温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种抓取装置及其驱动机构，抓取装置装设于搬运机器人的机械臂上，用于对晶圆载具组件进行移动，晶圆载具组件包括晶圆盒，晶圆载具抓取装置包括与机械臂相连的驱动夹爪、以及设置在驱动夹爪上且通过驱动夹爪驱动张开或夹紧的一对第一夹持部，晶圆...
该专利属于斯坦德机器人（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯坦德机器人（深圳）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。