本发明专利技术公开了一种抓取装置及其驱动机构，抓取装置装设于搬运机器人的机械臂上，用于对晶圆载具组件进行移动，晶圆载具组件包括晶圆盒，晶圆载具抓取装置包括与机械臂相连的驱动夹爪、以及设置在驱动夹爪上且通过驱动夹爪驱动张开或夹紧的一对第一夹持部，晶圆盒的外侧面设置有沿水平方向延伸的第一凸起棱，一对第一夹持部相向靠近的一侧设置有沿水平方向延伸且与第一凸起棱相适配的第一夹持槽，以在机械臂驱动抓取装置至第一夹持状态时，第一夹持状态为搬运机器人的机械臂驱动抓取装置至抓取晶圆盒时的状态，因此发明专利技术可以通过一对第一夹持部对晶圆盒进行搬运实现对晶圆的移动，防止造成晶圆从夹具上脱落而损坏，有效的提高晶圆的加工效率。圆的加工效率。圆的加工效率。
【技术实现步骤摘要】
一种抓取装置及其驱动机构
[0001]本专利技术涉及夹持装置
，尤其涉及一种抓取装置及其驱动机构。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，晶圆加工厂运载晶圆的晶圆载具通常有Cassette(下称CST)和晶圆盒，CST作为晶圆的第一接触载具在晶圆加工中起着重要作用，它可以有效保护晶圆防止晶圆在加工过程中受到污染和损坏，并且可以有效的提高晶圆的加工效率。
[0003]晶圆盒作为晶圆的第二载具，作为CST的容器，具有一定的密封性，它可以保护晶圆在运输中免受污染和损坏。
[0004]在晶圆加工厂中，晶圆装载在CST里，CST装载在晶圆盒里，一般是由操作人员直接搬运晶圆盒到预定位置，再由操作员将CST从晶圆盒取出放到晶圆加工设备的上下料口。然而人工搬运晶圆盒速度慢，耗时长。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种抓取装置及其驱动机构，旨在解决现有的通过人工搬运晶圆盒速度慢，耗时长的技术问题。
[0006]为了解决上述问题，根据本申请的一个方面，本专利技术实施例提供了一种抓取装置，装设于搬运机器人的机械臂上，用于对晶圆载具组件进行移动，晶圆载具组件包括晶圆盒，晶圆载具抓取装置包括与机械臂相连的驱动夹爪、以及设置在驱动夹爪上且通过驱动夹爪驱动张开或夹紧的一对第一夹持部，晶圆盒的外侧面设置有沿水平方向延伸的第一凸起棱，一对第一夹持部相向靠近的一侧设置有沿水平方向延伸且与第一凸起棱相适配的第一夹持槽，以在机械臂驱动抓取装置至第一夹持状态时，驱动夹爪能够驱动一对第一夹持部相向靠近使得第一凸起棱插入至第一夹持槽中对晶圆盒进行移动。
[0007]在一些实施方式中，驱动夹爪具有能够沿水平方向相背远离或相向靠近的第一滑块和第二滑块，驱动夹爪的顶部和/或底部设置有导向组件，导向组件远离机械臂的一侧沿水平方向可移动的设置有第一固定件和第二固定件，第一滑块与第一固定件相连，第二滑块与第二固定件相连，一对第一夹持部分别设置在第一固定件和第二固定件上。
[0008]在一些实施方式中，导向组件包括导向安装件和直线滑轨，导向安装件设置在驱动夹爪的顶部和/或底部，直线滑轨沿水平方向延伸的设置在导向安装件远离机械臂的一侧，直线滑轨上设置有第三滑块和第四滑块，第三滑块与第一固定件相连，第四滑块与第二固定件相连。
[0009]在一些实施方式中，第一夹持槽内设置有第一感应开关。
[0010]在一些实施方式中，晶圆载具组件还包括装设于晶圆盒内的晶圆载具，晶圆载具的外侧面设置有沿水平方向延伸的第二凸起棱，抓取装置还包括一对第二夹持部，一对第二夹持部分别设置在第一固定件和第二固定件上，一对第二夹持部相向靠近的一侧设置有与第二凸起棱相适配的第二夹持槽，以使得机械臂驱动抓取装置至第二夹持状态时，驱动
