一种ITO膜蚀刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蚀刻装置技术领域，特别涉及一种ITO膜蚀刻装置，包括固定支架，所述固定支架的顶部固定连接有蚀刻机箱，所述蚀刻机箱的右端面固定连接有防护机箱，所述防护机箱的顶部连通有吸气管，所述吸气管的一端贯穿蚀刻机箱连通有吸气罩，所述吸气管的一侧固定连接有吸气风机，所述防护机箱的内侧设有储气箱，所述储气箱的上方与右方均连通有连接管，且位于上方的所述连接管通过螺纹螺旋连接于吸气管的另一端，两个所述连接管的一侧均固定连接有控制阀门；本实用新型专利技术能够吸走蚀刻产生的烟气，并且随着烟气的收集，储气箱内部压强逐渐增大，还具备良好的警示功能，降低意外事故发生的几率的同时，也可及时警醒工作人员处理收集后的烟气。集后的烟气。集后的烟气。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO膜蚀刻装置


[0001]本技术涉及一种ITO膜蚀刻装置，属于蚀刻装置


技术介绍

[0002]ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性，它是液晶显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、电致发光显示器（EL/OLED）、触摸屏（TouchPanel）、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料，在对其进行加工时，需要用到蚀刻装置。
[0003]现有的技术存在以下问题：
[0004]大部分的蚀刻装置在使用时，虽然具有除烟气功能，但是仍存在明显的缺陷，尤其是专利号CN209608970U所描述的蚀刻装置，虽然对烟气进行收集防污染，但是不能对烟气收集箱内的压强进行实时监测的功能，在收集烟气并在箱内压强过大时，难以保证设备运行时的稳定与安全。

