【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及供给标准气体，更为具体来说，本专利技术涉及一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置及方法。
技术介绍
1、文献“量子真空计量标准中的非极性稀薄气体折射率测量研究，《物理学报》第70卷第4期、2021年4月、040601-1～9页”，介绍了基于光学干涉法的中低真空量子计量标准装置及方法。该文献指出，fabry-perot光学谐振腔作为装置的核心组件，其物理长度的稳定性与装置性能具有重要的关联性，需要其具有良好的热稳定性，故广泛采用ule（ultra lowexpansion）、zerodur玻璃材料用于制作谐振腔；与此同时，鉴于he为目前微观极化参数计算精度最高的气体，标准需采用氦气进行实验，但该类玻璃材料对氦气具有较高的吸附、扩散特性，宏观表现为渗透率参数，故对该参数进行准确的测量与评估对装置计量特性提升具有重要的作用。国内外对于该类材料he的渗透率测试尚没有统一、公认的方法及装置。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置...
【技术保护点】
1.一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置，其特征在于，包括：第一微调真空阀、电容薄膜真空计、充气室、第二微调真空阀、磁悬浮转子真空计、测试室A、第一真空阀门、测试室B、四极质谱计、氦气瓶、第二真空阀门、第一真空抽气机组、第三真空阀门、被测玻璃材料、第四真空阀门、KF接口、第二真空抽气机组，其中：
2.根据权利要求1所述的量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置，其特征在于，所述被测玻璃材料为圆形薄片形状，直径范围为30 mm~40 mm，厚度范围为2 mm~3mm。
3.根据权利要求1所述的量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测...
【技术特征摘要】
1.一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置，其特征在于，包括：第一微调真空阀、电容薄膜真空计、充气室、第二微调真空阀、磁悬浮转子真空计、测试室a、第一真空阀门、测试室b、四极质谱计、氦气瓶、第二真空阀门、第一真空抽气机组、第三真空阀门、被测玻璃材料、第四真空阀门、kf接口、第二真空抽气机组，其中：
2.根据权利要求1所述的量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置，其特征在于，所述被测玻璃材料为圆形薄片形状，直径范围为30 mm~40 mm，厚度范围为2 mm~3mm。
3.根据权利要求1所述的量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置，其特征在于，所述四极质谱计的最小可检分压力小于等于1×1...
【专利技术属性】
技术研发人员：习振华，贾文杰，李刚，郭美如，任正宜，范栋，张虎忠，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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