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压电器件制造技术

技术编号:37343834 阅读:32 留言:0更新日期:2023-04-22 21:35
本发明专利技术提供一种压电器件。在压电器件(1)中,在将自基板(2)的主面(2a)起的到配线部件(4)与第一接合部件(24)的接合界面(PA)的高度设为T1,将自基板(2)的主面(2a)起的到配线部件(4)与第二接合部件(25)的接合界面(PB)的高度设为T2,将自基板(2)的主面(2a)起的到配线部件(4)与第三接合部件(26)的接合界面(PC)的高度设为T3的情况下,T2<T3<T1的关系成立。T2<T3<T1的关系成立。T2<T3<T1的关系成立。

【技术实现步骤摘要】
压电器件


[0001]本公开涉及压电器件。

技术介绍

[0002]作为具备压电元件的压电器件,例如有日本国特开平4

070100号公报所记载的压电器件。该现有的压电器件具备压电元件、与压电元件接合的振动部件、以及与压电元件电连接的配线部件。配线部件的一端经由连接器等与其他的电路部件等连接。配线部件的另一端与振动部件物理连接,并且与压电元件电连接。

技术实现思路

[0003]上述的日本国特开平4

070100号公报的压电器件以从压电元件获得振动为目的。但是,压电器件的用途是各式各样的。压电器件也有时应用于例如以基于通过手指等的按压等产生的应力来从压电元件获得电动势为目的的按压传感器中。在这种压电器件中,为了高精度地获得与按压对应的期望的电动势,抑制由配线部件引起的振动成分是重要的。
[0004]本公开是为了解决上述问题而研发的,其目的在于,提供一种能够高精度地获得来自压电元件的期望的电动势的压电器件。
[0005]本公开的一方面提供一种压电器件,其具备:基板;压电元件,其配置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电器件,其具备:基板;压电元件,其配置于所述基板的主面;配线部件,其向所述基板和所述压电元件延伸;第一接合部,其通过导电性的第一接合部件将所述压电元件与所述配线部件电接合;第二接合部,其通过导电性的第二接合部件将所述基板与所述配线部件电接合;和第三接合部,其通过非导电性的第三接合部件将所述基板与所述配线部件物理接合,在将自所述基板的所述主面起的到所述配线部件与所述第一接合部件的接合界面的高度设为T1,将自所述基板的所述主面起的到所述配线部件与所述第二接合部件的接合界面的高度设为T2,将自所述基板的所述主面起的到所述配线部件与所述第三接合部件的接合界面的高度设为T3的情况下,T2<T3<T1的关系成立。2.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述配线部件以自所述基板的所述主面起的高度从所述第一接合部向所述第三接合部逐渐变低的方式倾斜。3.根据权利要求1或2所述的压电器件,其中,所述配线部件以自所述基板的所述主面起的高度从所述第二接合部向所述第三接合部逐渐变高的方式倾斜。4.根据权利要求1~3中任一项所述的压电器件,其中,所述配...

【专利技术属性】
技术研发人员:田村淳佐佐木拓哉
申请(专利权)人:TDK株式会社
类型:发明
国别省市:

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