一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置制造方法及图纸

本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，包括测试罩、供气系统、水蒸气供给系统以及保温箱，其中：测试罩包括上真空室和下真空室，上真空室与下真空室之间设置有带孔隔板；供气系统设置为多组，每组供气系统均通过一个气体流量计与上真空室连接；水蒸气供给系统设置在保温箱内，通过气体流量计与上真空室连接。本申请结构简单，操作方便，可以任意调节气体成分的比例，从而完成不同种类气体不同百分比含量及带有水蒸气的标准混合气的配制，可以用于质谱计、微型泵、小孔流导等真空校准测量领域，实现水蒸气的稳定配给，实现10

【技术实现步骤摘要】
一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置


[0001]本申请涉及真空测量
，具体而言，涉及一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置。

技术介绍

[0002]目前月球是否存在水尚无定论，为了给月球探测水是否存在提供理论依据，在地面上需要尽可能的给出与月球相接近的情况。
[0003]已经存在的一些水蒸气配制装置例如部分分裂法，并不服务于真空领域，尽管能达到很高的配制精度却不适合用来在低真空或高真空环境中进行实验。所以为了尽可能的实现接近理论上月球表面的环境与测量样品，需要给出一种地面水蒸气混合气配气装置，并且该装置需要完成不同气体、不同比例的配置。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，可以根据需要调节不同种类气体所占比例，配置不同种类的气体的混合气。
[0005]为了实现上述目的，本申请提供了一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，包括测试罩、供气系统、水蒸气供给系统以及保温箱，其中：测试罩包括上真空室和下真空室，上真空室与下真空室之间设置有带孔隔板；供气系统设置为多组，每组供气系统均通过一个气体流量计与上真空室连接；水蒸气供给系统设置在保温箱内，通过气体流量计与上真空室连接。
[0006]进一步的，每个气体流量计均包括稳压室和小孔，小孔的直径为微米量级。
[0007]进一步的，每组供气系统的内部均设置有真空计、纯净气体气瓶、机械泵以及分子泵，其中：真空计与稳压室连接；纯净气体气瓶与稳压室连接；机械泵与分子泵连接，分子泵与稳压室连接。r/>[0008]进一步的，水蒸气供给系统包括真空计、水蒸气储存罐、机械泵以及分子泵，其中：真空计与稳压室连接；水蒸气储存罐与稳压室连接；机械泵与分子泵连接，分子泵与稳压室连接。
[0009]进一步的，还包括标准室，标准室设置在某组供气系统与上真空室之间，标准室的一端与稳压室连接，另一端与上真空室连接，标准室上还连接有真空计。
[0010]进一步的，上真空室与真空计连接，下真空室与真空计和分子泵连接，分子泵与机械泵连接。
[0011]进一步的，还包括高真空阀，每个连接气路上均设置有高真空阀，高真空阀用于控制对应气路的通断。
[0012]进一步的，保温箱内设置有加热装置，保温箱内的温度变化＜0.05℃。
[0013]本专利技术提供的一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，具有以下有益效果：
[0014]本申请结构简单，操作方便，可以任意调节气体成分的比例，从而完成不同种类气
体不同百分比含量及带有水蒸气的标准混合气的配制，可以用于质谱计、微型泵、小孔流导等真空校准测量领域，实现水蒸气的稳定配给，实现10
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105Pa压力范围内的测量。
附图说明
[0015]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0016]图1是根据本申请实施例提供的嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置的示意图；
[0017]图2是根据本申请实施例提供的嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置的测试罩的示意图；
[0018]图中：1
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测试罩、11
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上真空室、12
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下真空室、13
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带孔隔板、14
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第六真空计、15
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第七真空计、16
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第五分子泵、17
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第五机械泵、2
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第一供气系统、21
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第一稳压室、22
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第一小孔、23
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第一真空计、24
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第一纯净气体气瓶、25
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第一机械泵、26
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第一分子泵、3
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第二供气系统、31
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第二稳压室、32
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第二小孔、33
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第二真空计、34
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第二纯净气体气瓶、35
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第二机械泵、36
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第二分子泵、4
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第三供气系统、41
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第三稳压室、42
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第三小孔、43
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第三真空计、44
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第三纯净气体气瓶、45
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第三机械泵、46
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第三分子泵、5
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水蒸气供给系统、51
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第四稳压室、52
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第四小孔、53
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第四真空计、54
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水蒸气储存罐、55
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第四机械泵、56
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第四分子泵、6
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保温箱、7
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标准室、71
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第五真空计、8
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高真空阀。
具体实施方式
[0019]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0020]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0021]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0022]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0023]另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，其特征在于，包括测试罩、供气系统、水蒸气供给系统以及保温箱，其中：所述测试罩包括上真空室和下真空室，所述上真空室与所述下真空室之间设置有带孔隔板；所述供气系统设置为多组，每组所述供气系统均通过一个气体流量计与所述上真空室连接；所述水蒸气供给系统设置在所述保温箱内，通过气体流量计与所述上真空室连接。2.根据权利要求1所述的嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，其特征在于，每个气体流量计均包括稳压室和小孔，小孔的直径为微米量级。3.根据权利要求2所述的嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，其特征在于，每组供气系统的内部均设置有真空计、纯净气体气瓶、机械泵以及分子泵，其中：真空计与稳压室连接；纯净气体气瓶与稳压室连接；机械泵与分子泵连接，分子泵与稳压室连接。4.根据权利要求3所述的嫦娥七号地面水蒸气混合气配制装置，其特征在于，所述水蒸气供给系统包括真...

【专利技术属性】
技术研发人员：任正宜，郭美如，李文峰，耿健，陶文泽，王克成，马小霞，王寅鸣，全小平，陈鸿翔，王晶晶，张亚红，孔风连，赵椿芳，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：