一种集成光电子器件制造的蚀刻机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，包括机体，所述机体的顶部固定安装有防护壳，所述防护壳的正面嵌设有活动门，所述机体的顶部固定安装有调节仓，所述调节仓的顶部铰接有蚀刻台面，所述调节仓的内部设置有调节机构，所述调节机构包括调节螺杆、从动蜗轮、调节管筒和限制块，所述调节仓的内底壁转动安装有数量为两个且一端贯穿并延伸到调节仓上方的调节螺杆。该集成光电子器件制造的蚀刻机构，通过蚀刻台面、驱动机构和调节机构的设置，使紧固机构和夹持机构固定在蚀刻台面上的集成光电子器件进行喷淋蚀刻，使蚀刻产生的碎屑被及时进行清理，避免其遮挡蚀刻部位，使蚀刻更加均匀，蚀刻效果更佳。蚀刻效果更佳。蚀刻效果更佳。

【技术实现步骤摘要】
一种集成光电子器件制造的蚀刻机构


[0001]本技术涉及蚀刻加工
，具体为一种集成光电子器件制造的蚀刻机构。

技术介绍

[0002]蚀刻，通常所指蚀刻也称光化学蚀刻，指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果；在集成光电子器件制造的过程中需要使用蚀刻机对其表面进行处理，从而能够从而形成人们想要的图案。
[0003]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，在现有蚀刻机中，蚀刻台面通常为平整台面，在蚀刻液体对集成光电子器件表面进行喷淋蚀刻过程不利于蚀刻产生的废料脱落，从而造成集成光电子器件表面容易被废料遮挡，不能够均匀进行喷淋蚀刻，且废料不易进行清理，故而需要进一步改进。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，具备均匀蚀刻等优点，解决了现有蚀刻机内部台面过于平整，使蚀刻过程中产生废料不便清理，造成蚀刻不均匀现象的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，包括机体，所述机体的顶部固定安装有防护壳，所述防护壳的正面嵌设有活动门，所述机体的顶部固定安装有调节仓，所述调节仓的顶部铰接有蚀刻台面，所述调节仓的内部设置有调节机构，所述调节仓的内部设置有驱动机构；
[0006]所述调节机构包括调节螺杆、从动蜗轮、调节管筒和限制块，所述调节仓的内底壁转动安装有数量为两个且一端贯穿并延伸到调节仓上方的调节螺杆，所述调节螺杆的外部固定安装有从动蜗轮，所述从动蜗轮外部螺纹安装有一端贯穿并延伸到调节仓上方的调节管筒，所述调节管筒相背的一侧均固定安装有限制块，所述调节仓的内壁底部且位于调节螺杆整体的左右两侧均固定安装有稳固杆，所述限制块滑动套接在稳固杆的外部。
[0007]通过上述方案，在使用中，通过驱动机构使两个从动蜗轮进行转动，从而使得两个调节螺杆进行转动，由于两个调节管筒被限制块限制，只能在稳固杆的外部进行转动，故而使调节管筒只能在调节螺杆的带动下进行向上或向下位移。
[0008]其中，左侧调节螺杆与右侧调节螺杆的螺纹方向相反。
[0009]进一步，所述驱动机构包括无刷电机和主动蜗杆，所述调节仓的内壁左侧固定安装有无刷电机，所述无刷电机的输出端固定安装有一端与从动蜗轮相啮合的主动蜗杆。
[0010]通过上述方案，在使用中，无刷电机经主动蜗杆带动从动蜗轮进行转动，从而使调节机构得以进行运作。
[0011]进一步，所述蚀刻台面的顶部设置有紧固机构，所述紧固机构的内部设置有夹持
机构，所述蚀刻台面的顶部开设有固定槽。
[0012]通过上述方案，其中，固定槽的设置，使蚀刻台面上紧固机构便于进行位置调节，从而使不同型号集成光电子器件得以进行固定。
[0013]进一步，所述紧固机构包括L型定位座、稳定槽、定位板和紧固螺栓，所述蚀刻台面的顶部四角可拆卸安装有定位板，所述定位板的顶部螺纹安装有一端贯穿并延伸到固定槽内部的紧固螺栓，所述定位板的一侧固定安装有L型定位座，所述L型定位座的内壁开设有稳定槽。
[0014]通过上述方案，在使用中，将定位板放置在蚀刻台面的上方，然后使用紧固螺栓固定到固定槽的内部，从而使得定位板位置可以进行调节。
[0015]进一步，所述夹持机构包括活动滑块、夹持板、固定螺杆和复位弹簧，所述稳定槽的内部滑动安装有活动滑块，所述活动滑块的远离稳定槽的一侧均固定安装有夹持板，所述夹持板的顶部活动安装有一端贯穿夹持板和L型定位座并延伸到固定槽内部的固定螺杆，所述L型定位座的内底壁固定安装有位于固定螺杆外部的复位弹簧，所述复位弹簧的顶部与夹持板固定连接。
