。
[0016]本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：通过迷宫扰流结构对通过进气口之后的气流的流动进行干扰阻碍，使这部分气流的流动受阻并改变方向，达到降低气体流速的目的，减小气体流速过大喷吹在晶圆上造成扬尘的可能，减小了由于气体通入造成扬尘进而给后续制程带来的风险。
[0017]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。
附图说明
[0018]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。
[0019]图1是根据一示例性实施例示出的表示均匀换气降速结构未工作时的结构示意图。
[0020]图2是根据一示例性实施例示出的表示均匀换气降速结构的工作状态示意图。
[0021]图3是根据另一示例性实施例示出的表示挡板分布位置的示意图。
[0022]图4是根据一示例性实施例示出的表示均匀换气降速结构在堆叠使用状态下的示意图。
[0023]图5是根据一示例性实施例示出的表示晶圆传送盒结构的示意图。
[0024]图6是根据一示例性实施例示出的表示缓冲板位置的示意图。
[0025]图7是根据一示例性实施例示出的表示缓冲板结构的示意图。
[0026]图8是根据另一示例性实施例示出的表示缓冲通道呈阶梯状分布时的晶圆传送盒的结构示意图。
[0027]图9是根据一示例性实施例示出的表示滤芯结构的示意图。
[0028]1、缓冲通道；11、进气口；12、第一开口；13、第二开口；2、迷宫扰流结构；21、阀门；211、门板；212、弹性件；22、挡板；3、缓冲板；31、缓冲孔；4、盒体；41、风道；42、进风口；43、子传送层；431、晶圆；5、滤芯；51、通气孔；6、泄气通道；61、泄气口。
具体实施方式
[0029]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
[0030]如
技术介绍
所言，晶圆传送盒的气压要求较大，要在较短时间内达到预设的压力且保持动态平衡，需要供给晶圆传送盒较大的氮气压力，这就导致氮气流速较高，会由于形成扬尘进而产生影响制程的风险。
[0031]基于此本公开提供了一种均匀换气降速结构及晶圆传送盒，通过迷宫扰流结构对
通过进气口之后的气流的流动进行干扰阻碍，使这部分气流的流动受阻并改变方向，达到降低气体流速的目的，减小气体流速过大喷吹在晶圆上造成扬尘的可能，减小了由于氮气通入造成扬尘进而给后续制程带来的风险。
[0032]本公开示例性的实施例中提供一种均匀换气降速结构及晶圆传送盒，如图1所示，图1是根据一示例性实施例示出的表示均匀换气降速结构未工作时的结构示意图；图2是根据一示例性实施例示出的表示均匀换气降速结构的工作状态示意图；图3是根据另一示例性实施例示出的表示挡板分布位置的示意图；图4是根据一示例性实施例示出的表示均匀换气降速结构在堆叠使用状态下的示意图；图5是根据一示例性实施例示出的表示晶圆传送盒的结构示意图；图6是根据一示例性实施例示出的表示缓冲板位置的示意图；图7是根据一示例性实施例示出的表示缓冲板结构的示意图；图8是根据另一示例性实施例示出的表示缓冲通道呈阶梯状分布时的晶圆传送盒结构的示意图；图9是根据一示例性实施例示出的表示滤芯结构的示意图。
[0033]下文中记载的一些具体实施方式目的在于便于本领域技术人员理解本实施例，本实施例并不以下文中记载的一些具体实施方式为限。
[0034]参照图1和图2，本公开一示例性实施例提供的一种均匀换气降速结构，均匀换气降速结构包括：缓冲通道1以及迷宫扰流结构2；缓冲通道1的一端具有进气口11，另一端延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种均匀换气降速结构，其特征在于，所述均匀换气降速结构包括：缓冲通道以及迷宫扰流结构；所述缓冲通道的一端具有进气口，另一端延伸至待换气位置；所述迷宫扰流结构包括活动连接于所述进气口的阀门以及固定连接于所述缓冲通道内的挡板，所述阀门与所述缓冲通道的内壁之间形成可调节的第一开口，所述挡板阻挡经过所述第一开口进入所述缓冲通道内的气流向所述待换气位置流动。2.根据权利要求1所述的均匀换气降速结构，其特征在于，所述进气口无气体通过时，所述第一开口封闭，所述第一开口的开启程度与经过所述进气口的气流流速呈正比。3.根据权利要求2所述的均匀换气降速结构，其特征在于，所述挡板的顶端与所述缓冲通道内壁之间形成供气流通过的第二开口，所述第一开口与所述第二开口在所述缓冲通道的长度方向上交错分布。4.根据权利要求1所述的均匀换气降速结构，其特征在于，所述阀门包括铰接于所述进气口的门板，所述门板的转动轴线与经过所述进气口的气流方向夹角设置。5.根据权利要求4所述的均匀换气降速结构，其特征在于，所述缓冲通道内设有用于驱动所述门...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘浩，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：