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本发明公开了一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置及方法，涉及到压电电机、机械以及超声换能器领域。本发明提供了一种铌酸锂压电单晶的精细加工装置，该装置包括研磨台、基座、带有压力传感器的机械臂、传动单元和控制单元等设备。研磨台上放置砂纸，使用超声波...
该专利属于之江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过之江实验室授权不得商用。

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