【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及改进聚酰亚胺膜对底层金属表面(如带有金属镀敷图案的底板，例如铜版)的粘合力的方法。已知聚酰亚胺前体(如聚酰胺酸)热固化形成的聚酰亚胺可在半导体器件中用作钝化电介质。例如参见1986年5月26日授予Linde等人的美国专利第4，590，258号。然而，由于聚酰亚胺对金属表面的粘合力很差，带来了界面处水分渗透增加和氧化作用增加的问题。由此导致丧失钝化功能。改进各种聚合物基底材料的粘合力的许多方法在本
中是已知的。例如1978年7月25日授予Lesaicherre等人的美国专利第4，103，045号，描述了将选定的氨基硅烷或环多硅氧氮烷(cyclopolysiloxazane)的溶液涂在无机氧化物层上使光刻胶聚合物与无机氧化物层粘合。类似地，1985年7月16日授予Ponjee等人的美国专利第4，529，618号中报导，在涂光刻胶聚合物之前，先用3-氨丙基三烷氧硅烷的水溶液处理无机材料。制备硅倍半环氧乙烷(Silsesquioxane)聚合物以用作半导体器件中的绝缘层也是已知的。例如，在1987年6月24日公开的欧洲专利申请(公开号为第0，22...
【技术保护点】
改进聚酰亚胺涂层与金属表面粘合的方法，其特征在于由下列步骤组成：（ａ）将有机溶液涂到所述的金属表面上，该溶液是由氨烷氧基硅烷单体、芳烷氧基硅烷或芳基硅氮烷单体和水在溶剂中反应制得的；（ｂ）在使所述表面上能形成部分固化膜的条件下加热所 述表面；（ｃ）将含有聚酰亚胺前体物质的溶液涂到所述部分固化膜上；和（ｄ）在能同时形成固化硅倍半环氧乙烷共聚物膜和聚酰亚胺膜的条件下加热所述表面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：哈罗德乔治林德，罗斯玛利安普里威蒂凯利，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。