本发明专利技术提供了一种紫外线光源及利用该紫外线光源的照射装置，该含有灯管的紫外线光源，该灯管用于发出紫外线光，其特征在于所述的灯管为多个环状灯管，所述多个环状灯管通过支架被布置成具有同一个中心线。该紫外线照射装置包括：如上所述的紫外线光源；用于支撑所述光源的支撑件；包容所述光源的灯罩，该灯罩底部设有使所述支撑件穿过的孔，并在与其底部相反的方向具有使所述光源沿其中心线方向射出紫外线的开口；用于固定所述支撑件及所述灯罩的基座。通过本发明专利技术的紫外线光源可以使紫外光线能够均匀地照射晶圆背面，从而减少后续工艺发生芯片丢失，芯片断裂等不良后果，实现了产品效率的提升。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种紫外线光源及一种利用该紫外线光源的照射装置，更具 体地讲，涉及一种能够均匀地照射晶圓背面的紫外线光源以及利用该紫外线 光源的照射装置。
技术介绍
随着半导体技术的发展，对半导体的制造工艺要求也越来越高。半导体 的制造工艺通常包括晶片的制造、封装和检验。在晶片的制造过程中，紫外线(uv)照射工艺是在晶圓切割工艺之后、贴片工艺之前的一道工艺，主要是为了减小蓝膜和芯片之间的粘性。如图1所示，现有技术中的紫外线灯管主要是直管形状的灯1和矩形的UV盒4，灯管1被放置在蓝膜2的下方，位 于蓝膜2的中心处，灯管1与蓝膜2之间的距离为20cm，即，紫外线灯管的 垂直照射距离为20cm。当将切割的晶圓装载后，利用直线形状的紫外线灯管 l对蓝膜2开始照射。但是在照射过程中，由于这种灯管1位于被照射的蓝 膜2的中间，所以从灯管1发出的到蓝膜各个部分的光的距离不一样，特别 是到蓝膜中间部分和边缘部分的距离差别很大，这就导致了蓝膜接收紫外线 照射不均匀。同时由于接收距离不同，所以紫外线会被空气中的氧气吸收一 部分，从而芯片3背面的一部分粘性下降，而芯片3背面的另一部分粘性没 有完全下降，这样在贴片工艺中，容易发生芯片丢失、断裂等现象。
技术实现思路
为了解决该技术问题，本专利技术提供了 一种具有环形灯管的紫外线光源， 由于灯管特殊的形状而使在照射过程中，紫外线灯管更加贴合晶圆的外形， 使蓝膜均匀地接收紫外线照射。本专利技术的目的在于提供一种紫外线光源使其能更加贴合晶圓的外形，以 便蓝膜均匀地接收紫外线照射，该紫外线光源含有灯管，该灯管用于发出紫 外线光，其特征在于所述的灯管为多个环状灯管，所述多个环状灯管通过支4架被布置成具有同 一个中心线。本专利技术的另一目的在于才是供一种紫外线照射装置，该紫外线照射装置包括紫外线光源，该光源包含多个发出紫外线光的环状灯管，并且所述的多 个环状灯管通过支架被布置成具有同一个中心线；用于支撑所述光源的支撑 件；包容所述光源的灯罩，该灯罩底部设有^f吏所述支撑件穿过的孔，并在与 其底部相反的方向具有^f吏所述光源沿其中心线方向射出紫外线的开口 ；用于 固定所述支撑件及所述灯罩的基座。附图说明通过下面参照附图对实施例进行的描述，本专利技术的上述和其它目的和特 点将会变得更加清楚和更加容易理解，其中 图l是传统的紫外线照射灯； 图2是传统的紫外线照射灯照射蓝膜时的视图； 图3是根据本专利技术实施例的紫外线光源的俯视图； 图4是根据本专利技术实施例的紫外线光源的主视图； 图5是根据本专利技术实施例的紫外线光源的侧视图； 图6是图5中A部分的放大视图7示意性地示出了根据本专利技术实施例的紫外线光源的工作状态； 图8示意性地显示了需要检测的晶圓上各点的位置；具体实施方式 以下，将参照附图来详细描述本专利技术的实施例。晶圆是指制作硅半导体电路时所用的硅晶片，通过将乘积的单晶棒切割 而成，由于其形状为圆形故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元 件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。晶圆是制作芯片的材料，对芯片 进行紫外线照射在芯片的制作过程中是非常重要的，紫外线照射工艺设置在 晶圆切割工艺之后，贴片工艺之前，目的是为了减小蓝膜和芯片之间的粘性。现在参照附图描述本专利技术的紫外线光源10。如图3所示，本专利技术的紫外线光源10由三个独立的环形灯管11和陶瓷 支架12组成。在本实施例中，环形灯管呈圓环形形状，但是灯管也可以根据需要形成为多边形环状。