半导体治具制造技术

本实用新型专利技术公开一种半导体治具，其位于限位轨道一侧且在相近于推进机构的一端设置有一限位罩，此限位罩与台座转动连接，推进机构用于推动半导体片沿限位轨道移动，安装在台座顶部的支撑板供推进电机固定安装，此推进电机用于驱动推进杆移动，此推进杆在靠近限位罩的一端设置有推板，另一端设置有限位块，推进杆的一侧开设有一卡槽，该卡槽的内壁上固定安装有一卡块，位于支撑板相背于推板的一侧且在卡槽的内部设置有一止挡块。本实用新型专利技术半导体治具既提高了半导体移动的精准性，避免半导体片移动距离不准确导致加工位置出现错位的情况，又提高了半导体移动的稳定性，从而大大改善了半导体片的位置精度。半导体片的位置精度。半导体片的位置精度。

【技术实现步骤摘要】
半导体治具


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种半导体治具。

技术介绍

[0002]随着工业制造的快速发展，半导体材料方面的技术也在不断推进，在越来越多的地方使用半导体材料，半导体零件加工的治具能够对半导体零件快速高效进行生产，在制造过程中需要能够对原来的治具进行改进，以达到更好的治成效果，提升生产的便捷度及生产效率，满足人们快捷生产的要求。
[0003]现在传统的半导体零件加工治具，在进行加工时，需要将半导体零件放置在加工轨道上，但是，该半导体零件在移动过程中的位置容易发生偏移，影响加工效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种半导体治具，该半导体治具既提高了半导体移动的精准性，避免半导体片移动距离不准确导致加工位置出现错位的情况，又提高了半导体移动的稳定性，从而大大改善了半导体片的位置精度。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种半导体治具，包括：台座，所述台座的顶部具有供半导体片放置的限位轨道，且在该台座的一端安装有一推进机构，位于限位轨道一侧且在相近于推进机构的一端设置有一限位罩，此限位罩与台座转动连接，所述推进机构用于推动半导体片沿限位轨道移动；
[0006]所述推进机构进一步包括推进电机、推进杆以及支撑板，所述安装在台座顶部的支撑板供推进电机固定安装，此推进电机用于驱动推进杆移动，此推进杆在靠近限位罩的一端设置有推板，另一端设置有限位块，所述推进杆的一侧开设有一卡槽，该卡槽的内壁上固定安装有一卡块，位于所述支撑板相背于推板的一侧且在卡槽的内部设置有一止挡块。
[0007]上述技术方案中进一步改进的方案如下：
[0008]1. 上述方案中，所述限位轨道进一步包括左折弯部、右折弯部以及位于左折弯部、右折弯部之间的凹陷部，所述凹陷部供半导体片的本体滑动连接。
[0009]2. 上述方案中，所述限位罩进一步包括与台座转动连接的连接板、格栅条以及限位杆，所述格栅条的一端与连接板固定连接，另一端与限位杆固定连接，且格栅条沿限位轨道的长度方向间隔设置。
[0010]3. 上述方案中，所述推进杆设置有两根。
[0011]4. 上述方案中，所述台座的下表面设置有若干支撑腿。
[0012]由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0013]本技术半导体治具，其安装在台座顶部的支撑板供推进电机固定安装，此推进电机用于驱动推进杆移动，此推进杆在靠近限位罩的一端设置有推板，另一端设置有限位块，推进杆的一侧开设有一卡槽，该卡槽的内壁上固定安装有一卡块，位于支撑板相背于推板的一侧且在卡槽的内部设置有一止挡块，通过卡块、止挡块的配合，可以实现推进杆在
移动到一定位置之后就保持停止，从而提高了半导体移动的精准性，避免半导体片移动距离不准确导致加工位置出现错位的情况；进一步的，其位于限位轨道一侧且在相近于推进机构的一端设置有一与台座转动连接的限位罩，使得半导体片在限位轨道的上表面移动的同时，不会脱离限位轨道所在的平面，提高了半导体移动的稳定性，从而大大改善了半导体片的位置精度。
附图说明
[0014]附图1为本技术限位罩处于打开状态的结构示意图；
[0015]附图2为本技术限位罩处于关闭状态的结构示意图；
[0016]附图3为本技术附图2的A处放大图；
[0017]附图4为本技术推进机构的结构示意图；
[0018]附图5为本技术推进机构的剖面立体图；
[0019]附图6为本技术的局部结构示意图。
