一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置，涉及电子技术领域。其中，压电器件包括衬底、设置在衬底上的底电极层、设置在底电极层上的压电功能层、设置在压电功能层上的顶电极层、绝缘层、设置在绝缘层上的走线层。其中，绝缘层覆盖顶电极层边缘部分、覆盖露出顶电极层的压电功能层和露出压电功能层的底电极层，绝缘层边缘具有小于60度的坡度角；走线层至少部分覆盖露出绝缘层的顶电极层，在走线层与绝缘层的交叠区域，走线层覆盖绝缘层边缘。本发明专利技术中，由于压电器件的绝缘层边缘具有较大的坡度，局部段差较大，因此，控制绝缘层边缘坡度角小于60度，可使走线层不易在绝缘层边缘处产生断裂，降低了压电器件整体失效的风险。效的风险。效的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置


[0001]本专利技术涉及电子
，特别是涉及一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置。

技术介绍

[0002]近年来，触觉再现技术在人机交互和虚拟现实领域得到越来越广泛的应用。触觉再现在盲人教育、远程医疗等领域有着十分广阔的应用前景，随着技术的逐步成熟，触觉再现将更多地融入大众生活。
[0003]压电器件可以作为触觉再现器件，通过压电功能层和玻璃衬底所产生的共振来调节表面摩擦力，从而在玻璃表面实现物体的纹理再现。
[0004]但是，在现有的压电器件中，走线层极易断裂，因此，极易导致压电器件失效。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置，以解决现有压电器件中的走线层极易断裂，极易导致压电器件失效的问题。
[0006]为了解决上述问题，本专利技术公开了一种压电器件，包括：
[0007]衬底；
[0008]底电极层，设置在所述衬底上；
[0009]压电功能层，设置在所述底电极层上；
[0010]顶电极层，设置在所述压电功能层上；
[0011]绝缘层，所述绝缘层覆盖所述顶电极层的边缘部分，以及覆盖露出所述顶电极层的所述压电功能层和露出所述压电功能层的所述底电极层，所述绝缘层的边缘具有坡度角，所述坡度角小于60度；
[0012]走线层，设置在所述绝缘层上，所述走线层至少部分覆盖从所述绝缘层之间露出的所述顶电极层，在所述走线层与所述绝缘层的交叠区域，所述走线层覆盖所述绝缘层的边缘。
[0013]可选地，所述坡度角大于30度。
[0014]可选地，在垂直于所述衬底的方向上，所述绝缘层的厚度大于所述压电功能层的厚度。
[0015]可选地，所述压电器件还包括：
[0016]信号端部，与所述底电极层同层设置在所述衬底上，所述绝缘层部分覆盖所述信号端部，所述走线层部分覆盖所述信号端部。
[0017]可选地，所述绝缘层的材料为负性光刻胶。
[0018]可选地，所述压电功能层包括多个分立的压电功能分块。
[0019]为了解决上述问题，本专利技术还公开了一种压电器件的制备方法，所述方法包括：
[0020]提供衬底；
[0021]在所述衬底上依次形成叠层的底电极基层、压电功能基层和顶电极基层；
[0022]依次对所述顶电极基层、所述压电功能基层和所述底电极基层进行图案化处理，得到形成在所述衬底上的底电极层、形成在所述底电极层上的压电功能层和形成在所述压电功能层上的顶电极层；
[0023]通过旋涂工艺形成绝缘基层；所述旋涂工艺的转速大于或等于350转每分钟，且小于或等于450转每分钟；
[0024]对所述绝缘基层进行图案化处理，得到绝缘层；所述绝缘层覆盖所述顶电极层的边缘部分，以及覆盖露出所述顶电极层的所述压电功能层和露出所述压电功能层的所述底电极层，所述绝缘层的边缘具有坡度角，所述坡度角小于60度；
[0025]在所述绝缘层上形成走线层；所述走线层至少部分覆盖从所述绝缘层之间露出的所述顶电极层，在所述走线层与所述绝缘层的交叠区域，所述走线层覆盖所述绝缘层的边缘。
[0026]可选地，所述坡度角大于30度。
[0027]可选地，所述绝缘层的材料为负性光刻胶。
[0028]可选地，所述对所述绝缘基层进行图案化处理，得到绝缘层，包括：
[0029]通过掩膜版对所述绝缘基层进行曝光；
[0030]对曝光后的所述绝缘基层进行显影，得到绝缘层。
[0031]可选地，所述通过旋涂工艺形成绝缘基层之前，还包括：
[0032]在所述衬底上形成信号端部；所述信号端部与所述底电极层同层设置在所述衬底上，所述绝缘层部分覆盖所述信号端部，所述走线层部分覆盖所述信号端部。
[0033]为了解决上述问题，本专利技术还公开了一种面板，包括上述压电器件。
[0034]为了解决上述问题，本专利技术还公开了一种触觉再现装置，包括上述面板。
[0035]与现有技术相比，本专利技术包括以下优点：