夹爪能够驱动一对第二夹持部相向靠近使得第二凸起棱插入至第二夹持槽中对晶圆载具进行移动。
[0011]在一些实施方式中，晶圆载具的外侧面设置有与第二凸起棱呈预设夹角的第三凸起棱，一对第二夹持部相向靠近的一侧设置有与第二凸起棱相适配的第三夹持槽，以使得一对第二夹持部相向靠近时第三凸起棱插入至第三夹持槽内以限制第二凸起棱从第二夹持槽内移出。
[0012]在一些实施方式中，第二凸起棱与第三凸起棱交叉设置；和/或，预设夹角为90
°
。
[0013]在一些实施方式中，第一固定件远离驱动夹爪的一侧设置有第一连接件，第二固定件远离驱动夹爪的一侧设置有第二连接件，第一连接件远离第二连接件的一侧设置有第一装配面和第二装配面，第二装配面位于第一装配面和第二连接件之间，第二连接件远离第一连接件的一侧设置有第三装配面和第四装配面，第三装配面位于第四装配面和第一连接件之间，第一装配面与第二装配面在竖直方向上错位设置，第三装配面与第四装配面在竖直方向上错位设置，一对第一夹持部分别设置在第一装配面和第四装配面上，一对第二夹持部分别设置在第二装配面和第三装配面上。
[0014]在一些实施方式中，第二夹持槽内设置有第二感应开关。
[0015]在一些实施方式中，晶圆盒包括箱体以及与箱体可转动连接的上盖，箱体和上盖之间设置有沿水平方向拨动时能够落锁以及解锁的锁扣，抓取装置还包括解锁部，解锁部设置在第一固定件顶部或底部；和/或，解锁部设置在第二固定件顶部或底部，解锁部远离第一固定件的一侧设置有解锁槽，以使得机械臂驱动抓取装置至落解锁状态时，驱动夹爪能够驱动解锁槽拨动锁扣落锁或解锁。
[0016]在一些实施方式中，锁扣为两个，两个锁扣的落锁以及解锁方向相反设置，第一固定件和第二固定件上均设置有解锁部。
[0017]第一固定件和第二固定件上均设置有解锁部。
[0018]在一些实施方式中，解锁槽内设置有第三感应开关。
[0019]在一些实施方式中，机械臂与驱动夹爪之间设置有连接部，连接部包括法兰件和斜装件，法兰件的两端分别与机械臂和斜装件连接，斜装件与驱动夹爪相连接，驱动夹爪上设置有用于检测抓取装置的角度状体的倾角仪以及朝向抓取装置远离机械臂一侧的反射式传感器。
[0020]根据本申请的一个方面，本专利技术实施例还提供一种驱动机构，驱动机构包括搬运机器人以及如上所述的抓取装置。
[0021]与现有技术相比，本专利技术的抓取装置至少具有下列有益效果：
[0022]本专利技术实施例公开了一种抓取装置，抓取装置装设于搬运机器人的机械臂上，用于对晶圆载具组件进行移动，晶圆载具组件包括晶圆盒，晶圆载具抓取装置包括与机械臂相连的驱动夹爪、以及设置在驱动夹爪上且通过驱动夹爪驱动张开或夹紧的一对第一夹持部，晶圆盒的外侧面设置有沿水平方向延伸的第一凸起棱，一对第一夹持部相向靠近的一侧设置有沿水平方向延伸且与第一凸起棱相适配的第一夹持槽，以在机械臂驱动抓取装置至第一夹持状态时，第一夹持状态为搬运机器人的机械臂驱动抓取装置至抓取晶圆盒时的状态，此时由于驱动夹爪能够驱动一对第一夹持部相向靠近使得第一凸起棱插入至第一夹持槽中对晶圆盒进行移动，具体的晶圆盒相背离的两侧可以均设置有第一凸起棱，晶圆盒
相背离的两侧的两个第一凸起棱分别插设至一对第一夹持部的第一夹持槽中，而且第一夹持槽和第一凸起棱均沿水平方向设置，因此可以通过一对第一夹持部对晶圆盒进行搬运，以实现对晶圆的移动，防止造成晶圆从夹具上脱落而损坏，有效的提高晶圆的加工效率。
[0023]另一方面，本专利技术提供的驱动机构是基于上述抓取装置而设计的，其有益效果参见上述抓取装置的有益效果，在此，不一一赘述。
