下载一种晶硅磨抛装置的技术资料

文档序号:37408510

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本实用新型提供一种晶硅磨抛装置,包括:床身本体、工件夹持机构、进给机构和磨抛机构,所述床身本体的工作面相对于水平面倾斜设置,所述工件夹持机构通过所述进给机构设置在所述床身本体的倾斜工作面上,且所述工件夹持机构的夹持方向与所述床身本体的倾斜工...
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