【技术实现步骤摘要】
本技术涉及hvpe喷头，尤其涉及一种hvpe用喷头。
技术介绍
1、hvpe喷头是一种用于半导体材料生长中的氢化物蒸气相外延工艺的关键部件之一，hvpe是一种常用于生长化合物半导体材料的技术，特别适用于iii-v族化合物半导体的制备；
2、在立式hvpe生长系统中，衬底通常置于水平托盘上，前驱物进气方向垂直衬底表面，前驱物进气喷头设计常为圆形或是同心圆环结构，气体通过喷头，在衬底径向分布上不均匀，圆心处高，随着直径方向向外降低，同时由于喷头外侧靠近管壁处，气体流速降低，容易形成赘生物，进一步影响流场，也使得原料损耗加剧；
3、所以，需要设计一种hvpe用喷头来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种hvpe用喷头。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种hvpe用喷头，包括连接管，所述连接管的底端侧边处固定连接有喇叭状喷头部，所述喇叭状喷头部的底部侧边处固定连接有圆状喷头部，所述连接管的进料端内壁固定连接有固定板，所述固定板的顶面设置有调节机构。
4、优选地，所述调节机构包括通过转动轴转动连接在固定板顶面的转动板，所述连接管的外表面贯通开设有导向槽，所述转动板的外表面固定连接有导向杆，所述转动板的顶面与固定板的顶面均贯通开设有多个贯通孔，所述导向杆的端部穿过导向槽且固定连接有拨板。
5、优选地，所述拨板的侧面与连接管的外表面相贴合，且所述拨板
6、优选地，多个所述贯通孔在固定板与转动板的顶面呈均匀分布，所述导向杆的外表面与导向槽的内壁相贴合。
7、优选地，所述喇叭状喷头部的开口处角度为100°-160°。
8、优选地，所述转动板的底面与固定板的顶面相贴合，所述圆状喷头部的底部外表面设置有喷口。
9、本技术具有以下有益效果：
10、1、通过设置喇叭状喷头部与圆状喷头部，对喷头结构进行改变改善了前驱物在衬底上的径向分布不均匀性及赘生物，最终实现iii族氮化物高效率、高质量地沉积，且成本较低；
11、2、通过设置固定板与调节机构，在调节机构的作用下通过对拨板的拨动即可实现对贯通孔相对尺寸的调节，使得连接管当中的气流流速可得到精准的调节，且气流在连接管当中更加的均匀，增加了装置的实用性。
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1.一种HVPE用喷头，包括连接管(1)，其特征在于，所述连接管(1)的底端侧边处固定连接有喇叭状喷头部(2)，所述喇叭状喷头部(2)的底部侧边处固定连接有圆状喷头部(3)，所述连接管(1)的进料端内壁固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)的顶面设置有调节机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种HVPE用喷头，其特征在于，所述调节机构(5)包括通过转动轴转动连接在固定板(4)顶面的转动板(51)，所述连接管(1)的外表面贯通开设有导向槽(52)，所述转动板(51)的外表面固定连接有导向杆(53)，所述转动板(51)的顶面与固定板(4)的顶面均贯通开设有多个贯通孔(54)，所述导向杆(53)的端部穿过导向槽(52)且固定连接有拨板(55)。
3.根据权利要求2所述的一种HVPE用喷头，其特征在于，所述拨板(55)的侧面与连接管(1)的外表面相贴合，且所述拨板(55)的侧面侧边处设置有密封圈。
4.根据权利要求2所述的一种HVPE用喷头，其特征在于，多个所述贯通孔(54)在固定板(4)与转动板(51)的顶面呈均匀分布，所述导向杆(53)的外表面
5.根据权利要求1所述的一种HVPE用喷头，其特征在于，所述喇叭状喷头部(2)的开口处角度为100°-160°。
6.根据权利要求2所述的一种HVPE用喷头，其特征在于，所述转动板(51)的底面与固定板(4)的顶面相贴合，所述圆状喷头部(3)的底部外表面设置有喷口。
...【技术特征摘要】
1.一种hvpe用喷头，包括连接管(1)，其特征在于，所述连接管(1)的底端侧边处固定连接有喇叭状喷头部(2)，所述喇叭状喷头部(2)的底部侧边处固定连接有圆状喷头部(3)，所述连接管(1)的进料端内壁固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)的顶面设置有调节机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种hvpe用喷头，其特征在于，所述调节机构(5)包括通过转动轴转动连接在固定板(4)顶面的转动板(51)，所述连接管(1)的外表面贯通开设有导向槽(52)，所述转动板(51)的外表面固定连接有导向杆(53)，所述转动板(51)的顶面与固定板(4)的顶面均贯通开设有多个贯通孔(54)，所述导向杆(53)的端部穿过导向槽(52)且固定连接有拨板(55...
【专利技术属性】
技术研发人员：谈逊，吴曦，李欣，谈谦，王占玲，刘宁波，陈绮雯，
申请(专利权)人：华厦半导体深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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