提供一种用于处理基板的设备，所述设备包括：液体处理室，所述液体处理室用于通过将处理液体供应到基板来对所述基板进行液体处理；以及液体供应单元，所述液体供应单元用于将所述处理液体供应到所述液体处理室，其中所述液体供应单元包括：机柜，所述机柜被配置为安装容纳所述处理液体的瓶；以及旋转产生部分，所述旋转产生部分被配置为旋转所述瓶，使得安装在所述机柜上的所述瓶的入口面向的方向发生改变。改变。改变。
【技术实现步骤摘要】
液体供应单元、基板处理设备和瓶替换方法
[0001]本专利技术涉及一种液体供应单元和包括该液体供应单元的基板处理设备，更具体地涉及一种将处理液体供应到液体处理室的液体供应单元，该液体处理室将处理液体供应到基板并且处理该基板。
技术介绍
[0002]为了制造半导体装置或平面显示面板，执行各种过程，诸如光刻过程、蚀刻过程、灰化过程、薄膜沉积过程、清洗过程。在这些过程中，光刻过程包括在诸如晶片等基板上供应光致抗蚀剂以形成涂覆膜的涂覆过程、通过使用掩模向基板上形成的涂覆膜发射光的曝光过程以及向已经执行了曝光过程以在基板上获得期望的图案的涂覆膜提供显影剂的显影过程。
[0003]通常，光致抗蚀剂储存在供应抗蚀剂的机柜中。机柜安装在用于处理基板的设备中。光致抗蚀剂容纳在瓶里。瓶可互换地设置在机柜中。瓶连接到化学液体管线，该化学液体管线直接地/间接地连接到执行涂覆过程的液体处理室。瓶还连接到将惰性气体供应到瓶中的气体管线。气体管线将惰性气体供应到瓶中，并且将瓶中的光致抗蚀剂推入化学液体管线中。当容纳在瓶中的光致抗蚀剂耗尽时，替换瓶。具体地，用户打开机柜，将空瓶与机柜分离，并且将容纳有光致抗蚀剂的新瓶安装在机柜上。另外，安装在机柜上的瓶的入口始终朝上。
[0004]通过供应惰性气体将光致抗蚀剂供应到液体处理室的所谓气体加压方法可能在瓶中容纳的光致抗蚀剂中产生气泡。另外，由于瓶的入口始终朝上，可能难以消耗掉瓶中容纳的所有光致抗蚀剂。
技术实现思路
[0005]本专利技术致力于提供能够有效地处理基板的液体供应单元和包括该液体供应单元的基板处理设备。
[0006]本专利技术还致力于提供能够最小化处理液体中产生气泡和/或颗粒的液体供应单元和包括所述液体供应单元的基板处理设备。
[0007]本专利技术还致力于提供能够在不供应惰性气体的情况下将瓶中的处理液体传送到液体处理室的液体供应单元和包括所述液体供应单元的基板处理设备。
[0008]本专利技术还致力于提供能够有效地消耗瓶中的处理液体的液体供应单元和包括所述液体供应单元的基板处理设备。
[0009]本专利技术要解决的问题不限于上述问题，并且本领域技术人员通过本说明书和附图将清楚地理解未提及的问题。
[0010]本专利技术的示例性实施例提供一种用于处理基板的设备，所述设备包括：液体处理室，所述液体处理室用于通过将处理液体供应到基板来对基板进行液体处理；以及液体供应单元，所述液体供应单元用于将处理液体供应到液体处理室，其中液体供应单元包括：机
柜，所述机柜被配置为安装容纳处理液体的瓶；以及旋转产生部分，所述旋转产生部分被配置为旋转所述瓶，使得安装在机柜上的瓶的入口面向的方向发生改变。
[0011]根据示例性实施例，液体供应单元可以进一步包括具有内部空间的框架，所述机柜可以被配置为可插入到所述内部空间中，并且所述旋转产生部分可以旋转所述瓶，使得当安装在机柜上的瓶位于设置在所述内部空间中的第一位置时，所述瓶的入口面向向下方向。
[0012]根据示例性实施例，所述旋转产生部分可以旋转所述瓶，使得当安装在所述机柜上的瓶位于所述内部空间之外的第二位置时，所述瓶的入口面向向上方向。
[0013]根据示例性实施例，所述旋转产生部分可以被配置为根据机柜在第一位置与第二位置之间移动的线性运动来产生用于旋转所述瓶的旋转运动。
[0014]根据示例性实施例，液体供应单元可以包括：第一轴，所述第一轴接收由所述旋转产生部分产生的旋转力；以及第二轴，瓶安装在所述第二轴上，并且所述第二轴取决于第一轴的旋转同时旋转，并且所述第一轴和所述第二轴可以安装在机柜中。
[0015]根据示例性实施例，所述第一轴的旋转轴线和所述第二轴的旋转轴线可以彼此相交，并且液体供应单元可以包括横轴连接部分，所述横轴连接部分在作为横轴的所述第一轴和所述第二轴之间传递运动。
[0016]根据示例性实施例，所述横轴连接部分可以包括：驱动齿轮，所述驱动齿轮安装在所述第一轴的一端处；以及从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述第二轴的一端处。
[0017]根据示例性实施例，液体供应单元可以包括：帽，所述帽安装在所述第二轴上，并且所述瓶安装在所述帽上；以及化学液体管线，所述化学液体管线连接到所述帽并且将安装在所述帽上的所述瓶中的处理液体移动到液体处理室。
[0018]根据示例性实施例，液体供应单元可以进一步包括：气体管线，所述气体管线连接到所述帽并且供应气体以对所述瓶中的空间进行加压；以及气体阀，所述气体阀安装在所述气体管线中。
[0019]根据示例性实施例，所述设备可以进一步包括控制器，其中所述控制器可以控制所述气体阀的打开和关闭，使得所述气体管线根据用户的设置将气体选择性地供应到所述瓶中的空间。