[0024]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抓取装置，装设于搬运机器人的机械臂上，用于对晶圆载具组件进行移动，所述晶圆载具组件包括晶圆盒(11)，其特征在于：所述抓取装置包括与所述机械臂相连的驱动夹爪(2)、以及设置在所述驱动夹爪(2)上且通过所述驱动夹爪(2)驱动张开或夹紧的一对第一夹持部(3)，所述晶圆盒(11)的外侧面设置有沿水平方向延伸的第一凸起棱(111)，一对所述第一夹持部(3)相向靠近的一侧设置有沿水平方向延伸且与所述第一凸起棱(111)相适配的第一夹持槽(31)，以在所述机械臂驱动所述抓取装置至第一夹持状态时，所述驱动夹爪(2)能够驱动一对所述第一夹持部(3)相向靠近使得所述第一凸起棱(111)插入至所述第一夹持槽(31)中对所述晶圆盒(11)进行移动。2.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于：所述驱动夹爪(2)具有能够沿水平方向相背远离或相向靠近的第一滑块和第二滑块，所述驱动夹爪(2)的顶部和/或底部设置有导向组件(4)，所述导向组件(4)远离所述机械臂的一侧沿水平方向可移动的设置有第一固定件(51)和第二固定件(52)，所述第一滑块与所述第一固定件(51)相连，所述第二滑块与所述第二固定件(52)相连，一对所述第一夹持部(3)分别设置在所述第一固定件(51)和所述第二固定件(52)上。3.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于：所述导向组件(4)包括导向安装件(41)和直线滑轨(42)，所述导向安装件(41)设置在所述驱动夹爪(2)的顶部和/或底部，所述直线滑轨(42)沿水平方向延伸的设置在所述导向安装件(41)远离所述机械臂的一侧，所述直线滑轨(42)上设置有第三滑块和第四滑块，所述第三滑块与所述第一固定件(51)相连，所述第四滑块与所述第二固定件(52)相连。4.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于：所述第一夹持槽(31)内设置有第一感应开关(32)。5.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于：所述晶圆载具组件还包括装设于所述晶圆盒(11)内的晶圆载具(12)，所述晶圆载具(12)的外侧面设置有沿水平方向延伸的第二凸起棱(121)，所述抓取装置还包括一对第二夹持部(6)，一对所述第二夹持部(6)分别设置在所述第一固定件(51)和所述第二固定件(52)上，一对所述第二夹持部(6)相向靠近的一侧设置有与所述第二凸起棱(121)相适配的第二夹持槽(61)，以使得所述机械臂驱动所述抓取装置至第二夹持状态时，所述驱动夹爪(2)能够驱动一对所述第二夹持部(6)相向靠近使得所述第二凸起棱(121)插入至所述第二夹持槽(61)中对所述晶圆载具(12)进行移动。6.根据权利要求5所述的抓取装置，其特征在于：所述晶圆载具(12)的外侧面设置有与所述第二凸起棱(121)呈预设夹角的第三凸起棱(122)，一对所述第二夹持部(6)相向靠近的一侧设置有与所述第二凸起棱(121)相适配的第三夹持槽(62)，以使得一对所述第二夹持部(6)相向靠近时所述第三凸起棱(122)插入至所述第三夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘吉意，韩笑，
申请(专利权)人：斯坦德机器人深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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