一种绝压型金属薄膜电容式真空计制造技术

本实用新型专利技术公开了一种绝压型金属薄膜电容式真空计，包括壳体以及安装在所述壳体内部的金属薄膜和绝缘陶瓷；所述绝缘陶瓷上设置有外电容和内电容；所述外电容和内电容的电容信号分别一组通过穿墙组件导出所述壳体；所述穿墙组件包括与所述外电容或内电容相接触的导电弹簧、一端与所述导电弹簧接触，另一端穿过所述壳体的电容引出针和填充在所述壳体与电容引出针缝隙内的玻璃组合物。上述绝压型金属薄膜电容式真空计，选用具有超强密封性能的穿墙组件，在可靠引出电容信号的同时，能够保证其参考腔内的真空度长期保持稳定，从而避免现有真空计明显的“零点漂移”问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种绝压型金属薄膜电容式真空计


[0001]本技术涉及几点产品设计
，特别是涉及一种绝压型金属薄膜电容式真空计。

技术介绍

[0002]真空计是真空系统中真空度实时测量的关键部件，通常分为波尔登真空计、薄膜电容真空计、皮拉尼电阻真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计等，其中薄膜电容真空计是常温、低真空条件下真空度测量最为常用的一种仪表，具有测量范围宽、测量准确度高等优点。此外，按照薄膜电容真空计的真空度比对原理进行分类，可分为差压型和绝压型两种，即差压型真空计的真空比对腔需要时刻利用真空泵进行抽空以维持真空度，而绝压型真空计的真空比对腔则是一个封闭的环境，无需外接提供真空源。
[0003]现有的绝压型金属薄膜电容式真空计，如图1所示，包括壳体1、薄膜2和陶瓷板3；薄膜2将壳体1内腔划分为参考腔A和介质腔B；陶瓷板3位于参考腔A内；陶瓷板3上安装有内电容4和外电容5；所述内电容4和外电容5分别通过导线6与外部连接以导出电容信号。现有的绝压型金属薄膜电容式真空计中，使用普通金属导线导出电容信号，容易因产品安装方向变化或者搬运过程中产生振动而造成接触不良。当接触不良或导线触点位置变化后，直接测量的电容值会随之发生变化，这样就会造成“零点漂移”问题，会造成真空系统的测量结果客观性丧失。如若需要长期使用，则操作人员必须频繁对真空计进行“置零”操作，导致该真空计无法连续工作。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有技术中现有的绝压型金属薄膜电容式真空计容易出现零点漂移的技术缺陷，而提供一种绝压型金属薄膜电容式真空计。
[0005]为实现本技术的目的所采用的技术方案是：
[0006]一种绝压型金属薄膜电容式真空计，包括壳体以及安装在所述壳体内部的金属薄膜和绝缘陶瓷；所述金属薄膜将所述壳体的内腔划分为真空参考腔和工作介质腔；所述绝缘陶瓷固定安装在所述真空参考腔内；所述绝缘陶瓷上设置有外电容和内电容；所述外电容和内电容的电容信号分别一组通过穿墙组件导出所述壳体；所述穿墙组件包括与所述外电容或内电容相接触的导电弹簧以及一端与所述导电弹簧接触，另一端密封穿过所述壳体的电容引出针；所述壳体与电容引出针的缝隙内填充有玻璃组合物，所述电容引出针的材质为铜或银。
[0007]在上述方案中，所述壳体包括顶盖、上壳体和下壳体；所述金属薄膜夹装在所述上壳体与所述下壳体之间。
[0008]在上述方案中，所述上壳体的内壁上形成有用于搭载所述绝缘陶瓷的搭载凸台；所述顶盖的内壁向下延伸形成有用于将所述绝缘陶瓷压紧在所述搭载凸台上的压紧环。
[0009]在上述方案中，所述外电容包括设置在所述绝缘陶瓷的上下两侧的上外电容极板
和下外电容极板；所述内电容包括设置在所述绝缘陶瓷的上下两侧的上内电容极板和下内电容极板；所述上外电容极板与下外电容极板之间，以及上内电容极板与下内电容极板之间均通过相互匹配的一组导电螺母和导电螺栓导电连接。
[0010]在上述方案中，所述上外电容极板、上内电容极板、下外电容极板和下内电容极板的材质为金、银或钯。
[0011]在上述方案中，所述上外电容极板、上内电容极板、下外电容极板和下内电容极板通过喷涂、电镀或磁控溅射的方式进行加工。
[0012]在上述方案中，所述顶盖上设置有接地端；所述顶盖、上壳体和金属薄膜的材质为不锈钢、蒙乃尔或英可镍。
[0013]在上述方案中，所述顶盖上设置有吸气剂存放腔；所述吸气剂存放腔内存放有吸气剂；吸气剂通过阻隔网固定在所述吸气剂存放腔内。
[0014]在上述方案中，所述顶盖上设置有抽空口。
[0015]在上述方案中，所述下壳体的底部设置有用于连接真空系统的密封外螺纹。
[0016]在上述方案中，所述下壳体内设置有过滤网。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0018]1.本技术提供的绝压型金属薄膜电容式真空计，选用具有超强密封性能的穿墙组件在可靠引出电容信号的同时，能够保证其参考腔内的真空度长期保持稳定，从而避免现有真空计明显的“零点漂移”问题。
[0019]2.本技术提供的绝压型金属薄膜电容式真空计，选用具有较高导电性能的电容材料、导电弹簧、导电螺栓螺母，能够有效解决现有真空计中电容数值读取的偏差问题，从而提高产品的测量精度。
[0020]3.本技术提供的绝压型金属薄膜电容式真空计，各零部件结构紧凑、集成度高，不但具有产品体积小、重量轻的优点，也能有效避免产品在搬运、遭遇震动时出现的测量失效等问题。
附图说明
[0021]图1所示为现有的绝压型金属薄膜电容式真空计的结构示意图；
[0022]图2所示为绝压型金属薄膜电容式真空计的结构示意图。
[0023]图中：1
