【技术实现步骤摘要】
一种抓取装置及其驱动机构
[0001]本专利技术涉及夹持装置
，尤其涉及一种抓取装置及其驱动机构。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，晶圆加工厂运载晶圆的晶圆载具通常有Cassette(下称CST)和晶圆盒，CST作为晶圆的第一接触载具在晶圆加工中起着重要作用，它可以有效保护晶圆防止晶圆在加工过程中受到污染和损坏，并且可以有效的提高晶圆的加工效率。
[0003]晶圆盒作为晶圆的第二载具，作为CST的容器，具有一定的密封性，它可以保护晶圆在运输中免受污染和损坏。
[0004]在晶圆加工厂中，晶圆装载在CST里，CST装载在晶圆盒里，一般是由操作人员直接搬运晶圆盒到预定位置，再由操作员将CST从晶圆盒取出放到晶圆加工设备的上下料口。然而人工搬运晶圆盒速度慢，耗时长。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种抓取装置及其驱动机构，旨在解决现有的通过人工搬运晶圆盒速度慢，耗时长的技术问题。
[0006]为了解决上述问题，根据本申请的一个方面，本专利技术实施例提供了一种抓取...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抓取装置，装设于搬运机器人的机械臂上，用于对晶圆载具组件进行移动，所述晶圆载具组件包括晶圆盒(11)，其特征在于：所述抓取装置包括与所述机械臂相连的驱动夹爪(2)、以及设置在所述驱动夹爪(2)上且通过所述驱动夹爪(2)驱动张开或夹紧的一对第一夹持部(3)，所述晶圆盒(11)的外侧面设置有沿水平方向延伸的第一凸起棱(111)，一对所述第一夹持部(3)相向靠近的一侧设置有沿水平方向延伸且与所述第一凸起棱(111)相适配的第一夹持槽(31)，以在所述机械臂驱动所述抓取装置至第一夹持状态时，所述驱动夹爪(2)能够驱动一对所述第一夹持部(3)相向靠近使得所述第一凸起棱(111)插入至所述第一夹持槽(31)中对所述晶圆盒(11)进行移动。2.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于：所述驱动夹爪(2)具有能够沿水平方向相背远离或相向靠近的第一滑块和第二滑块，所述驱动夹爪(2)的顶部和/或底部设置有导向组件(4)，所述导向组件(4)远离所述机械臂的一侧沿水平方向可移动的设置有第一固定件(51)和第二固定件(52)，所述第一滑块与所述第一固定件(51)相连，所述第二滑块与所述第二固定件(52)相连，一对所述第一夹持部(3)分别设置在所述第一固定件(51)和所述第二固定件(52)上。3.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于：所述导向组件(4)包括导向安装件(41)和直线滑轨(42)，所述导向安装件(41)设置在所述驱动夹爪(2)的顶部和/或底部，所述直线滑轨(42)沿水平方向延伸的设置在所述导向安装件(41)远离所述机械臂的一侧，所述直线滑轨(42)上设置有第三滑块和第四滑块，所述第三滑块与所述第一固定件(51)相连，所述第四滑块与所述第二固定件(52)相连。4.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于：所述第一夹持槽(31)内设置有第一感应开关(32)。5.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于：所述晶圆载具组件还包括装设于所述晶圆盒(11)内的晶圆载具(12)，所述晶圆载具(12)的外侧面设置有沿水平方向延伸的第二凸起棱(121)，所述抓取装置还包括一对第二夹持部(6)，一对所述第二夹持部(6)分别设置在所述第一固定件(51)和所述第二固定件(52)上，一对所述第二夹持部(6)相向靠近的一侧设置有与所述第二凸起棱(121)相适配的第二夹持槽(61)，以使得所述机械臂驱动所述抓取装置至第二夹持状态时，所述驱动夹爪(2)能够驱动一对所述第二夹持部(6)相向靠近使得所述第二凸起棱(121)插入至所述第二夹持槽(61)中对所述晶圆载具(12)进行移动。6.根据权利要求5所述的抓取装置，其特征在于：所述晶圆载具(12)的外侧面设置有与所述第二凸起棱(121)呈预设夹角的第三凸起棱(122)，一对所述第二夹持部(6)相向靠近的一侧设置有与所述第二凸起棱(121)相适配的第三夹持槽(62)，以使得一对所述第二夹持部(6)相向靠近时所述第三凸起棱(122)插入至所述第三夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘吉意，韩笑，
申请(专利权)人：斯坦德机器人深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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