[0016]通过上述方案，在使用中，转动固定螺杆，使夹持板被夹持板带动向下进行位移，也就使得复位弹簧被有效压缩，使集成光电子器件固定更加牢固。
[0017]其中，活动滑块的设置，使其能够带动夹持板在稳定槽内部进行运作，从而使得夹持板更加稳定。
[0018]进一步，所述固定螺杆的顶部固定安装拧头，拧头与夹持板的顶部相接触。
[0019]通过上述方案，其中，拧头的设置，使夹持板得以被抵住，从而实现有效固定。
[0020]进一步，所述调节螺杆通过轴承与调节仓内底壁转动连接，所述机体的顶部固定安装有位于蚀刻台面外部的收集仓。
[0021]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0022]该集成光电子器件制造的蚀刻机构，通过蚀刻台面、驱动机构和调节机构的设置，使紧固机构和夹持机构固定在蚀刻台面上的集成光电子器件进行喷淋蚀刻，使蚀刻产生的碎屑被及时进行清理，避免其遮挡蚀刻部位，使蚀刻更加均匀，蚀刻效果更佳。
附图说明
[0023]图1为本技术结构示意图；
[0024]图2为本技术图1中A处放大图；
[0025]图3为本技术图1中B处放大图。
[0026]图中：1机体、2防护壳、3活动门、4调节仓、5蚀刻台面、6固定槽、7无刷电机、8主动蜗杆、9调节螺杆、10从动蜗轮、11调节管筒、12限制块、13L型定位座、14稳定槽、15活动滑块、16夹持板、17固定螺杆、18复位弹簧、19定位板、20紧固螺栓、21稳固杆。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
‑
3，本实施例中的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，包括机体1，机体1的顶部固定安装有防护壳2，防护壳2的正面嵌设有活动门3，机体1的顶部固定安装有调节仓4，调节仓4的顶部铰接有蚀刻台面5，机体1的顶部固定安装有位于蚀刻台面5外部的收集仓，调节仓4的内部设置有调节机构，调节仓4的内部设置有驱动机构。
[0029]本实施例中，蚀刻台面5的顶部设置有紧固机构，紧固机构的内部设置有夹持机构，蚀刻台面5的顶部开设有固定槽6。
[0030]其中，固定槽6的设置，使蚀刻台面5上紧固机构便于进行位置调节，从而使不同型号集成光电子器件得以进行固定，收集仓为框形收集仓，且收集仓的底部固定且连通有一端贯穿并延到到防护壳2左侧的排放管。
[0031]本实施例中，调节机构包括调节螺杆9、从动蜗轮10、调节管筒11和限制块12，调节仓4的内底壁转动安装有数量为两个且一端贯穿并延伸到调节仓4上方的调节螺杆9，调节螺杆9通过轴承与调节仓4内底壁转动连接，调节螺杆9的外部固定安装有从动蜗轮10，从动蜗轮10外部螺纹安装有一端贯穿并延伸到调节仓4上方的调节管筒11，调节管筒11相背的一侧均固定安装有限制块1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的顶部固定安装有防护壳(2)，所述防护壳(2)的正面嵌设有活动门(3)，所述机体(1)的顶部固定安装有调节仓(4)，所述调节仓(4)的顶部铰接有蚀刻台面(5)，所述调节仓(4)的内部设置有调节机构，所述调节仓(4)的内部设置有驱动机构；所述调节机构包括调节螺杆(9)、从动蜗轮(10)、调节管筒(11)和限制块(12)，所述调节仓(4)的内底壁转动安装有数量为两个且一端贯穿并延伸到调节仓(4)上方的调节螺杆(9)，所述调节螺杆(9)的外部固定安装有从动蜗轮(10)，所述从动蜗轮(10)外部螺纹安装有一端贯穿并延伸到调节仓(4)上方的调节管筒(11)，所述调节管筒(11)相背的一侧均固定安装有限制块(12)，所述调节仓(4)的内壁底部且位于调节螺杆(9)整体的左右两侧均固定安装有稳固杆(21)，所述限制块(12)滑动套接在稳固杆(21)的外部。2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述驱动机构包括无刷电机(7)和主动蜗杆(8)，所述调节仓(4)的内壁左侧固定安装有无刷电机(7)，所述无刷电机(7)的输出端固定安装有一端与从动蜗轮(10)相啮合的主动蜗杆(8)。3.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述蚀刻台面(5)的顶部设置有紧固机构，所述紧固机构的内部设置有夹持机构，所述蚀刻台面(5)的顶部开设有固定槽(6)。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李崇辉，
申请(专利权)人：李崇辉，
类型：新型
国别省市：