下载一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备与切割方法的技术资料

文档序号:37508832

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本发明公开了一种单晶硅棒金刚石线锯切割设备与切割方法,切割设备包括:上料平台、机械夹持机构、导轮切割机构、下料平台、底座、视觉检测单元以及控制器;机械夹持机构置于上料平台的上方;导轮切割机构包括:金刚石线锯和多个导轮;多个导轮对称布置,金刚...
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