按压传感器制造技术

按压传感器(1)包括：基板(2)；和配置在基板(2)的主面(2a)上的压电元件(3)，其能够产生与对基板(2)施加的应力相应的电动势。压电元件(3)具有：压电素体(5)；配置在压电素体(5)的主面(5a)侧的、与基板(2)的主面(2a)接合的外部电极(6A)；和配置在压电素体(5)的主面(5b)侧的、位于与基板(2)的主面(2a)相反的一侧的外部电极(6B)。外部电极(6A)的面积与外部电极(6B)的面积彼此不同。(6B)的面积彼此不同。(6B)的面积彼此不同。

【技术实现步骤摘要】
按压传感器


[0001]本专利技术涉及按压传感器。

技术介绍

[0002]作为包括压电元件的压电器件，例如有日本特开平4
‑
070100号公报中公开的压电器件。该以往的压电器件包括：压电元件；与压电元件接合的振动部件；以及与压电元件电连接的配线部件。配线部件的一端经由连接器等与其它的电路部件等连接。配线部件的另一端与振动部件物理连接，并且与压电元件电连接。

技术实现思路

[0003]上述的日本特开平4
‑
070100号公报的压电器件，以从压电元件获得振动为目的。但是，压电器件的用途有多种多样，也有时应用于例如以基于通过手指等的接触等在基板产生的应力，从压电元件获得电动势为目的的按压传感器。在这样的按压传感器中，从充分保证检测的精度的观点出发，基于在基板产生的应力，从压电元件获得期望的电动势是非常重要的。
[0004]本专利技术是为了解决上述技术问题而做出的，其目的在于，提供能够基于在基板产生的应力，从压电元件获得期望的电动势的按压传感器。
[0005]本专利技术的一个方面提供一种按压传感器，其包括：基板；和配置在基板的主面上的压电元件，其能够产生与对基板施加的应力相应的电动势，压电元件具有：压电素体；配置在压电素体的第一面侧的、与基板的主面接合的第一外部电极；和配置在压电素体的第二面侧的、位于与基板的主面相反的一侧的第二外部电极，第一外部电极的面积与第二外部电极的面积彼此不同。
[0006]在该按压传感器中，配置在压电素体的第一面侧的第一外部电极的面积与配置在压电素体的第二面侧的第二外部电极的面积彼此不同。由此，在该按压传感器中，与使第一外部电极的面积与第二外部电极的面积相等的情况相比，在外部电极间产生的压电元件的静电电容的调整变得容易。通过调整第一外部电极的面积和第二外部电极的面积使得压电元件的静电电容不过量，能够从压电元件获得基于在基板产生的应力的期望的电动势。
[0007]也可以是，第一外部电极配置在压电素体的第一面的整个面上，第二外部电极的面积小于第一外部电极的面积。在该情况下，能够降低基板与第一外部电极之间的连接电阻，因此，能够抑制将由压电元件产生的电动势向外部输出时的损耗。
[0008]也可以是，在从基板的主面的法线方向看时，第二外部电极的边缘部位于比压电素体的第二面的边缘部靠内侧的位置。在该情况下，第二外部电极的边缘部与压电素体的第二面的边缘部相比移动至内侧，相应地能够抑制第二外部电极的边缘部与其它的配线部分等短路。
[0009]也可以是，在从基板的主面的法线方向看时，第二外部电极具有被引出至压电素体的第二面的边缘部的引出部。在压电素体的制造工序中，作为设置基板之前的工序，包含
对压电素体赋予规定的电压来赋予压电性的极化工序。在该工序中，由于在第二外部电极设置引出部，能够经由引出部将多个压电素体彼此电连接，能够提高极化工序的操作性。
[0010]也可以是，第二外部电极配置在压电素体的第二面的整个面上，第一外部电极的面积小于第二外部电极的面积。在该情况下，能够抑制第一外部电极与基板的接合面积，因此，能够缓和由第一外部电极的接合产生的对基板的约束力。因此，相对于被赋予的应力能够充分产生基板的变形，能够提高由压电元件产生的电动势。
[0011]也可以是，在从基板的主面的法线方向看时，第一外部电极的边缘部位于比压电素体的第一面的边缘部靠内侧的位置。在该情况下，第一外部电极的边缘部与压电素体的第一面的边缘部相比移动至内侧，相应地能够抑制第一外部电极的边缘部与其它的配线部分等短路。
[0012]也可以是，在从基板的主面的法线方向看时，第一外部电极具有被引出至压电素体的第一面的边缘部的引出部。在压电素体的制造工序中，作为设置基板之前的工序，包含对压电素体赋予规定的电压来赋予压电性的极化工序。在该工序中，由于在第二外部电极设置引出部，能够经由引出部将多个压电素体彼此电连接，能够提高极化工序的操作性。
