本实用新型专利技术提供一种调节装置和晶圆置换机，调节装置包括：至少两个调节组件；每个调节组件包括至少两个吸附单元、一限位单元、一调节单元和一可伸缩单元；其中，吸附单元与调节单元连接；所有调节组件的所有吸附单元的吸附端位于同一平面上，且所述吸附单元的吸附端与所述晶舟盒的盒门抵接；限位单元与晶舟盒和调节单元均活动连接；调节单元与可伸缩单元连接；可伸缩单元配置为：在伸展时通过调节单元带动吸附单元向靠近限位单元的方向移动；在收缩时通过调节单元带动吸附单元向远离限位单元的方向移动。本实用新型专利技术提供的调节装置简易便捷，不易损坏，避免了因盒门位置异常而频繁报警的问题。报警的问题。报警的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种调节装置和晶圆置换机
[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种调节装置和晶圆置换机。
技术介绍
[0002]在半导体的制备过程中，当晶圆生产检验完成后，需要通过晶圆置换机进行晶圆ID比对和晶舟盒的置换(晶圆传送盒
→
晶舟盒)，以满足包装需求。现有技术中，晶舟盒的开启通过机台自动执行，因此，当晶舟盒的盒门与晶舟盒组合异常时会使得机台运行错误。其中，当晶舟盒的盒门卡偏或卡紧，都会影响机台钥匙插入晶舟盒开启盒门，由此将损伤晶舟盒，缩短晶舟盒的使用寿命。甚至导致机台因故障而宕机，增加设备待机时间，导致机台的运行效率降低，进而影响产品进程。
[0003]因此，如何提供一种新的调节装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种调节装置和晶圆置换机，以解决现有技术存在的因晶舟盒门卡偏或卡紧影响机台钥匙插入晶舟盒门，从而导致机台运行效率降低以及机台因故障宕机的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种调节装置，适用于晶圆置换机，所述调节装置包括：至少两个调节组件；
[0006]每个调节组件包括至少两个吸附单元、一限位单元、一调节单元和一可伸缩单元；
[0007]其中，所述吸附单元与所述调节单元连接；
[0008]所有所述调节组件的所有所述吸附单元的吸附端位于同一平面上；
[0009]所述限位单元与所述晶舟盒和所述调节单元均活动连接；
[0010]所述调节单元与所述可伸缩单元连接；所述可伸缩单元配置为：在伸展时通过所述调节单元带动所述吸附单元向远离所述晶舟盒的方向移动；在收缩时通过所述调节单元带动所述吸附单元向靠近所述晶舟盒的方向移动；且所述吸附单元的吸附端与所述晶舟盒的盒门抵接。
[0011]可选的，所述限位单元内设有用于容纳所述调节单元的容纳腔；所述调节单元的第一端与所述可伸缩单元连接，所述调节单元的第二端和第三端分别与一所述吸附单元的连接端连接，且所述吸附单元的吸附端突出所述限位单元外表面。
[0012]可选的，所述调节单元包括：第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆；
[0013]其中，所述第一连接杆的第一端、所述第二连接杆的第一端和所述第三连接杆的第一端连接，所述连接处为第一支点；且所述第一连接杆的第一端和所述第一支点为转动连接，所述第二连接杆的第一端和所述第三连接杆的第一端与所述第一支点为固定连接；
[0014]所述第一连接杆的第二端与所述可伸缩单元的伸缩端转动连接，且所述转动连接处为第二支点；
[0015]所述第二连接杆的第二端和所述第三连接杆的第二端分别为与一所述吸附单元的连接端连接的所述调节单元的第二端和第三端；
[0016]所述第二支点通过所述可伸缩单元的伸缩沿所述可伸缩单元的伸缩方向往返移动，所述第一支点通过所述第二支点的往返移动沿所述第一方向往返移动；所述第一方向为所述限位单元到所述晶舟盒的方向。
[0017]可选的，所述第二连接杆的长度和所述第三连接杆的长度相同，且所述第二连接杆和所述第三连接杆间面向所述晶舟盒方向的夹角大于或等于90
°
。
[0018]可选的，所述晶圆置换机包括设有钥匙的上机台和放置所述晶舟盒的下机台，所述调节装置还包括两个第一固定单元、两个第二固定单元和四个可伸缩轨道；
[0019]其中，两个所述第一固定单元和两个所述第二固定单元设置在所述上机台靠近所述下机台的一面上；
[0020]两个所述第一固定单元设置在所述上机台的上方，两个所述第二固定单元对应设置在所述上机台的下方；且两个所述第一固定单元和两个所述第二固定单元分别对应所述下机台上所述晶舟盒的外侧；
[0021]每个所述限位单元的两端分别通过一所述可伸缩轨道与同一侧的一所述第一固定单元和一所述第二固定单元连接。
[0022]可选的，两个所述第一固定单元和两个所述第二固定单元围设形成的封闭区域覆盖所述晶舟盒。
[0023]可选的，所述限位单元面向所述晶舟盒的一面还包括两个限位杆，两个所述限位杆间的距离与所述晶舟盒的高度相适应，所述限位单元通过两个所述限位杆盖设在所述晶舟盒上。
[0024]可选的，同一所述限位单元上，两个所述吸附单元的吸附端位于两个所述限位杆之间；两个所述限位杆位于两个所述可伸缩轨道之间。
[0025]可选的，两个所述调节组件间的距离与所述晶舟盒的盒门宽度相适应；同一所述调节组件上的两个所述吸附单元间的距离与所述晶舟盒的盒门高度相适应。
[0026]为了达到上述目的，本技术还提供了一种晶圆置换机，包括上述任一项所述的调节装置。
[0027]与现有技术相比，本技术提供的调节装置和晶圆置换机具有如下有益效果：