[0020]以上附图中：1、台座；2、限位轨道；201、左折弯部；202、右折弯部；203、凹陷部；3、推进机构；4、限位罩；401、连接板；402、格栅条；403、限位杆；5、推进电机；6、推进杆；7、支撑板；8、推板；9、限位块；10、卡槽；11、卡块；12、止挡块；13、支撑腿；100、半导体片。
具体实施方式
[0021]通过下面给出的具体实施例可以进一步清楚地了解本专利，但它们不是对本专利的限定。
[0022]实施例1：一种半导体治具，包括：台座1，所述台座1的顶部具有供半导体片100放置的限位轨道2，且在该台座1的一端安装有一推进机构3，位于限位轨道2一侧且在相近于推进机构3的一端设置有一限位罩4，此限位罩4与台座1转动连接，所述推进机构3用于推动半导体片100沿限位轨道2移动；
[0023]操作人员把还待加工的半导体片放置在限位轨道的上表面，放置好半导体片之后，转动限位罩，使限位罩盖合在半导体片上方；
[0024]所述推进机构3进一步包括推进电机5、推进杆6以及支撑板7，所述安装在台座1顶部的支撑板7供推进电机5固定安装，此推进电机5用于驱动推进杆6移动，此推进杆6在靠近限位罩4的一端设置有推板8，另一端设置有限位块9，所述推进杆6的一侧开设有一卡槽10，该卡槽10的内壁上固定安装有一卡块11，位于所述支撑板7相背于推板8的一侧且在卡槽10的内部设置有一止挡块12。
[0025]操作人员把推进电机接入电源并打开推进电机的开关，推进电机开始工作，带动着推进杆产生移动，从而使推进板对半导体片进行推动，使半导体片进入冲压装置的下方，通过设置卡块、止挡块，使在推进杆在移动到一定位置之后就保持停止，大大提高了半导体移动的精准性，还通过设置的限位罩，可以使半导体片在限位轨道的上表面移动，不会脱离限位轨道所在的平面，进一步提高了半导体移动的稳定性，从而大大改善了半导体片的位置精度。
[0026]上述限位轨道2进一步包括左折弯部201、右折弯部202以及位于左折弯部201、右折弯部202之间的凹陷部203，所述凹陷部203供半导体片100的本体滑动连接。
[0027]上述限位罩4进一步包括与台座1转动连接的连接板401、格栅条402以及限位杆403，所述格栅条402的一端与连接板401固定连接，另一端与限位杆403固定连接，且格栅条402沿限位轨道2的长度方向间隔设置。
[0028]上述推进杆6设置有两根。
[0029]实施例2：一种半导体治具，包括：台座1，所述台座1的顶部具有供半导体片100放置的限位轨道2，且在该台座1的一端安装有一推进机构3，位于限位轨道2一侧且在相近于推进机构3的一端设置有一限位罩4；
[0030]使得半导体片在限位轨道的上表面移动的同时，不会脱离限位轨道所在的平面，提高了半导体移动的稳定性，从而大大改善了半导体片的位置精度。此限位罩4与台座1转动连接，所述推进机构3用于推动半导体片100沿限位轨道2移动。
[0031]所述推进机构3进一步包括推进电机5、推进杆6以及支撑板7，所述安装在台座1顶部的支撑板7供推进电机5固定安装，此推进电机5用于驱动推进杆6移动，此推进杆6在靠近限位罩4的一端设置有推板8，另一端设置有限位块9，所述推进杆6的一侧开设有一卡槽10，该卡槽10的内壁上固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体治具，包括：台座（1），其特征在于：所述台座（1）的顶部具有供半导体片（100）放置的限位轨道（2），且在该台座（1）的一端安装有一推进机构（3），位于限位轨道（2）一侧且在相近于推进机构（3）的一端设置有一限位罩（4），此限位罩（4）与台座（1）转动连接，所述推进机构（3）用于推动半导体片（100）沿限位轨道（2）移动；所述推进机构（3）进一步包括推进电机（5）、推进杆（6）以及支撑板（7），所述安装在台座（1）顶部的支撑板（7）供推进电机（5）固定安装，此推进电机（5）用于驱动推进杆（6）移动，此推进杆（6）在靠近限位罩（4）的一端设置有推板（8），另一端设置有限位块（9），所述推进杆（6）的一侧开设有一卡槽（10），该卡槽（10）的内壁上固定安装有一卡块（11），位于所述支撑板（7）相背于推板（8）的一侧且在卡槽（10）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田伟，廖兵，
申请(专利权)人：苏州达晶半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：