一种适用于多种形状基片的吸盘制造技术

本发明专利技术涉及基片加工固定设备技术领域，具体涉及一种适用于多种形状基片的吸盘。包括刻有多条真空槽的吸盘，吸盘设置有旋转中心，圆形真空槽围绕吸盘的旋转中心设置，吸盘上设置有多个以吸盘旋转中心为对称点的固定条，固定条对应的吸盘边缘设置有挡板。本发明专利技术通过在旋涂圆形基片的基础上增加固定条，可以更加方便地旋涂不同尺寸的异形基片，使胶层更加均匀，不易脱盘或者变形。不易脱盘或者变形。不易脱盘或者变形。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于多种形状基片的吸盘


[0001]本专利技术涉及基片加工固定设备
，具体涉及一种适用于多种形状基片的吸盘。

技术介绍

[0002]纳米压印在光学领域应用较多，AR眼镜是该领域的热门话题之一。由于光刻胶会保留在玻璃基底上，对AR眼镜来说光刻胶是很重要的一部分。光刻胶膜层的好坏以及厚度的均匀性会对AR眼镜的最终结果造成影响。由于圆形基底的使用较多，常见的工作吸盘均为圆形。但近几年随着需求和用途的增加异形模板也越来越多，圆形基片(即wafer，一种用于生产集成电路的载体)的吸盘虽然可以吸附住方形基片，但是却不能很好地将吸盘的中心与基片的中心对应起来，可能会造成基片整体胶层厚度不均匀，对后续刻蚀或者光刻等其他工艺来说有较大影响，因此圆形基片的工作吸盘旋涂时不太适用于异形基片。而按照一种尺寸定制的工作吸盘仅能适用于这一种基片，只要尺寸稍有变动，旧的工作吸盘可能就不太适用。在实际实验过程中可能会用到不同尺寸的方形基片，其中心位置无法跟吸盘对准，吸盘真空槽的位置与方形基片对应的也不是很好，不仅有脱盘的可能，更直接可以会使玻璃变形，影响后续实验流程。

