一种用于纳米结构位置的标记装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于纳米结构位置的标记装置及方法，标记装置包括：光学显微镜、固定于光学显微镜的镜筒一侧的标记筒、设置于标记筒内的三维驱动组件以及与三维驱动组件通过连杆传动连接的探针；三维驱动组件能够带动探针在X、Y、Z轴方向上移动，探针能够在光学显微镜光斑照射区域内的样品上进行标记。本发明专利技术结构简单，能够将缺陷区域加以标定，便于扫描电子显微镜下观察。显微镜下观察。显微镜下观察。

【技术实现步骤摘要】
一种用于纳米结构位置的标记装置及方法


[0001]本专利技术属于芯片封装、点测
，具体涉及一种用于纳米结构位置的标记装置及方法。

技术介绍

[0002]研发周期结构(纳米柱、纳米孔、纳米光栅)的纳米压印技术时，常常需要分析压印图形的外型形貌、尺寸变化、底膜厚度、局部缺陷，该些缺陷常常以数十至数千个周期团聚，形成肉眼或光学显微镜下能够观测到宏观行为，但却无法以扫描电子显微镜进行该些缺陷的微观量测。
[0003]传统针对数十微米缺陷的标记方式是采用手持钨钢笔或在低倍率光学显微镜下采用探针于待分析区划出标记，之后将带有标记样品送入扫描电子显微镜找寻钨钢笔标记区域，进行微观分析。该方式仅对肉眼能见的宏观区域或光学显微镜下光斑照射区域辅助探针标记的区域。变通方式常是高倍率下找到缺陷区域，之后转成低倍率观察、定位，并辅以探针标记。或高倍率下找到缺陷区域，将物镜与样品间隔拉开，以光斑照射区域做定位，辅以探针标记。
[0004]如图1所示，行低倍率观察、定位，并辅以探针标记的方式受限于放大倍率低，无法有效观察到纳米级缺陷。举例60纳米光栅，周期100纳米(间隙40纳米)，在200倍光学显微镜放大后在目镜内为12微米光栅，周期20微米(间隙8微米)，该尺寸低于人眼分辨能力，不易观察。若将倍率提高至500倍或1000倍，则物镜与样品间距离(1～3毫米)不足以探针进入光学显微镜观察区进行标记。若采取高倍率下找到缺陷区域，再将物镜与样品间隔拉开，试图用光斑照射区域做定位、探针标记，则会产生光斑尺寸随著样品拉远而变大，更不易明确待标记位置。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提出了一种用于纳米结构位置的标记装置及方法。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：
[0007]一方面，本专利技术公开一种用于纳米结构位置的标记装置，包括：光学显微镜、固定于光学显微镜的镜筒一侧的标记筒、设置于标记筒内的三维驱动组件以及与三维驱动组件通过连杆传动连接的探针；
[0008]三维驱动组件能够带动探针在X、Y、Z轴方向上移动，探针能够在光学显微镜光斑照射区域内的样品上进行标记。
[0009]本专利技术公开一种用于纳米结构位置的标记装置，其结构简单，能够将缺陷区域加以标定，便于扫描电子显微镜下观察。
[0010]在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
[0011]作为优选的方案，光学显微镜的镜筒上安装有夹紧箍，夹紧箍的内壁轮廓与光学
显微镜的镜筒外壁轮廓相适配，夹紧箍与标记筒固定连接。
[0012]采用上述优选的方案，无需对原有光学显微镜的结构进行改造，利用夹紧箍可以将标记筒固定的安装于光学显微镜的镜筒外侧。
[0013]作为优选的方案，夹紧箍包括：至少两个夹紧部，相邻夹紧部之间通过紧固件连接。
[0014]采用上述优选的方案，能够实现快速安装。
[0015]作为优选的方案，在夹紧箍上设有L型限位件，L型限位件穿过标记筒的连接孔，伸入标记筒内部，与标记筒的内壁固定连接。
[0016]采用上述优选的方案，能够对标记筒进行支撑，防止标记筒坠落。
[0017]作为优选的方案，夹紧箍与标记筒通过卡扣组件可拆式连接。
[0018]采用上述优选的方案，能够实现快速安装。
[0019]作为优选的方案，探针与连杆可拆卸式连接。
[0020]采用上述优选的方案，便于对探针进行更换。
[0021]作为优选的方案，三维驱动组件包括：
[0022]Y轴驱动装置，Y轴驱动装置安装于标记筒上；
[0023]Y向移动平台，Y向移动平台与Y轴驱动装置传动连接，Y轴驱动装置能够带动Y向移动平台在Y向进行移动；
[0024]X轴驱动装置，X轴驱动装置安装于Y向移动平台上；