技术实现思路

[0005]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种ITO膜蚀刻装置。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种ITO膜蚀刻装置，包括固定支架，所述固定支架的顶部固定连接有蚀刻机箱，所述蚀刻机箱的右端面固定连接有防护机箱，所述防护机箱的顶部连通有吸气管，所述吸气管的一端贯穿蚀刻机箱连通有吸气罩，所述吸气管的一侧固定连接有吸气风机，所述防护机箱的内侧设有储气箱，所述储气箱的上方与右方均连通有连接管，且位于上方的所述连接管通过螺纹螺旋连接于吸气管的另一端，两个所述连接管的一侧均固定连接有控制阀门，所述吸气管的内侧固定连接有气体单向阀门，所述防护机箱的前端面铰接有密封箱门。
[0007]优选的，所述防护机箱的右端面连通有固定机箱，且位于右方的所述连接管通过通气管连通于固定机箱。
[0008]优选的，所述固定机箱的底端面内侧固定连接有强力拉绳，所述强力拉绳的另一端固定连接有配重浮球。
[0009]优选的，所述固定机箱的顶端面内侧固定连接有轻触开关，所述防护机箱的前端面固定连接有警报器。
[0010]优选的，所述固定机箱的前端面内侧固定连接有透明观察窗，所述透明观察窗的一侧固定连接有刻度表。
[0011]优选的，所述防护机箱的一侧固定连接有控制器，且所述吸气风机与警报器均电性连接于控制器。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]本技术通过设置的吸气风机、储气箱、配重浮球与警报器等，在使用时，进行蚀刻的过程中会产生烟气，由吸气风机、吸气管与吸气罩将烟气吸走，并排入储气箱内，降
低了烟气污染，也保障了工作人员的身心健康免受危害，且随着气体储存量的增加，储气箱内部压强变大，而固定机箱内部压强小，气体通入固定机箱时，会出现浮球上升现象，查看刻度表上的读数以了解浮球上升的高度，从而准确了解储气箱内的压强大小，在压强过大时需要及时进行处理收集的烟气，避免发生意外事故，另外，在浮球上升至一定位置后并顶住轻触开关，可由警报器发出警报，说明箱内压强达到危险程度，可警醒人们及时处理储气箱内的烟气，综上，本技术在使用时，能够吸走蚀刻产生的烟气，并且随着烟气的收集，储气箱内部压强逐渐增大，还具备良好的警示功能，降低意外事故发生的几率的同时，也可及时警醒工作人员处理收集后的烟气，值得推广与使用。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术中的防护机箱的内部结构示意图；
[0017]图3为本技术中的刻度表的安装结构示意图；
[0018]图中：1、固定支架；2、蚀刻机箱；3、防护机箱；4、吸气管；5、吸气罩；6、吸气风机；7、储气箱；8、连接管；9、控制阀门；10、气体单向阀门；11、密封箱门；12、固定机箱；13、强力拉绳；14、配重浮球；15、轻触开关；16、警报器；17、透明观察窗；18、刻度表。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0020]请参阅图1
‑
3，本技术提供以下技术方案：一种ITO膜蚀刻装置，包括固定支架1，固定支架1的顶部固定连接有蚀刻机箱2，蚀刻机箱2的右端面固定连接有防护机箱3，防护机箱3的顶部连通有吸气管4，吸气管4的一端贯穿蚀刻机箱2连通有吸气罩5，吸气管4的一侧固定连接有吸气风机6，防护机箱3的内侧设有储气箱7，储气箱7的上方与右方均连通有连接管8，且位于上方的连接管8通过螺纹螺旋连接于吸气管4的另一端，两个连接管8的一侧均固定连接有控制阀门9，吸气管4的内侧固定连接有气体单向阀门10，防护机箱3的前端面铰接有密封箱门11。
[0021]作为本技术的一种优选技术方案，防护机箱3的右端面连通有固定机箱12，且位于右方的连接管8通过通气管连通于固定机箱12，固定机箱12的底端面内侧固定连接有强力拉绳13，强力拉绳13的另一端固定连接有配重浮球14，固定机箱12的前端面内侧固定连接有透明观察窗17，透明观察窗17的一侧固定连接有刻度表18；在蚀刻时将产生的烟气吸走并由储气箱7储存时，随着气体储存量的增加，内部压强变大，固定机箱12内部压强小，气体通入固定机箱12时，会出现浮球上升现象，查看刻度表18上的读数以了解浮球上升的
高度，从而准确了解储气箱7内的压强大小，在压强过大时需要及时进行处理，避免发生意外事故。
[0022]作为本技术的一种优选技术方案，防护机箱3的一侧固定连接有控制器，且吸气风机6与警报器16均电性连接于控制器；方便控制设备进行工作。
实施例
[0023]请参阅图1
‑
3，本实施例与实施例1的区别在于：
[0024]固定机箱12的顶端面内侧固定连接有轻触开关15，防护机箱3的前端面固定连接有警报器16；在储气箱7内压强达到一定程度后，浮球顶住轻触开关15，可由警报器16发出警报，以便警醒人们及时处理储气箱7内的烟气。
[0025]本技术的工作原理及使用流程：在使用时，进行蚀刻的过程中会产生烟气，由吸气风机6、吸气管4与吸气罩5将烟气吸走，并排入储气箱7内，降低了烟气污染，也保障了工作人员的身心健康免受危害，且随着气体储存量的增加，储气箱7内部压强变大，而固定机箱12内部压强小，气体通入固定机箱12时，会出现浮球上升现象，查看刻度表18上的读数以了解浮球上升的高度，从而准确了解储气箱7内的压强大小，在压强过大时需要及时进行处理收集的烟气，避免发生意外事故，另外，在浮球上升至一定位置后并顶住轻触开关15，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ITO膜蚀刻装置，包括固定支架（1），其特征在于：所述固定支架（1）的顶部固定连接有蚀刻机箱（2），所述蚀刻机箱（2）的右端面固定连接有防护机箱（3），所述防护机箱（3）的顶部连通有吸气管（4），所述吸气管（4）的一端贯穿蚀刻机箱（2）连通有吸气罩（5），所述吸气管（4）的一侧固定连接有吸气风机（6），所述防护机箱（3）的内侧设有储气箱（7），所述储气箱（7）的上方与右方均连通有连接管（8），且位于上方的所述连接管（8）通过螺纹螺旋连接于吸气管（4）的另一端，两个所述连接管（8）的一侧均固定连接有控制阀门（9），所述吸气管（4）的内侧固定连接有气体单向阀门（10），所述防护机箱（3）的前端面铰接有密封箱门（11）。2.根据权利要求1所述的一种ITO膜蚀刻装置，其特征在于：所述防护机箱（3）的右端面连通有固定机箱（12），且位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯滔，周宇民，
申请(专利权)人：湖北博晶光显智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：