一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置及方法，涉及到压电电机、机械以及超声换能器领域。本发明专利技术提供了一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，该装置包括研磨台、基座、带有压力传感器的机械臂、传动单元和控制单元等设备。研磨台上放置砂纸，使用超声波马达驱动转盘，带有压力传感器的机械臂固定住铌酸锂单晶片，压力传感器检测晶片与砂纸之间的压力，传动装置使用超声波马达驱动，使铌酸锂晶片和砂纸保持接触。本发明专利技术装备能够通过传感器检测接触压力，来判断减薄是否完成，通过超声波马达可以达到最低每次减薄几纳米的良好效果。达可以达到最低每次减薄几纳米的良好效果。达可以达到最低每次减薄几纳米的良好效果。

【技术实现步骤摘要】
一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置及方法


[0001]本专利技术涉及压电电机、机械以及超声换能器领域，主要是一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置及方法。

技术介绍

[0002]近些年来，随着工业无损检测、材料研究以及医疗诊断等行业的快速发展，对于高性能探头的需求也越来越大，同时要求的工作频率也越来越高。在制作加工探头的过程中，最重要的是如何加工出符合要求的压电单晶片，这成了制约高频探头发展的一个难点。现在一般使用的研磨机无法确保研磨晶片的平面度，以及在研磨到一定厚度之后，晶片会由于过薄而破碎。

技术实现思路

[0003]本专利技术是针对现有技术的不足，设计了一种可以用于制作超高频超声换能器的铌酸锂压电单晶的精细加工装置及方法，可以解决研磨平面度不够以及晶片破碎的问题。
[0004]本专利技术首先提供一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，该装置包括：研磨台、基座、机械手臂、传动单元和控制单元；
[0005]所述的研磨台主要是用来放置砂纸，并让砂纸旋转起来；
[0006]所述基座用来控制进水和出水，并用来安装其余部件；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，该装置包括：研磨台（20）、基座（10）、机械手臂（30）、传动单元（40）和控制单元（50）；所述的研磨台（20）主要是用来放置砂纸，并让砂纸旋转起来；所述基座（10）用来控制进水和出水，并用来安装其余部件；所述机械手臂（30）设置有压力传感器，用于夹持待磨的铌酸锂单晶和检测压力；所述传动单元（40）用于控制直线马达和超声波马达（21），可以调节垂直于基座的Z轴的任意位置；所述的控制单元（50）接受压力传感器的数据，并通过计算来控制传动单元（40）。2.根据权利要求1所述的一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，所述的基座（10）有进水口和出水口。3.根据权利要求1所述的一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，所述机械手臂（30）为单自由度机械手，且其夹持部分与研磨台始终保持垂直。4.根据权利要求1所述的一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，所述的传动单元（40）由直线电机马达和超声波马达（21）传动两部分组成。5.根据权利要求1所述的一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，所述的研磨台（20）能够自由更换不同目数的砂纸，配有砂纸固定套，配合抛光剂使用，并且由超声波马达（21）驱动。6.根据权利要求5所述的一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，所述的砂纸的目数分别为300、400、600、800、1000、1200和1500。7.根据权利要求5所述的一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，其特征在于，所述抛光剂...

【专利技术属性】
技术研发人员：高大，李冲，陈睿黾，施钧辉，唐昆，林秦豪，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：