陶瓷支架12通过粘合剂将各个独立的环形灯管11 连接起来，并且一端从最外圈的灯管延伸出来。在本实施例中，环形紫外线照射灯的直径，即，最外圈灯的直径选用的是325mm，最内圈灯管的直径选 用的是125m,灯管直径均为25mm，灯管之间的间距随着灯管的直径而定， 在该实施例中选用的是50mm。本实施例中三个独立的环形灯管位于同一水 平面上，但是，也可以根据需要位于不同的平面上。在本实施例中，各灯管 之间的间隔相等，也可以根据需要将各灯管之间的间隔设置为不等。陶瓷支 架12呈立方体状，其一端位于最内圈的灯管处，另一端从最外圈的灯管延伸 出去。如图4所示，优选地，陶瓷支架12的长度根据灯管的直径而定，在该 实施例中可以是230mm,以便对灯管进行固定和电连接，陶瓷支架12的厚 度为埋入正负电极为宜，例如，如图5所示，陶瓷支架的宽度可以是30mm， 厚度可以是10mm，厚度越薄使紫外线照射灯的厚度越小，体积也越小。从 图5和图6中可以看到，电线13埋在陶瓷支架中，电线13连接到灯管的两 个电极14。电线13通过设置在陶瓷支架12和灯管11上的开口从陶瓷支架 12延伸到灯管11中，并且绝缘材料l 5设置在两个电极14之间，以将两个 电极14隔绝开，绝缘材料15可以是二氧化硅或者玻璃，并且形成为与灯管 的内部空间对应的形状。这里，介于陶瓷支架12和灯管11之间的粘结剂还 起到将陶瓷支架和灯管上的开口密封的作用。本专利技术中的示例性实施例中灯 管的数量是三个，电极从陶瓷支架中分别伸出三次进入各个灯管中。每个环 形灯管IO可以由石英管材制成，灯管内充有氩气和贡。本专利技术的紫外线光源不需要起辉器和镇流器，当启动紫外线光源时，利 用充有贡的电弧管内产生的高压(例如，0.2xl-lxl06Pa)贡蒸气将正负极连 接而获得紫外线灯光。在该实施例中，该紫外线光源所需要的额定电压可以是220伏/50Hz，功 率可是80瓦，所产生的紫外线强度可是15mw/cm2,紫外线波长集中在365nm 左右。现在，参照图9描述用于安装紫外线光源的紫外线灯安装设备100的示意图。环形紫外线灯的紫外线灯安装设备100主要包括基座110、接电端子120、 灯罩130和支撑件140。基座110位于支撑该环形紫外线灯的紫外线灯安装 设备的平面上，用于稳固地支撑整个设备，可以呈圓形，由绝缘材料制成。两个接电端子120分别安装在基座110上，并且用于给灯管供电的电线121 位于接电端子120中，并与陶瓷支架120中的电极14连接。同时，接电端子 120上部的宽度小于下部的宽度，从而在其中部形成一个凸台122，起到固定 灯罩130的作用，并且接电端子120的上部和下部均呈圓柱形。灯罩130的 形状大致成椭圓球状，也可以呈任何可包容紫外线光源的形状，在灯罩的进 行照射的上端具有开口 131,开口 131的尺寸大于紫外线灯的直径，下端也 具有使接电端子120和支撑件140穿过的开口。灯罩130和接电端子120之 间还可以用粘结剂进行粘结，以使灯罩130更加牢固地结合到接电端子120 上。在另一个实施例中，为了便于固定，灯罩的下端可以呈曲线形状而非直 线形状，凸台的表面也是与其配合的曲线形状从而所述凸台可以稳固地支撑 灯罩。灯罩一方面用于保护环形紫外线灯免受破坏，另一方面保护使用者免 受紫外线灯的照射，这是因为该环形紫外线灯的紫外线强度高，对人容易产 生危害。支撑件140用于稳固地支撑环形紫外线灯10,使其能够均匀地照射 芯片，使紫外线蓝膜均匀地接收紫外线照射，为了更好地与紫外线灯装配， 支撑件140最好呈矩形。在支撑件140的顶端具有一对卡扣150，该卡扣的 一端通过螺钉155等固定到支撑件140顶端的侧面，另一端用于固定紫外线 灯的陶瓷支架12,本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种含有灯管的紫外线光源，该灯管用于发出紫外线光，其特征在于所述的灯管为多个环状灯管，所述多个环状灯管通过支架被布置成具有同一个中心线。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孟忠，
申请(专利权)人：三星电子苏州半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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