蚀刻机用蚀刻液循环系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种蚀刻机用蚀刻液循环系统，包括蚀刻液过滤器，所述蚀刻液过滤器与蚀刻液药槽之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液过滤器的另一端与蚀刻液外循环管道联通，所述蚀刻液过滤器的上端还连接有一气路通道。本实用新型专利技术的有益效果体现在：通过在蚀刻液过滤器的上端与气路管道联通，在需要进行蚀刻液的排空时，利用气体进行冲压能很好的将管道内的残留蚀刻液排尽，避免后续更换的新的蚀刻液受到残留药液的影响，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻机用蚀刻液循环系统


[0001]本技术属于半导体
，尤其涉及一种蚀刻机用蚀刻液循环系统。

技术介绍

[0002]PCB（ Printed Circuit Board），中文名称为印刷电路板，又称印刷线路板。PCB板是重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，也是电子元器件电气相互连接的载体。其提供了集成电路等各种电子元器件固定、装配的机械支承，实现了集成电路等各种电子元器件之间的布线和电气连接或电绝缘，提供所要求的电气特性。在半导体器件制造中，印刷电路板会在刻蚀机中经过蚀刻液的刻蚀以选择性地从衬底上的薄膜去除材料并通过这种去除在衬底上创建该材料的图案。在使用完成后需要对蚀刻液进行排空处理，现有的排空方式通常是将过滤器出口端打开进行排空，虽然能将过滤器内的蚀刻液排出，但整个系统管路内的蚀刻液无法彻底排空，导致蚀刻系统的管路中留有药液的残留，影响后续新药液受到残液的影响。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的问题，本技术提供了一种蚀刻机用蚀刻液循环系统。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]蚀刻机用蚀刻液循环系统，包括蚀刻液过滤器，所述蚀刻液过滤器与蚀刻液药槽之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液过滤器的另一端与蚀刻液外循环管道联通，所述蚀刻液过滤器的上端还连接有一气路通道。
[0006]优选地，所述气路通道的进气端与外设氮气设备通过控制阀连接。
[0007]优选地，所述蚀刻液过滤器的入口端与蚀刻液药槽的出口端连接，所述蚀刻液过滤器的下端设置有排液口，所述蚀刻液过滤器的滤清液出口的一端与蚀刻液药槽入口端连接，所述蚀刻液过滤器的滤清液出口的另一端与蚀刻液外循环管道联通。
[0008]优选地，所述蚀刻液外循环管道与蚀刻液内循环内循环系统的管路联通。
[0009]优选地，所述蚀刻液过滤器的排液口设置有双通阀。
[0010]本技术的有益效果体现在：通过在蚀刻液过滤器的上端与气路管道联通，在需要进行蚀刻液的排空时，利用气体进行冲压能很好的将管道内的残留蚀刻液排尽，避免后续更换的新的蚀刻液受到残留药液的影响，实用性强。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本技术的结构示意图。
[0013]1蚀刻液药槽，2蚀刻液过滤器，3泵，22双通阀，5控制阀，42第二三通阀，4三通阀，41出入口。
实施方式
[0014]本技术揭示了一种蚀刻机用蚀刻液循环系统。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图1及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0015]一种蚀刻机用蚀刻液循环系统，包括蚀刻液过滤器2，所述蚀刻液过滤器2的上端连接有一气路通道。所述蚀刻液过滤器2与蚀刻液药槽1之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液外循环管道与蚀刻液内循环系统的管路联通，本技术中的内循环系统是指刻蚀机内部的内循环系统。
[0016]所述蚀刻液过滤器2的入口端与蚀刻液药槽1的出口端连接，所述蚀刻液过滤器2的下端设置有排液口，所述排液口设置有双通阀22。所述蚀刻液过滤器2的滤清液出口的一端与蚀刻液药槽1入口端连接，所述蚀刻液过滤器2的滤清液出口的另一端与蚀刻液外循环管道联通。
[0017]具体的，所述蚀刻液过滤器2的上端与外设氮气设备通过控制阀5连接，打开控制阀5即可对蚀刻液过滤器2进行通气起到冲压的作用。所述蚀刻液过滤器2的进料口与蚀刻液药槽1的出料端通过泵3连接，所述蚀刻液过滤器2的滤清液出口通过一个三通阀4的一端回流至蚀刻液药槽1的入口一端形成内循环系统。所述三通阀4的另一端与第二三通阀42连接，第二三通阀42的第二端与蚀刻液内循环系统的管道通过外循环管道连接进入到蚀刻液药槽1，该第二三通阀42的第三端为蚀刻液外循环管道的出口41。
[0018]初始状态，在需要刻蚀时，外循环管道内的蚀刻液将进入到内循环管道内与内循环管道内的蚀刻液进行混合，混合完成后通过出口41流出用于刻蚀机的刻蚀用药所需。在刻蚀机的刻蚀系统内，蚀刻液会在内循环系统中会处于连续不断的流通状态，同时，蚀刻液在刻蚀时需要保持一定的温度。
[0019]当需要进行更换蚀刻液时，打开控制阀5氮气通过气路管道对蚀刻液过滤器2进行通气冲压，在压力作用下，内、外循环系统管道内的原有的蚀刻液将回流至蚀刻液药槽1，从而保证了管道内蚀刻液的排空。一段时间后，打开蚀刻液过滤器2下方的双通阀22，遗留在蚀刻液过滤器2内的蚀刻液将在压力作用下排空。
[0020]当然本技术尚有多种具体的实施方式，在此就不一一列举。凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：包括蚀刻液过滤器，所述蚀刻液过滤器与蚀刻液药槽之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液过滤器的另一端与蚀刻液外循环管道联通，所述蚀刻液过滤器的上端还连接有一气路通道。2.如权利要求1所述的蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：所述气路通道的进气端与外设氮气设备通过控制阀连接。3.如权利要求2所述的蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：所述蚀刻液过滤器的入...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏发成，颜琮琳，
申请(专利权)人：矽品科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：