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壳体，2
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薄膜，3
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陶瓷板，4
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内电容，5
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外电容，6
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导线，7
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金属薄膜，8
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绝缘陶瓷，9
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顶盖，10
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上壳体，11
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下壳体，12
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压紧环，13
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上外电容极板，14
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上内电容极板，15
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下外电容极板，16
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下内电容极板，17
‑
导电螺母，18
‑
导电螺栓，19
‑
导电弹簧，20
‑
电容引出针，21
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玻璃组合物，22
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接地端，24
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吸气剂，25
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抽空口，26
‑
密封外螺纹，27
‑
过滤网，28
‑
阻隔网。
具体实施方式
[0024]以下结合具体实施例对本技术作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0025]实施例1
[0026]一种绝压型金属薄膜电容式真空计，如图2所示，包括壳体以及安装在所述壳体内
部的金属薄膜7和绝缘陶瓷8；
[0027]所述金属薄膜7将所述壳体的内腔划分为真空参考腔和工作介质腔；所述绝缘陶瓷8固定安装在所述真空参考腔内；
[0028]所述绝缘陶瓷8上设置有外电容和内电容；所述外电容和内电容的电容信号分别一组通过穿墙组件导出所述壳体；
[0029]所述穿墙组件包括与所述外电容或内电容相接触的导电弹簧19以及一端与所述导电弹簧19接触，另一端穿过所述壳体的电容引出针20。所述壳体与电容引出针20缝隙内填充有玻璃组合物21。所述电容引出针20、玻璃组合物21与顶盖9形成的整体的真空密封漏率Q≤1
×
10
‑
11...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种绝压型金属薄膜电容式真空计，其特征在于：包括壳体以及安装在所述壳体内部的金属薄膜和绝缘陶瓷；所述金属薄膜将所述壳体的内腔划分为真空参考腔和工作介质腔；所述绝缘陶瓷固定安装在所述真空参考腔内；所述绝缘陶瓷上设置有外电容和内电容；所述外电容和内电容的电容信号分别一组通过穿墙组件导出所述壳体；所述穿墙组件包括与所述外电容或内电容相接触的导电弹簧以及一端与所述导电弹簧接触，另一端密封穿过所述壳体的电容引出针；所述壳体与电容引出针的缝隙内填充有玻璃组合物；所述电容引出针的材质为铜或银。2.如权利要求1所述的绝压型金属薄膜电容式真空计，其特征在于：所述壳体包括顶盖、上壳体和下壳体；所述金属薄膜夹装在所述上壳体与所述下壳体之间。3.如权利要求2所述的绝压型金属薄膜电容式真空计，其特征在于：所述上壳体的内壁上形成有用于搭载所述绝缘陶瓷的搭载凸台；所述顶盖的内壁向下延伸形成有用于将所述绝缘陶瓷压紧在所述搭载凸台上的压紧环。4.如权利要求1所述的绝压型金属薄膜电容式真空计，其特征在于：所述外电容包括设置在所述绝缘陶瓷的上下两侧的上外电容极板和下外电容极板；所述内电容包括设置在所述绝缘陶瓷的上下两侧的上内电容极板和下内电容极板；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘巍，梁长记，魏振，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：新型
国别省市：