【技术实现步骤摘要】
一种应用在自动光学缺陷检测设备上的无影光源
[0001]用于半导体、面板行业，或其他产业的缺陷高精密量测、检测领域，尤其是视觉工程打光领域。
技术介绍
[0002]在缺陷高精密量测、检测领域，通常会使用光源进行打光。这其中，由于消除阴影后的照明区域的光线更均匀，无影光源在表面瑕疵的检测中是一种非常重要的照明方式。尤其是，当检测对象为复杂的电路结构与芯片结构时，无影照明的重要性更加凸显。
[0003]目前，自动光学缺陷检测设备中使用的无影光源都是LED灯。虽然使用该LED灯也能够实现无影的照明要求，但照明区域的均匀度依然较差，而且，LED在长期使用后若发生损坏，会进一步使得光线的均匀度更差。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提出一种新型的适用于缺陷高精密量测、检测领域的无影光源。该无影光源主要通过环形均匀发光器3和反射器2相结合的方式，实现了在多变的工作距离(Work Distance，缩写为WD)下的均匀照明。
[0005]与本技术相关的现有技术方案有：
[0006]1)专利CN...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用在自动光学缺陷检测设备上的无影光源，其特征在于，所述无影光源包括：光源(1)、反射器(2)和环形均匀发光器(3)；所述光源(1)，用于提供源光束(23)；所述反射器(2)内部中空，罩在待测物(4)上；所述反射器(2)的内表面是曲面，并涂有反光材质；所述反射器(2)的顶部和底部有开口，分别为相机开口(11)和待测物开口(12)；所述反射器(2)的所述相机开口(11)和相机(5)连接固定；所述反射器(2)的所述待测物开口(12)供照明光束射出，并在载物平台(6)上的所述待测物(4)的表面形成光斑；所述源光束(23)沿着所述环形均匀发光器(3)传播并射出，形成出射光束；所述环形均匀发光器(3)安装在所述反射器(2)内表面靠近所述待测物开口(12)处；所述出射光束经所述反射器(2)的漫反射，形成所述照明光束，并在所述载物平台(6)上的所述待测物(4)的表面呈现所述光斑。2.根据权利要求1所述的无影光源，其特征在于：所述环形均匀发光器(3)是光纤束；所述反射器(2)的所述内表面靠近所述待测物开口(12)处有托槽(13)；所述光纤束在所述托槽(13)内。3.根据权利要求1所述的无影光源，其特征在于：所述环形均匀发光器(3)包括石英导光管(21)和分光镜(22)；所述反射器(2)的所述内表面靠近所述待测物开口(12)处有托槽(13)；所述石英导光管(21)在所述托槽(13)内，呈带有开口的环形，所述开口为光管开口；在所述光管开口处，安装有所述分光镜(22)；所述分光镜(22)的光轴和所述光管开口的端面正交；所述分光镜(22)的镀膜面和所述光管开口的其中一个所述端面呈45
°
角；所述源光束(23)照射到所述分光镜(22)的所述镀膜面上时，和所述分光镜(22)的所述光轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰海燕，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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