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本发明公开了一种用于纳米压印工作模具的模切装置,属于纳米压印领域,本发明是采用负压吸附的方式替代传统固定夹具的机械夹紧方式,既简化定位操作,又不会对工作模具造成机械损伤,且采用吸附孔与吸附台对工作模具上的模具边部、纳米结构部进行分区吸附固定...该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于纳米压印工作模具的模切装置,属于纳米压印领域,本发明是采用负压吸附的方式替代传统固定夹具的机械夹紧方式,既简化定位操作,又不会对工作模具造成机械损伤,且采用吸附孔与吸附台对工作模具上的模具边部、纳米结构部进行分区吸附固定...