[0013]也可以是，在设第一外部电极的面积和第二外部电极的面积中的较大的面积为100％时，较小的面积为40％～60％。通过第一外部电极的面积和第二外部电极的面积中的较小的面积为较大的面积的40％以上，能够确保对于与配线部件或基板的电连接而言充分的面积。通过第一外部电极的面积和第二外部电极的面积中的较小的面积为较大的面积的60％以下，能够抑制压电元件的静电电容过量，能够高效率地将基板的变形转换为压电元件的电动势。
[0014]也可以是，第一外部电极通过粘接材料固定在基板的主面上。在该情况下，通过利用粘接材料将第一外部电极牢固地固定在基板上，能够更可靠地降低基板与第一外部电极之间的连接电阻。因此，能够抑制将由压电元件产生的电动势向外部输出时的损耗。
附图说明
[0015]图1是表示本专利技术的一个实施方式的按压传感器的整体结构的立体图。
[0016]图2是将图1所示的按压传感器以除去配线部件的方式表示的侧视图。
[0017]图3是将图1所示的按压传感器以除去配线部件的方式表示的俯视图。
[0018]图4的(a)和(b)是表示第二外部电极的另一个例子的俯视图。
[0019]图5是将变形例的按压传感器以除去配线部件的方式表示的侧视图。
[0020]图6的(a)和(b)是表示第一外部电极的另一个例子的俯视图。
具体实施方式
[0021]下面，参照附图对本专利技术的一个方面的按压传感器的优选实施方式进行详细说明。
[0022]图1是表示本专利技术的一个实施方式的按压传感器的整体结构的立体图。如图1所示，按压传感器1包括：基板2；配置在基板2的主面2a侧的压电元件3；以及向基板2和压电元件3延伸的配线部件4。在按压传感器1中，基于例如通过手指等的接触等对基板2施加的应力(基板2的变形)，能够获得来自压电元件3的电动势。来自压电元件3的电动势能够经由配
线部件4输出到外部。
[0023]在下面的说明中，将配线部件4的延伸方向设为X方向，将基板2的主面2a的面内方向中与X方向正交的方向设为Y方向，将基板2的主面2a的法线方向设为Z方向。
[0024]基板2例如由具有导电性的金属材料形成为矩形形状。基板2具有彼此相对的一对主面2a、2b。主面2a为用于搭载压电元件3的面。主面2b为用于固定例如应用按压传感器1的触摸面板等的面。基板2的平面形状为例如正方形形状。作为基板2的构成材料，例如可举出Ni
‑
Fe合金、Ni、黄铜、不锈钢等。
[0025]压电元件3包括压电素体5与一对外部电极(第一外部电极)6A和外部电极(第二外部电极)6B。压电素体5呈Z方向扁平的长方体形状。长方体形状也包括对角部和棱线部进行了倒角的形状、将角部和棱线部弄圆的形状。压电素体5具有一对主面(第一面)5a和主面(第二面)5b。主面5a为压电素体5中的基板2侧的面。主面5b为压电素体5中的与基板2相反的一侧的面。主面5a、5b为彼此相同的形状。在此，主面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种按压传感器，其特征在于，包括：基板；和配置在所述基板的主面上的压电元件，其能够产生与对所述基板施加的应力相应的电动势，所述压电元件具有：压电素体；配置在所述压电素体的第一面侧的、与所述基板的所述主面接合的第一外部电极；和配置在所述压电素体的第二面侧的、位于与所述基板的所述主面相反的一侧的第二外部电极，所述第一外部电极的面积与所述第二外部电极的面积彼此不同。2.根据权利要求1所述的按压传感器，其特征在于：所述第一外部电极配置在所述压电素体的所述第一面的整个面上，所述第二外部电极的面积小于所述第一外部电极的面积。3.根据权利要求2所述的按压传感器，其特征在于：在从所述基板的所述主面的法线方向看时，所述第二外部电极的边缘部位于比所述压电素体的所述第二面的边缘部靠内侧的位置。4.根据权利要求3所述的按压传感器，其特征在于：在从所述基板的所述主面的法线方向看时，所述第二外部电极具有被引出至所述压...

【专利技术属性】
技术研发人员：田村淳，佐佐木拓哉，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：