cassette检测平台制造技术

本实用新型专利技术提供了cassette检测平台，包括检测台面；检测压条，设置于所述检测台面上。感应组件，设置于检测压条的一侧，用于感应检测压条上是否有cassette，所述感应组件为传感器。本实用新型专利技术的有益效果体现在：通过传感器进行感应，避免了机械开关的触动，感应精准，长期使用能保证感应的稳定性，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
cassette检测平台


[0001]本技术属于半导体
，尤其涉及一种cassette检测平台。

技术介绍

[0002]晶舟（cassette），又称晶圆花篮，是晶圆盒中承载晶圆片的特制架状载具。承载过程中，通常需要一片一片地将晶圆放入架中，再把整个架子放到晶圆盒内，这个架子被称为晶舟 Cassette。Cassette通常分为专用和流转，专用是在某个制程使用，要加工时，需要把晶圆装到专用Cassette才允许在本制程加工。
[0003]在半导体封装Die Attach制程中，需要将内置晶圆的cassette置于入料检测平台，机台首先检查cassette是否放置好，检测正常后将晶圆拉入机台内生产。现有的检测平台包括一检测台面，所述检测台面上设置有检测压条，所述检测压条的一侧设置有微动开关，当cassette放置于检测台面上时，检测压条受力时会触发微动开关闭合，从而驱动后续程序将晶圆拉入机台进行下一道工序。但当压条在长期使用过后，可能导致变形，因此，当变形后的检测压条再次受力时，就无法触发微动开关，导致流程无法自动进行。
技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.cassette检测平台，其特征在于：包括检测台面；检测压条，设置于所述检测台面上，所述检测压条与所述检测台面之间设置有弹簧，所述检测压条受力，驱动所述弹簧进行压缩；感应组件，设置于检测压条的一侧，用于感应检测压条上是否有cassette，所述感应组件为传感器。2.如权利要求1所述的cassette检测平台，其特征在于：所述检测压条的一侧设置有两条凹槽，所述凹槽之间设置有间隙。3.如权利要求2所述的cassette检测平台，其特征在于：所述传感器设置有两个，分别置于两个凹槽内，所述传感器的感应端垂直于所述凹槽底面向上设置。4.如权利要求3所述的cassette检...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾洪胜，王峰，
申请(专利权)人：矽品科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：