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本发明提供了一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置,涉及电子技术领域。其中,压电器件包括衬底、设置在衬底上的底电极层、设置在底电极层上的压电功能层、设置在压电功能层上的顶电极层、绝缘层、设置在绝缘层上的走线层。其中,绝缘层覆盖顶电极层...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种压电器件及其制备方法、面板、触觉再现装置,涉及电子技术领域。其中,压电器件包括衬底、设置在衬底上的底电极层、设置在底电极层上的压电功能层、设置在压电功能层上的顶电极层、绝缘层、设置在绝缘层上的走线层。其中,绝缘层覆盖顶电极层...