[0025]X向移动平台，X向移动平台与X轴驱动装置传动连接，X轴驱动装置能够带动X向移动平台在X向进行移动；
[0026]Z轴驱动装置，Z轴驱动装置安装于X向移动平台上，且Z轴驱动装置通过连杆与探针传动连接，Z轴驱动装置能够带动探针在Z向进行移动。
[0027]采用上述优选的方案，结构简单，能够实现探针的三维移动。
[0028]一种用于纳米结构位置的标记方法，利用上述任一种标记装置进行标记，具体包括以下步骤：
[0029]步骤一：对探针的位置进预校正；
[0030]步骤二：将纳米结构的待测样品放置于光学显微镜下，利用光学显微镜找到待测样品上的疑似纳米结构异常区域，并将该区域定为观察区可视中心；
[0031]步骤三：三维驱动组件驱动探针移动至观察区可视中心外侧，划一个或多个圆围绕纳米结构异常区域。
[0032]本专利技术公开一种用于纳米结构位置的标记方法，其步骤简单，操作便捷，能够将缺陷区域加以标定，便于扫描电子显微镜下观察。
[0033]作为优选的方案，步骤一具体包括以下内容：
[0034]三维驱动组件驱动探针移动至光学显微镜的中心，校正归零水平中心原点，将校正样品放置于光学显微镜下，完成聚焦；
[0035]三维驱动组件驱动探针移动至光学显微镜的可视范围内后，进一步驱动探针逐步下降，直至探针与校正样品接触；
[0036]三维驱动组件驱动探针沿X向或Y向移动，若探针能够在校正样品表面划出标记痕迹，则完成Z轴校正，若无法划出标记痕迹，则重新进行预校正。
[0037]采用上述优选的方案，保证探针移动的有效性。
附图说明
[0038]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0039]图1为现有技术提供的标记方法的示意图。
[0040]图2为本专利技术实施例提供的标记装置的结构示意图。
[0041]图3为本专利技术实施例提供的夹紧箍的爆炸图。
[0042]图4为本专利技术实施例提供的夹紧箍上L型限位件与标记筒连接的示意图。
[0043]图5为本专利技术实施例提供的三维驱动组件的结构示意图。
[0044]图6为本专利技术实施例提供的三维驱动组件的侧视图。
[0045]其中：1
‑
光学显微镜，2
‑
标记筒，21
‑
底面平台，22
‑
连接孔，3
‑
三维驱动组件，31
‑
Y轴驱动装置，32
‑
Y向移动平台，33
‑
X轴驱动装置，34
‑
X向移动平台，35
‑
Z轴驱动装置，4
‑
连杆，5
‑
探针，6
‑
夹紧箍，61
‑
夹紧部，62
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于纳米结构位置的标记装置，其特征在于，包括：光学显微镜、固定于所述光学显微镜的镜筒一侧的标记筒、设置于所述标记筒内的三维驱动组件以及与所述三维驱动组件通过连杆传动连接的探针；所述三维驱动组件能够带动所述探针在X、Y、Z轴方向上移动，所述探针能够在光学显微镜光斑照射区域内的样品上进行标记。2.根据权利要求1所述的标记装置，其特征在于，所述光学显微镜的镜筒上安装有夹紧箍，所述夹紧箍的内壁轮廓与所述光学显微镜的镜筒外壁轮廓相适配，所述夹紧箍与标记筒固定连接。3.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，所述夹紧箍包括：至少两个夹紧部，相邻夹紧部之间通过紧固件连接。4.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，在所述夹紧箍上设有L型限位件，所述L型限位件穿过所述标记筒的连接孔，伸入标记筒内部，与标记筒的内壁固定连接。5.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，所述夹紧箍与标记筒通过卡扣组件可拆式连接。6.根据权利要求1所述的标记装置，其特征在于，所述探针与所述连杆可拆卸式连接。7.根据权利要求1
‑
6任一项所述的标记装置，其特征在于，所述三维驱动组件包括：Y轴驱动装置，所述Y轴驱动装置安装于所述标记筒上；Y向移动平台，所述Y向移动平台与Y轴驱动装置传动连接，所述Y轴驱动装置能够带动Y向移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁国华，史晓华，李其凡，
申请(专利权)人：苏州光越微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：