[0036]在本专利技术实施例中，压电器件包括衬底、设置在衬底上的底电极层、设置在底电极层上的压电功能层、设置在压电功能层上的顶电极层、绝缘层、设置在绝缘层上的走线层。其中，绝缘层覆盖顶电极层的边缘部分，以及覆盖露出顶电极层的压电功能层和露出压电功能层的底电极层，绝缘层的边缘具有坡度角，坡度角小于60度；走线层至少部分覆盖从绝缘层之间露出的顶电极层，在走线层与绝缘层的交叠区域，走线层覆盖绝缘层的边缘。在本专利技术实施例中，由于压电器件的绝缘层边缘具有较大的坡度，局部段差较大，因此，控制绝缘层边缘的坡度角小于60度，可使走线层不易在绝缘层的边缘处产生断裂，降低了压电器件整体失效的风险。
附图说明
[0037]图1示出了本专利技术实施例一的一种压电器件的截面示意图；
[0038]图2示出了本专利技术实施例一的一种压电器件部分结构的俯视示意图；
[0039]图3示出了本专利技术实施例一的另一种压电器件部分结构的俯视示意图；
[0040]图4示出了本专利技术实施例一的又一种压电器件部分结构的俯视示意图；
[0041]图5示出了本专利技术实施例一的一种压电功能层的俯视示意图；
[0042]图6示出了本专利技术实施例一的一种绝缘层的边缘的截面示意图；
[0043]图7示出了本专利技术实施例二的一种压电器件的制备方法的步骤流程图。
具体实施方式
[0044]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0045]实施例一
[0046]图1示出了本专利技术实施例一的一种压电器件的截面示意图，图2示出了本专利技术实施例一的一种压电器件部分结构的俯视示意图，图3示出了本专利技术实施例一的另一种压电器件部分结构的俯视示意图，图4示出了本专利技术实施例一的又一种压电器件部分结构的俯视示意图。参照图1和图2，压电器件100包括：
[0047]衬底10；
[0048]底电极层20，设置在衬底10上；
[0049]压电功能层30，设置在底电极层20上；
[0050]顶电极层40，设置在压电功能层30上；
[0051]绝缘层50，参照图3，绝缘层50覆盖顶电极层40的边缘部分，以及覆盖露出顶电极层40的压电功能层30和露出压电功能层30的底电极层20，绝缘层50的边缘具有坡度角，坡度角小于60度；
[0052]走线层60，设置在绝缘层50上，参照图4，走线层60至少部分覆盖从绝缘层50之间露出的顶电极层40，在走线层60与绝缘层50的交叠区域A，走线层60覆盖绝缘层50的边缘。
[0053]其中，可选地，衬底10可以采用玻璃材料。
[0054]可选地，压电功能层30的材料可以采用PZT(锆钛酸铅压电陶瓷)、LiNbO3(铌酸锂)、AlN(氮化铝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电器件，其特征在于，包括：衬底；底电极层，设置在所述衬底上；压电功能层，设置在所述底电极层上；顶电极层，设置在所述压电功能层上；绝缘层，所述绝缘层覆盖所述顶电极层的边缘部分，以及覆盖露出所述顶电极层的所述压电功能层和露出所述压电功能层的所述底电极层，所述绝缘层的边缘具有坡度角，所述坡度角小于60度；走线层，设置在所述绝缘层上，所述走线层至少部分覆盖从所述绝缘层之间露出的所述顶电极层，在所述走线层与所述绝缘层的交叠区域，所述走线层覆盖所述绝缘层的边缘。2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述坡度角大于30度。3.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，在垂直于所述衬底的方向上，所述绝缘层的厚度大于所述压电功能层的厚度。4.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述压电器件还包括：信号端部，与所述底电极层同层设置在所述衬底上，所述绝缘层部分覆盖所述信号端部，所述走线层部分覆盖所述信号端部。5.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述绝缘层的材料为负性光刻胶。6.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述压电功能层包括多个分立的压电功能分块。7.一种压电器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供衬底；在所述衬底上依次形成叠层的底电极基层、压电功能基层和顶电极基层；依次对所述顶电极基层、所述压电功能基层和所述底电极基层进行图案化处理，得到形成在所述衬底上的底电极层、形成在所述底电...

【专利技术属性】
技术研发人员：花慧，陈右儒，刘晓彤，陶永春，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：