一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器制造技术

本发明专利技术涉及HVPE设备镓舟反应器技术领域，且公开了一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，包括反应器，所述反应器的顶部设有盖子；所述反应器的内部固定安装有螺旋槽板，所述反应器的底部设有液体收集排出件，所述螺旋槽板的出液端朝向液体收集排出件；所述盖子上固定安装有进气管件，且进气管件的排气端位于螺旋槽板的进入端处；所述反应器的外周设有供镓液池，且供镓液池与反应器的内部连通；所述反应器的底部固定连通有排气管。本发明专利技术提出一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，本发明专利技术增加接触时间；稳定生成速率；控制膜的生长。控制膜的生长。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器


[0001]本专利技术涉及HVPE设备镓舟反应器领域，尤其涉及一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器。

技术介绍

[0002]现有HVPE技术与设备中，氯化氢气体与金属镓的反应器设备主要存在以下问题：1、氯化氢与金属镓接触时间短，氯化氢未参与反应就已经流出反应区；2、现有结构的HVPE镓舟，金属镓液面距离进气口的距离变化，引起氯化氢转化为氯化镓的比率变化，导致氮化镓生成速率波动大，难以控制，尤其是在氮化镓厚膜生长时，氯化镓供给不均匀，会导致成膜不稳定。
[0003]为解决上述问题，本申请中提出一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器。

