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一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置及方法制造方法及图纸
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下载一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置及方法的技术资料
文档序号:41308230
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本申请涉及一种量子真空计量标准用玻璃材料氦气渗透率测试装置及方法,包括:第一微调真空阀、电容薄膜真空计、充气室、第二微调真空阀、磁悬浮转子真空计、测试室A、第一真空阀门、测试室B、四极质谱计、氦气瓶、第二真空阀门、第一真空抽气机组、第三真空...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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