【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备与切割方法
[0001]本专利技术涉及脆硬材料切割
，更具体的说是涉及一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备与切割方法。
技术介绍
[0002]光伏行业单晶硅棒截断、开方、切片工序多采用金刚石线锯切割方法。与其他传统方法相比较，其有着切缝窄，切割尺寸精度高，切割表面好等多个优点。由于现有切割工艺追求切割效率，多采用较大的固定工艺参数切割，致使在单晶硅棒切割快完成时，单晶硅棒受到的切割力会超过受力极限，导致晶棒出现崩边的情况。单晶硅棒切割过程中的切缝宽度与金刚石线锯振动明显相关，金刚石线锯较大的振幅会加剧切割轨迹的波动情况，表现在硅棒上则为较宽的切缝。同时，较大的线锯振动还造成了切割的不稳定，大的振幅容易在切割表面上造成较大的表面波纹度，降低切面表面质量。
[0003]目前单晶硅棒原料成本高昂的现状使得思考上述问题的解决方案有着重要意义。
[0004]因此，研究出一种可以避免崩边，且加工质量好的单晶硅棒金刚石线锯切割设备与切割方法是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备，其特征在于，包括：上料平台(1)，工件置于上料平台(1)的顶部；机械夹持机构(2)，所述机械夹持机构(2)置于所述上料平台(1)的上方；导轮切割机构(3)，所述导轮切割机构(3)包括：金刚石线锯(31)和多个导轮(32)；所述多个导轮(32)对称布置，所述金刚石线锯(31)一侧绕设于多个导轮(32)的外部，且导轮(32)带动金刚石线锯(31)旋转；下料平台(4)，所述导轮切割机构(3)设置于所述上料平台(1)和下料平台(4)之间；底座(5)，所述上料平台(1)、机械夹持机构(2)、导轮切割机构(3)以及下料平台(4)均设置于底座(5)的顶部，所述机械夹持机构(2)与底座(5)滑动连接；视觉检测单元，所述视觉检测单元设置于底座(5)的顶部，且正对所述导轮切割机构(3)；控制器，所述机械夹持机构(2)、导轮切割机构(3)、视觉检测单元分别与控制器相连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述机械夹持机构(2)包括：立柱(21)、连杆(22)以及工件夹持杆(23)；所述立柱(21)设有两个，所述立柱(21)置于底座(5)的顶部，且与所述底座(5)滑动连接；所述连杆(22)设置于两个立柱(21)之间，且所述连杆(22)的端部与所述立柱(21)滑动连接；所述工件夹持杆(23)设有两个，且均与所述连杆(22)滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述立柱(21)的底部设有底座滑块(24)，所述底座滑块(24)在所述底座(5)顶部滑动；所述连杆(22)的两端均设有立柱滑动块(25)，所述立柱滑动块(25)在所述立柱(21)的表面进行滑动。4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述工件夹持杆(23)呈L型，且置于上料平台(1)的上方；所述工件夹持杆(23)的顶部设有工件移动滑块(26)，所述工件移动滑块(26)在所述连杆(22)表面滑动；所述工件夹持杆(23)的另一端设有夹持件(27)；两个工件夹持杆(23)的夹持件(27)相对布置，工件被夹持于两个夹持件(27)之间。5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述机械夹持机构(2)还包括多个伺服电机，多个伺服电机分别与底座滑块(24)、立柱滑动块(25)、工件移动滑块(26)连接，并带动其移动；多个所述伺服电机对应连接伺服电机驱动器，所述伺服电机驱动器与控制器连接。6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述导轮切割机构(3)还包括伺服电机，所述伺服电机与导轮(32)连接，并带动导轮(32)转动；所述伺服电机对应连接伺服电机驱动器，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张树忠，陈乔枫，范舒彬，黄旭，
申请(专利权)人：福州天瑞线锯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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