一种晶硅磨抛装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶硅磨抛装置，包括：床身本体、工件夹持机构、进给机构和磨抛机构，所述床身本体的工作面相对于水平面倾斜设置，所述工件夹持机构通过所述进给机构设置在所述床身本体的倾斜工作面上，且所述工件夹持机构的夹持方向与所述床身本体的倾斜工作面相平行；所述磨抛机构设置在所述工件夹持机构的运动方向上，用以对待加工工件进行磨抛；通过将床身本体倾斜设置，其上表面与水平面倾斜一定角度，该设计能够避免床身表面积水，解决了由于积水问题导致的设备损坏问题，使得进给机构可下置，放置于斜床身上，这样能够提高整机工作时稳定性，进一步提高对工件加工的精度。进一步提高对工件加工的精度。进一步提高对工件加工的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶硅磨抛装置


[0001]本技术涉及磨抛装置
，特别地涉及一种具有斜床身的晶硅磨抛装置。

技术介绍

[0002]在高硬脆材料切割
，单晶硅片的加工过程通常需要经过截断、开方和切片等工艺过程，其中在对硅棒开方后需要进行磨面、抛光等操作，现有技术中磨抛装置的工件进给导轨不便于下置，因为下置会在平床身平台积水，含有硅粉、积水的溶液非常容易腐蚀导轨、滑块等运动部件，使设备使用寿命较低，易产生故障。
[0003]所以针对现有技术中的问题，亟需一种能够避免床身积水的并且可以使运动机构下至于床身底座上方的磨抛装置。

技术实现思路

[0004]针对上述技术问题，本技术技术方案提供了一种晶硅磨抛装置，用于光伏领域内单晶硅材料的加工。
[0005]本技术提供了一种晶硅磨抛装置，包括：床身本体、工件夹持机构、进给机构和磨抛机构，所述床身本体的工作面相对于水平面倾斜设置，所述工件夹持机构通过所述进给机构设置在所述床身本体的倾斜工作面上，且所述工件夹持机构的夹持方向与所述床身本体的倾斜工作面相平行；所述磨抛机构设置在所述工件夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶硅磨抛装置，其特征在于，包括：床身本体、工件夹持机构、进给机构和磨抛机构，所述床身本体的工作面相对于水平面倾斜设置，所述工件夹持机构通过所述进给机构设置在所述床身本体的倾斜工作面上，且所述工件夹持机构的夹持方向与所述床身本体的倾斜工作面相平行；所述磨抛机构设置在所述工件夹持机构的运动方向上，用以对待加工工件进行磨抛。2.根据权利要求1所述的晶硅磨抛装置，其特征在于，所述床身本体的工作面倾斜角度为15
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75度。3.根据权利要求2所述的晶硅磨抛装置，其特征在于，所述进给机构包括驱动电机及相互平行的进给丝杠和滑轨，所述进给丝杠与所述驱动电机相连接，所述工件夹持机构通过所述进给丝杠滑动设置在所述滑轨上。4.根据权利要求1
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3中任意一项所述的晶硅磨抛装置，其特征在于，所述磨抛机...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇健，张帅，金传杰，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：