用于半导体处理系统的衬底存储架技术方案

一种用于半导体处理系统的衬底存储架，包括底板、顶板和柱组件。顶板与底板间隔开，柱组件将顶板连接到底板，并且球构件被压缩地安置在柱组件内。球构件在朝向顶板的方向上从柱组件突出，以将衬底支撑在衬底存储架内和球构件上。还描述了半导体处理系统和制造衬底存储架的方法。的方法。的方法。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体处理系统的衬底存储架


[0001]本专利技术总体涉及制造半导体器件，更具体地说，涉及在制造半导体器件期间存储衬底，比如在用于将膜沉积到衬底上的半导体处理系统内。

技术介绍

[0002]半导体处理系统可以包括一个或多个处理室，这些处理室适于执行任意数量的过程，比如脱气、清洁或预清洁、诸如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)或原子层沉积(ALD)的沉积、涂覆、氧化、硝化、蚀刻(例如等离子体蚀刻)等。可以提供一个或多个装载锁定室，以使衬底能够从工厂接口进入和退出。这些处理室和装载锁定室中的每个可以包括在组合工具中，其中多个处理室可以分布在例如传送室周围。前端传送机器人可以容纳在工厂接口内，以在工厂接口和装载锁之间传送衬底(例如硅晶片、玻璃板等)，后端传送机器人可以容纳在传送室内，以在装载锁和一个或多个处理模块之间传送衬底。衬底的传送可以由前端传送机器人和后端传送机器人携带的一个或多个末端执行器(例如夹具或刀片)来完成，并且衬底在处理模块内的位置可以根据传送室内的衬底对中传感器来确定。
[0003]在处理过程中，前端传送机器人从晶盒中取出衬底，并通过工厂接口将衬底传送到装载锁。后端传送机器人将衬底从装载锁通过传送模块传送到处理模块，其中根据正在制造的特定半导体器件的要求对衬底进行处理。一旦处理完成，衬底由传送机器人从处理模块取回，并再次通过传送模块传送到装载锁。已处理的衬底由前端机器人从装载锁通过工厂接口传送到晶盒，然后从半导体处理系统中移出以进行进一步处理。
[0004]在一些半导体处理系统中，可以在工厂接口、装载锁和传送室中的一个或多个内提供存储架，以在处理之前和/或之后存储衬底。例如，通过在半导体处理系统的环境内靠近资源的地方提供存储空间，存储架可以有助于半导体器件的制造，否则资源会限制系统产量。这种存储架通常包括由整块衬底友好材料(比如石英或聚醚醚酮(PEEK))铣削而成的开槽轨道，并且悬挂在用于结构支撑的背板上。虽然对于它们的预期目的来说通常是可接受的，但在这种材料中铣出槽所需的公差和加工时间增加了存储架的复杂性和成本，并且支撑石英或PEEK开槽轨道所需的背板会中断半导体处理系统的内部环境中原本存在的层流气流。
[0005]这种方法和系统通常被认为适合于它们的预期目的。然而，在本领域中仍需要改进的衬底存储架、具有存储架的半导体处理系统以及制造用于半导体处理系统的存储架的方法。本公开提供了对这种需求的解决方案。

