一种用于纳米结构位置的标记装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于纳米结构位置的标记装置及方法，标记装置包括：光学显微镜、固定于光学显微镜的镜筒一侧的标记筒、设置于标记筒内的三维驱动组件以及与三维驱动组件通过连杆传动连接的探针；三维驱动组件能够带动探针在X、Y、Z轴方向上移动，探针能够在光学显微镜光斑照射区域内的样品上进行标记。本发明专利技术结构简单，能够将缺陷区域加以标定，便于扫描电子显微镜下观察。显微镜下观察。显微镜下观察。

【技术实现步骤摘要】
一种用于纳米结构位置的标记装置及方法


[0001]本专利技术属于芯片封装、点测
，具体涉及一种用于纳米结构位置的标记装置及方法。

技术介绍

[0002]研发周期结构(纳米柱、纳米孔、纳米光栅)的纳米压印技术时，常常需要分析压印图形的外型形貌、尺寸变化、底膜厚度、局部缺陷，该些缺陷常常以数十至数千个周期团聚，形成肉眼或光学显微镜下能够观测到宏观行为，但却无法以扫描电子显微镜进行该些缺陷的微观量测。
[0003]传统针对数十微米缺陷的标记方式是采用手持钨钢笔或在低倍率光学显微镜下采用探针于待分析区划出标记，之后将带有标记样品送入扫描电子显微镜找寻钨钢笔标记区域，进行微观分析。该方式仅对肉眼能见的宏观区域或光学显微镜下光斑照射区域辅助探针标记的区域。变通方式常是高倍率下找到缺陷区域，之后转成低倍率观察、定位，并辅以探针标记。或高倍率下找到缺陷区域，将物镜与样品间隔拉开，以光斑照射区域做定位，辅以探针标记。
[0004]如图1所示，行低倍率观察、定位，并辅以探针标记的方式受限于放大倍率低，无法有效观察到纳米级缺陷。举例60纳米光栅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于纳米结构位置的标记装置，其特征在于，包括：光学显微镜、固定于所述光学显微镜的镜筒一侧的标记筒、设置于所述标记筒内的三维驱动组件以及与所述三维驱动组件通过连杆传动连接的探针；所述三维驱动组件能够带动所述探针在X、Y、Z轴方向上移动，所述探针能够在光学显微镜光斑照射区域内的样品上进行标记。2.根据权利要求1所述的标记装置，其特征在于，所述光学显微镜的镜筒上安装有夹紧箍，所述夹紧箍的内壁轮廓与所述光学显微镜的镜筒外壁轮廓相适配，所述夹紧箍与标记筒固定连接。3.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，所述夹紧箍包括：至少两个夹紧部，相邻夹紧部之间通过紧固件连接。4.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，在所述夹紧箍上设有L型限位件，所述L型限位件穿过所述标记筒的连接孔，伸入标记筒内部，与标记筒的内壁固定连接。5.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，所述夹紧箍与标记筒通过卡扣组件可拆式连接。6.根据权利要求1所述的标记装置，其特征在于，所述探针与所述连杆可拆卸式连接。7.根据权利要求1
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6任一项所述的标记装置，其特征在于，所述三维驱动组件包括：Y轴驱动装置，所述Y轴驱动装置安装于所述标记筒上；Y向移动平台，所述Y向移动平台与Y轴驱动装置传动连接，所述Y轴驱动装置能够带动Y向移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁国华，史晓华，李其凡，
申请(专利权)人：苏州光越微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：