[0020]根据示例性实施例，所述设备可以进一步包括捕集单元，所述捕集单元去除从安装在机柜上的所述瓶通过所述化学液体管线排出并且输送到液体处理室的处理液体中的杂质或处理液体中的气泡或杂质。
[0021]根据示例性实施例，当安装在机柜上的所述瓶的入口面向向下方向时，捕集单元可以定位在所述瓶的下方。
[0022]本专利技术的另一示例性实施例提供一种用于将处理液体供应到液体处理室的液体供应单元，所述液体供应单元包括：机柜，瓶可替换地安装到所述机柜；以及旋转产生部分，所述旋转产生部分用于旋转所述瓶，使得所述瓶的姿势在供应姿势和更换姿势之间改变，在所述供应姿势中所述瓶的入口面向向下方向并且所述瓶中的处理液体被供应到液体处理室，在所述更换姿势中所述瓶的入口面向向上方向。
[0023]根据示例性实施例，机柜可以被配置为可在第一位置与不同于第一位置的第二位置之间移动，并且所述旋转产生部分可以根据机柜的位置旋转所述瓶。
[0024]根据示例性实施例，液体供应单元可以进一步包括具有内部空间的框架，第一位置可以是所述瓶被设置在所述内部空间中的位置，并且所述第二位置是所述瓶在所述内部空间之外的位置，并且所述旋转产生部分可以被配置为使得当机柜位于第一位置时所述瓶处于供应姿势，并且当机柜位于第二位置时所述瓶处于更换姿势。
[0025]根据示例性实施例，所述旋转产生部分可以被配置为根据机柜在所述第一位置与所述第二位置之间移动的线性运动来产生用于改变所述瓶的姿势的旋转运动。
[0026]本专利技术的又一示例性实施例提供一种替换用于将处理液体供应到液体处理室的瓶的方法，所述方法包括：将第一瓶与将处理液体供应到液体处理室的液体供应单元分离；将不同于所述第一瓶的第二瓶安装在液体供应单元上；以及在所述第二瓶的入口面向向下方向的状态下，将所述第二瓶中的处理液体供应到液体处理室。
[0027]根据示例性实施例，所述方法可以进一步包括旋转所述第二瓶，使得安装在液体供应单元上的所述第二瓶的入口面向向下方向。
[0028]根据示例性实施例，旋转第二瓶可以包括：通过将包括在液体供应单元中并且安装所述第二瓶的机柜的线性运动转换成旋转所述第二瓶的旋转运动来旋转所述第二瓶。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括：液体处理室，所述液体处理室用于通过将处理液体供应到基板来对所述基板进行液体处理；以及液体供应单元，所述液体供应单元用于将所述处理液体供应到所述液体处理室，其中所述液体供应单元包括：机柜，所述机柜被配置为安装容纳所述处理液体的瓶；以及旋转产生部分，所述旋转产生部分被配置为旋转所述瓶，使得安装在所述机柜上的所述瓶的入口面向的方向发生改变。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述液体供应单元进一步包括具有内部空间的框架，所述机柜被配置为能够插入到所述内部空间中，并且所述旋转产生部分旋转所述瓶，使得当安装在所述机柜上的所述瓶位于设置在所述内部空间中的第一位置时，所述瓶的所述入口面向向下方向。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述旋转产生部分旋转所述瓶，使得当安装在所述机柜上的所述瓶位于所述内部空间之外的第二位置时，所述瓶的所述入口面向向上方向。4.根据权利要求3所述的设备，其中所述旋转产生部分被配置为根据所述机柜在所述第一位置与所述第二位置之间移动的线性运动来产生用于旋转所述瓶的旋转运动。5.根据权利要求1至4中任一项所述的设备，其中所述液体供应单元包括：第一轴，所述第一轴接收由所述旋转产生部分产生的旋转力；以及第二轴，所述瓶安装到所述第二轴，并且所述第二轴取决于所述第一轴的旋转同时旋转，并且所述第一轴和所述第二轴安装在所述机柜中。6.根据权利要求5所述的设备，其中所述第一轴的旋转轴线和所述第二轴的旋转轴线彼此相交，并且所述液体供应单元包括横轴连接部分，所述横轴连接部分在作为横轴的所述第一轴与所述第二轴之间传递运动。7.根据权利要求6所述的设备，其中所述横轴连接部分包括：驱动齿轮，所述驱动齿轮安装在所述第一轴的一端处；以及从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述第二轴的一端处。8.根据权利要求7所述的设备，其中所述液体供应单元包括：帽，所述帽安装在所述第二轴上，并且所述瓶安装在所述帽上；以及化学液体管线，所述化学液体管线连接到所述帽并且将安装在所述帽上的所述瓶中的所述处理液体移动到所述液体处理室。9.根据权利要求8所述的设备，其中所述液体供应单元进一步包括：气体管线，所述气体管线连接到所述帽并且供应气体以对所述瓶中的空间进行加压；以及气体阀，所述气体阀安装在所述气体管线中。10.根据权利要求9所述的设备，其进一步包括：控制器，
其中所述控制器控制所述气体阀的打开和关闭，使得所述气体管线根据用户的设置将气体选择性地供应到所述瓶内的所述空间。11.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：李大云，赵泳柱，李晟圭，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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