[0028]本技术提供的调节装置，适用于晶圆置换机，所述晶圆置换机包括至少两个调节组件；每个调节组件包括至少两个吸附单元、一限位单元、一调节单元和一可伸缩单元；其中，所述吸附单元与所述调节单元连接；所有所述调节组件的所有所述吸附单元的吸附端位于同一平面上；所述限位单元与所述晶舟盒和所述调节单元均活动连接；所述调节单元与所述可伸缩单元连接；所述可伸缩单元配置为：在伸展时通过所述调节单元带动所述吸附单元向远离所述晶舟盒的方向移动；在收缩时通过所述调节单元带动所述吸附单元向靠近所述晶舟盒的方向移动；且所述吸附单元的吸附端与所述晶舟盒的盒门抵接。由此，本技术提供的调节装置，利用所述调节单元将所述吸附单元和所述可伸缩单元连接，通过控制所述可伸缩单元的伸展或收缩从而控制所述吸附单元的移动，因此，当将所述吸附单元的吸附端与所述晶舟盒的盒门抵接时，所述晶舟盒的盒门能够跟随所述吸附单元进行移动，从而达到调节所述晶舟盒的盒门，使盒门回到正常位置的目的。由此，避免了利用
上机台开启或关闭晶舟盒盒门时因盒门位置异常而导致设备机台运行效率降低的问题，从而能够提升机台利用率。同时所述调节装置简易便捷，且不易损坏，易操作的同时也不会有安全隐患。
[0029]由于本技术提供的晶圆置换机与本技术提供的调节装置属于同一技术构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此不再一一赘述。
附图说明
[0030]图1为本技术实施例一提供的调节装置的结构示意图；
[0031]图2为本技术实施例一提供的限位单元的内部剖面图；
[0032]其中，附图标记如下：
[0033]100
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限位单元，200
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调节单元，201
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第一连接杆，202
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第二连接杆，203
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第三连接杆，300
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吸附单元，400
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可伸缩单元，500
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晶舟盒，501
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盒门，600
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第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种调节装置，适用于晶圆置换机，其特征在于，所述调节装置包括：至少两个调节组件；每个调节组件包括至少两个吸附单元、一限位单元、一调节单元和一可伸缩单元；其中，所述吸附单元与所述调节单元连接；所有所述调节组件的所有所述吸附单元的吸附端位于同一平面上；所述限位单元与晶舟盒和所述调节单元均活动连接；所述调节单元与所述可伸缩单元连接；所述可伸缩单元配置为：在伸展时通过所述调节单元带动所述吸附单元向远离所述晶舟盒的方向移动；在收缩时通过所述调节单元带动所述吸附单元向靠近所述晶舟盒的方向移动；且所述吸附单元的吸附端与所述晶舟盒的盒门抵接。2.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述限位单元内设有用于容纳所述调节单元的容纳腔；所述调节单元的第一端与所述可伸缩单元连接，所述调节单元的第二端和第三端分别与一所述吸附单元的连接端连接，且所述吸附单元的吸附端突出所述限位单元外表面。3.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述调节单元包括：第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆；其中，所述第一连接杆的第一端、所述第二连接杆的第一端和所述第三连接杆的第一端连接，所述连接处为第一支点；且所述第一连接杆的第一端和所述第一支点为转动连接，所述第二连接杆的第一端和所述第三连接杆的第一端与所述第一支点为固定连接；所述第一连接杆的第二端与所述可伸缩单元的伸缩端转动连接，且所述转动连接处为第二支点；所述第二连接杆的第二端和所述第三连接杆的第二端分别为与一所述吸附单元的连接端连接的所述调节单元的第二端和第三端；所述第二支点通过所述可伸缩单元的伸缩沿所述可伸缩单元的伸缩方向往返移动，所述第一支点通过所述第二支点的往返移动沿第一方向往返移动；所述第一方向为所述限位单元到所述晶舟盒的方向。4.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵丽云，王博，秦刚，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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