技术实现思路

[0006]提供了一种衬底存储架。一种用于半导体处理系统的衬底存储架，包括底板、顶板和柱组件。顶板与底板间隔开，柱组件将顶板连接到底板，并且球构件被压缩地安置在柱组件内。球构件在朝向顶板的方向上从柱组件突出，以将衬底支撑在衬底存储架内和球构件上。
[0007]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括球构件由陶瓷材料形成。球构件可以具有约4毫米的直径。
[0008]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱组件是第一柱组件，并且衬底存储架包括一个或多个第二柱组件。一个或多个第二柱组件可以将顶板连接到底板。一个或多个第二柱组件可以与第一柱组件间隔开约100毫米至约300毫米。护罩构件可以包围底板、顶板、第一柱组件和一个或多个第二柱组件中的每个。
[0009]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱组件具有柱构件和夹紧构件。柱构件可以具有在基板和顶板之间纵向延伸的柱部分和从柱部分横向延伸的座部分。夹紧构件可以具有沿着柱构件的柱部分纵向延伸的底座部分和从夹紧构件的底座部分横向延伸的夹紧部分。夹紧构件的夹紧部分可以压缩地固定球构件抵靠座部分且在凹穴内，该凹穴限定在柱构件的座部分和夹紧构件的夹紧部分之间。
[0010]除了上述一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱构件的座部分和夹紧构件的夹紧部分中的至少一个限定具有圆形段和从该圆形段延伸的颈部段的纵向槽。圆形段的直径可以小于球构件的直径。球构件可以固定在纵向槽的圆形段内。
[0011]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱构件的座部分限定纵向槽。
[0012]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括纵向槽是由柱构件的座部分限定的第一纵向槽，夹紧构件的夹紧部分限定第二纵向槽，并且球构件进一步固定在第二纵向槽内。
[0013]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括间隔件构件。间隔件构件可以将夹紧构件联接到柱构件。间隔件构件可以具有厚度，球构件可以具有直径，并且间隔件构件的厚度可以小于球构件的直径。
[0014]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱部分是第一柱部分，并且柱部件具有第二柱部分。第二柱部分可以平行于第一柱部分延伸。第二支柱部分可以通过柱构件的座部分连接到第一柱构件。
[0015]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括：座部分是第一座部分，并且柱构件具有一个或多个第二座部分。一个或多个第二座部分可以从柱构件的柱部分横向延伸。一个或多个第二座部分可以沿着柱构件的柱部分的纵向长度与第一座部分纵向间隔开。
[0016]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括夹紧构件的夹紧部分是第一夹紧部分，并且夹紧构件具有一个或多个第二夹紧部分。一个或多个第二夹紧部分可以沿着柱构件的柱部分的纵向长度与第一夹紧部分纵向间隔开。
[0017]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括夹紧构件是第一夹紧构件，并且柱组件包括一个或多个第二夹紧构件。一个或多个第二夹紧构件可以连接到柱构件的柱部分。一个或多个第二夹紧构件可以纵向布置在第一夹紧构件和衬底存储架的顶板之间。
[0018]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括球构件是第一球构件，并且柱组件包括一个或多个第二球构件。第二球构件可被压缩地安置在柱组件内。一个或多个第二球构件可以在朝向衬底存储架的顶板的方向上从柱组件突出。一个或多个第二球构件可以沿着柱构件的柱部分的纵向长度与第一球构件纵向间隔开。
[0019]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱组件包括具有柱构件片厚度的柱构件片主体和具有夹紧构件片厚度的夹紧构件片主体。柱构件片主体的柱构件片厚度可以大于夹紧构件片主体的夹紧构件片厚度。
[0020]除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，衬底存储架的进一步示例可以包括柱构件片厚度在约1毫米和约10毫米之间，并且夹紧构件片厚度在约1毫米和约10毫米之间。
[0021]提供了一种晶盒，例如前开式统一晶盒(FOUP)。该晶盒包括外壳和如上所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种衬底存储架，包括：底板；与底板间隔开的顶板；以及柱组件，其将顶板连接到底板并将球构件压缩地安置在其中，其中球构件在朝向顶板的方向上从柱组件突出，以在其上支撑衬底存储架内的衬底。2.根据权利要求1所述的衬底存储架，其中，所述球构件由陶瓷材料形成，并且其中，所述球构件具有约4毫米的直径。3.根据权利要求1所述的衬底存储架，其中，所述柱组件是第一柱组件，并且还包括：将所述顶板连接到所述底板的一个或多个第二柱组件，其中一个或多个第二柱组件与第一柱组件间隔开约100毫米至约300毫米；以及护罩构件，其包围底板、顶板、第一柱组件和一个或多个第二柱组件。4.根据权利要求1所述的衬底存储架，其中，所述柱组件包括：具有柱部分和座部分的柱构件，柱部分在所述底板和顶板之间纵向延伸，座部分从柱部分横向延伸；以及具有底座部分和夹紧部分的夹紧构件，底座部分沿着柱构件的柱部分纵向延伸，夹紧部分从夹紧构件的底座部分横向延伸，其中，夹紧部分压缩地固定所述球构件抵靠座部分于凹穴内，凹穴限定在柱构件的座部分和夹紧构件的夹紧部分之间。5.根据权利要求4所述的衬底存储架，其中，所述座部分和夹紧部分中的至少一个限定具有圆形段和从该圆形段延伸的颈部段的纵向槽，其中圆形段的直径小于所述球构件的直径，并且其中球构件固定在纵向槽的圆形段内。6.根据权利要求5所述的衬底存储架，其中，所述柱构件的座部分限定所述纵向槽。7.根据权利要求5所述的衬底存储架，其中，所述纵向槽是由所述柱构件的座部分限定的第一纵向槽，其中，所述夹紧构件的夹紧部分限定第二纵向槽，并且其中，所述球构件进一步固定在夹紧部分的第二纵向槽内。8.根据权利要求4所述的衬底存储架，还包括将所述夹紧构件联接到所述柱构件的间隔件构件，其中间隔件构件具有厚度，其中所述球构件具有直径，并且其中间隔件构件的厚度小于球构件的直径。9.根据权利要求4所述的衬底存储架，其中，所述柱部分是第一柱部分，并且所述柱构件具有第二柱部分，其中第二柱部分平行于第一柱部分延伸，并且其中柱构件的座部分将第一柱部分连接到柱构件的第二柱部分。10.根据权利要求4所述的衬底存储架，其中，所述座部分是第一座部分，并且所述柱构件具有从柱构件的柱部分横向延伸的一个或多个第二座部分，其中一个或多个第二座部分与柱构件的第一座部分纵向间隔开。11.根据权利要求4所述的衬底存储架，其中，所述夹紧构件的夹紧部分是第一夹紧部分，夹紧构件具有一个或多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：G纳瓦尔，S西瓦拉曼，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：