【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳米压印领域,更具体地说,涉及一种用于纳米压印工作模具的模切装置。
技术介绍
1、随着微纳加工技术的不断进步,母版的制备工艺日渐成熟,目前,可以用电子束光刻、离子束光刻、激光直写等方法,结合刻蚀在硅、石英等材料上制备各种微纳结构,然而大幅面微纳结构的制备,其技术难度高,加工费高昂,加工周期长,对于纳米尺度的产品,还必须保持所有图形的精确度和分辨率,而纳米压印技术就是一种新型的微纳加工技术,该技术通过机械转移的手段,达到了超高的分辨率。
2、纳米压印拼版设备可将一小组结构拼接成一大组结构,将原来数厘米大小的小目标,或者将含有微纳结构的若干宏观图形拼接成大母版,结合纳米压印技术,可快速实现微纳加工的量产。
3、在拼版的过程中,需要将小母版的工作模具裁切,然后进行拼版,一般通过人工手动裁切,将带有纳米结构的工作模具从整个模具上裁切下来,在裁切过程中需要采用固定夹具对工作模具进行固定,采用固定夹具的机械式夹取方式,容易造成工作模具上的损伤,此外,传统的裁切之后,同样需要人工将带有纳米结构的工作模具从整个模具
...【技术保护点】
1.一种用于纳米压印工作模具的模切装置,包括底座(1)和固定于其上端一侧的模切台(2),其特征在于:所述模切台(2)中部位置处开设有裁切口(201),所述模切台(2)上端面开设有两组分别对称位于裁切口(201)外侧的吸附孔(202),所述底座(1)上端通过一对电动推缸一(6)升降连接有下升降板(4),所述下升降板(4)顶端固定连接有位于裁切口(201)处的吸附台(5),所述裁切口(201)与吸附台(5)之间形成模切空间;
2.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印工作模具的模切装置,其特征在于:所述模切台(2)内部开设有与每组裁切口(201)相连通的通气槽,
...【技术特征摘要】
1.一种用于纳米压印工作模具的模切装置,包括底座(1)和固定于其上端一侧的模切台(2),其特征在于:所述模切台(2)中部位置处开设有裁切口(201),所述模切台(2)上端面开设有两组分别对称位于裁切口(201)外侧的吸附孔(202),所述底座(1)上端通过一对电动推缸一(6)升降连接有下升降板(4),所述下升降板(4)顶端固定连接有位于裁切口(201)处的吸附台(5),所述裁切口(201)与吸附台(5)之间形成模切空间;
2.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印工作模具的模切装置,其特征在于:所述模切台(2)内部开设有与每组裁切口(201)相连通的通气槽,两个所述通气槽外端共同连接有吸附管一(203)。
3.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印工作模具的模切装置,其特征在于:所述吸附台(5)在初始状态下其上端部与裁切口(201)上端面相齐平设置,且吸附台(5)截面积小于裁切口(201)截面积。
4.根据权利要求3所述的一种用于纳米压印工作模具的模切装置,其特征在于:所述吸附台(5)的四角均开设有上端具有敞口一的中空圆孔(501),相邻两个所述中空...
【专利技术属性】
技术研发人员:冀然,李铭,
申请(专利权)人:青岛天仁微纳科技有限责任公司,
类型:发明
国别省市:
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