技术实现思路

[0004](一)专利技术目的
[0005]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本专利技术提出一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，本专利技术增加接触时间；稳定生成速率；控制膜的生长均匀性。
[0006](二)技术方案
[0007]为解决上述问题，本专利技术提供了一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，包括反应器，所述反应器的顶部设有盖子；
[0008]所述反应器的内部固定安装有螺旋槽板，所述反应器的底部设有液体收集排出件，所述螺旋槽板的出液端朝向液体收集排出件；
[0009]所述盖子上固定安装有进气管件，且进气管件的排气端位于螺旋槽板的进入端处；
[0010]所述反应器的外周设有供镓液池，且供镓液池与反应器的内部连通；
[0011]所述反应器的底部固定连通有排气管。
[0012]优选的，所述液体收集排出件包括环形敞口盒和排出管，所述环形敞口盒固定安装在反应器内底部，所述排出管的一端与环形敞口盒连通。
[0013]优选的，所述进气管件包括进气管和喷气管，所述进气管与喷气管固定连通，且喷气管位于螺旋槽板的内部，所述喷气管上开设有喷孔。
[0014]优选的，所述供镓液池包括液体池和供液管，所述液体池固定套装在反应器上，所述供液管的一端与液体池连通，所述液体池的一侧开设有供液孔。
[0015]优选的，所述喷孔的数量为多个，且多个喷孔均匀分布在喷气管上。
[0016]优选的，所述供液管上固定安装有流量阀，所述供液管连通有供液泵，所述供液泵通讯连接有控制器，所述液体池的内部安装有液位传感器，所述控制器分别与流量阀、供液泵和液位传感器通讯连接。
[0017]优选的，所述供液孔为倾斜设置，且供液孔的出液孔朝向螺旋槽板的内部。
[0018]优选的，所述反应器为锥形反应器。
[0019]本专利技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
[0020]将氯化氢气体通过进气管通入反应器内，在螺旋槽板内部，受到离心力与侧壁的约束，将在反应器内旋转数圈，才能离开反应器，增加了氯化氢在反应器中的停留时间，提供足够的反应时间；液体镓经过液体池和供液孔进入至螺旋槽板的内部，增加与氯化氢气体的接触时间，以提高生产速率和控制膜生长的厚度。
附图说明
[0021]图1为本专利技术提出的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器的结构示意图。
[0022]图2为本专利技术提出的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器的内部结构示意图。
[0023]图3为本专利技术提出的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器中进气管件的俯视剖面结构示意图。
[0024]图4为本专利技术提出的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器的系统图。
[0025]附图标记：1、反应器；2、盖子；3、螺旋槽板；4、液体收集排出件；41、环形敞口盒；42、排出管；5、进气管件；51、进气管；52、喷气管；6、供镓液池；61、液体池；62、供液管；7、排气管；8、供液孔；9、流量阀；10、供液泵；11、液位传感器；12、控制器。
具体实施方式
[0026]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本专利技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本专利技术的概念。
[0027]如图1
‑
4所示，本专利技术提出的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，包括反应器1，反应器1的顶部设有盖子2；
[0028]反应器1的内部固定安装有螺旋槽板3，反应器1的底部设有液体收集排出件4，螺旋槽板3的出液端朝向液体收集排出件4；
[0029]盖子2上固定安装有进气管件5，且进气管件5的排气端位于螺旋槽板3的进入端处；
[0030]反应器1的外周设有供镓液池6，且供镓液池6与反应器1的内部连通；
[0031]反应器1的底部固定连通有排气管7。
[0032]在一个可选的实施例中，液体收集排出件4包括环形敞口盒41和排出管42，环形敞口盒41固定安装在反应器1内底部，排出管42的一端与环形敞口盒41连通，经过螺旋槽板3流下的微反应液体进入至环形敞口盒41内进行收集，并经过排出管42排出。
[0033]在一个可选的实施例中，进气管件5包括进气管51和喷气管52，进气管51与喷气管52固定连通，且喷气管52位于螺旋槽板3的内部，喷气管52上开设有喷孔，由喷气管52的进气端通入氯化氢气体。
[0034]在一个可选的实施例中，供镓液池6包括液体池61和供液管62，液体池61固定套装在反应器1上，供液管62的一端与液体池61连通，液体池61的一侧开设有供液孔8，供液管62
为输入液体镓，以将液体镓输入至液体池61的内部。
[0035]在一个可选的实施例中，喷孔的数量为多个，且多个喷孔均匀分布在喷气管52上，使得经过喷孔喷出的氯化氢气体均匀分散出，以提高与镓接触的均匀性。
[0036]在一个可选的实施例中，供液管62上固定安装有流量阀9，供液管62连通有供液泵10，供液泵10通讯连接有控制器12，液体池61的内部安装有液位传感器11，控制器12分别与流量阀9、供液泵10和液位传感器11通讯连接，通过液位传感器11对液体池61内部液面进行实时感应，在液位低于警戒位时，则控制器12启动供液泵10对外部的液体镓进行抽取，以抽入至液体池61的内部进行使用。
[0037]在一个可选的实施例中，供液孔8为倾斜设置，且供液孔8的出液孔朝向螺旋槽板3的内部，使得经过供液孔8的液体进入至螺旋槽板3的内部。
[0038]在一个可选的实施例中，反应器1为锥形反应器。
[0039]本专利技术中，将氯化氢气体通过进气管51通入反应器1内，在螺旋槽板内部，受到离心力与侧壁的约束，将在反应器1内旋转数圈，才能离开反应器1，增加了氯化氢在反应器1中的停留时间，提供足够的反应时间；液体镓经过液体池61和供液孔8进入至螺旋槽板3的内部，增加与氯化氢气体的接触时间，以提高生产速率和控制膜生长的厚度。
[0040]应当理解的是，本专利技术的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本专利技术的原理，而不构成对本专利技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，包括反应器(1)，其特征在于：所述反应器(1)的顶部设有盖子(2)；所述反应器(1)的内部固定安装有螺旋槽板(3)，所述反应器(1)的底部设有液体收集排出件(4)，所述螺旋槽板(3)的出液端朝向液体收集排出件(4)；所述盖子(2)上固定安装有进气管件(5)，且进气管件(5)的排气端位于螺旋槽板(3)的进入端处；所述反应器(1)的外周设有供镓液池(6)，且供镓液池(6)与反应器(1)的内部连通；所述反应器(1)的底部固定连通有排气管(7)。2.根据权利要求1所述的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，其特征在于，所述液体收集排出件(4)包括环形敞口盒(41)和排出管(42)，所述环形敞口盒(41)固定安装在反应器(1)内底部，所述排出管(42)的一端与环形敞口盒(41)连通。3.根据权利要求1所述的一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器，其特征在于，所述进气管件(5)包括进气管(51)和喷气管(52)，所述进气管(51)与喷气管(52)固定连通，且喷气管(52)位于螺旋槽板(3)的内部，所述喷气管(52)上开设有喷孔。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：谈逊，谈谦，曾龙辉，
申请(专利权)人：华厦半导体深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：