技术实现思路

[0003]为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。
[0004]针对现有技术的上述不足，本专利技术提供一种适用于多种形状基片的吸盘，通过在旋涂圆形基片的基础上增加固定条，可以更加方便地旋涂不同尺寸的异形基片，使胶层更加均匀，不易脱盘或者变形。
[0005]本专利技术的技术方案如下：
[0006]一种适用于多种形状基片的吸盘，包括刻有多条真空槽的吸盘，其特征在于：所述吸盘设置有吸盘旋转中心，所述圆形真空槽围绕吸盘的旋转中心设置，所述吸盘上设置有多个以吸盘旋转中心为对称点的固定条，所述固定条对应的吸盘边缘设置有挡板。
[0007]作为优选，所述吸盘设置有以吸盘旋转中心为中心的“十”字方向，在“十”字方向上竖直设置有四个固定条，相邻的所述固定条呈垂直夹角。
[0008]作为优选，所述固定条前侧设置有硅胶片。硅胶片的目的是增大固定条与基片之间的摩擦力，减少基片产生形变。
[0009]作为优选，所述硅胶片后侧设置有用于固定硅胶片的金属板。固定条后侧紧贴有一块金属板，金属板用于固定硅胶片，给硅胶片增加一些硬度，防止硅胶片太软，吸盘旋转时难以固定基片。
[0010]作为优选，所述金属板连接有固定条旋钮，所述固定条旋钮穿过挡板设置在挡板
后侧。固定条旋钮从挡板穿过，可以使其保持在吸盘的表面活动。
[0011]作为优选，所述固定条旋钮上设置有刻度标识。可以更直观地观察固定条向前推进的距离，依次判断基片是否处于吸盘中心位置。
[0012]作为优选，所述金属板连接有丝杆，所述丝杆上设置有刻度标识，所述丝杆穿过挡板并在挡板后侧连接有旋转螺母。可以更直观地观察固定条向前推进的距离，依此判断基片是否处于吸盘中心位置，通过调整旋转螺母将固定条用于固定并定位基片中心位置。
[0013]作为优选，所述丝杆在挡板前侧还设置有限位螺母。
[0014]作为优选，所述吸盘的正面设置有真空槽，吸盘1的背面设置有中空的圆柱形卡槽。圆柱形卡槽可以便于将吸盘插入旋涂设备主体。真空槽整体直径为30mm，可以在保证定基片不脱盘的同时涂胶均匀。
[0015]以上的总体描述和下文中的描述仅是示例性和解释性的，不用于限制本申请。
[0016]本专利技术的有益效果
[0017]本专利技术可以保证旋涂圆形基片时减少基片的形变以及涂胶不均匀的情况，同时可以对其他方形或者异形基片进行涂胶，可通过吸盘上四个刻度旋钮对基片找中心，尽量避免因放置偏心造成胶层厚度不一样。本专利技术可以用旋涂或清洗设备的吸盘，在圆形吸盘的基础上做一些改动，在可以更好地旋涂圆形基片的基础上，使之更能适用于方形或者其他异形的基片。
附图说明
[0018]一个或多个实施例通过与之对应的附图进行示例性说明，这些示例性说明和附图并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件示为类似的元件，附图不构成比例限制，并且其中：
[0019]图1是本专利技术实施例1的结构示意图。
[0020]图2为本专利技术实施例1的截面示意图。
[0021]图3为本专利技术实施例1的工作示意图。
[0022]图4为本专利技术实施例2的结构示意图。
[0023]其中，1
‑
吸盘，11
‑
真空槽，2
‑
固定条，21
‑
硅胶片，22
‑
金属板，23
‑
旋钮，3
‑
吸盘旋转中心，4
‑
挡板，5
‑
圆柱形卡槽，6
‑
丝杆，7
‑
旋转螺母，8
‑
限位螺母，9
‑
基片。
具体实施方式
[0024]为了能够更加详尽地了解本公开实施例的特点与
技术实现思路
，下面结合附图对本公开实施例的实现进行详细阐述，所附附图仅供参考说明之用，并非用来限定本公开实施例。在以下的技术描述中，为方便解释起见，通过多个细节以提供对所披露实施例的充分理解。然而，在没有这些细节的情况下，一个或多个实施例仍然可以实施。在其它情况下，为简化附图，熟知的结构和装置可以简化展示。
[0025]本公开实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本公开实施例的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0026]本公开实施例中，术语“上”、“下”、“内”、“中”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本公开实施例及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本公开实施例中的具体含义。
[0027]另外，术语“设置”、“连接”、“固定”应做广义理解。例如，“连接”可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开实施例中的具体含义。
[0028]除非另有说明，术语“多个”表示两个或两个以上。
[0029]本公开实施例中，字符“/”表示前后对象是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于多种形状基片的吸盘，包括刻有多条真空槽(11)的吸盘(1)，其特征在于：所述吸盘(1)设置有吸盘旋转中心，所述圆形真空槽(11)围绕吸盘旋转中心(3)设置，所述吸盘(1)上设置有多个以吸盘旋转中心(3)为对称点的固定条(2)，所述固定条(2)对应的吸盘1边缘设置有挡板(4)。2.根据权利要求1所述的一种适用于多种形状基片的吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)设置有以吸盘(1)旋转中心为中心的“十”字方向，在“十”字方向上竖直设置有四个固定条(2)，相邻的所述固定条(2)呈垂直夹角。3.根据权利要求1所述的一种适用于多种形状基片的吸盘，其特征在于：所述固定条(2)前侧设置有硅胶片(21)。4.根据权利要求3所述的一种适用于多种形状基片的吸盘，其特征在于：所述硅胶片(21)后侧设置有用于固定硅胶片(21)的金属板(22)。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，闫思梦，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：