一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置制造方法及图纸

技术编号:37327541 阅读:12 留言:0更新日期:2023-04-21 23:06
本实用新型专利技术公开了一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置,包括进水管,所述进水管前端贯穿并固定连接有高压水泵,所述高压水泵输出端贯穿并固定连接有总配水管,所述总配水管前端贯穿并固定连接有上下配水支管,所述上下配水支管顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管,所述左右配水支管与上下配水支管前端贯穿并固定连接有主体,所述主体顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽,所述主体前端底部设置有管道仓,所述主体顶部后端中间位置固定连接有固定板。本实用新型专利技术中,提高了清洗效率,增强了清洗效果,同时简化了操作流程,降低操作难度,提高工作效率,且装置结构较为简单,便于检修维护。便于检修维护。便于检修维护。

【技术实现步骤摘要】
一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置


[0001]本技术涉及芯片清洗
,尤其涉及一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置。

技术介绍

[0002]随着大规模集成电路的发展、集成电路的集成度不断提高、线宽不断减小,集成电路对硅芯片表面的洁净度、表面化学态、氧化膜厚度的要求也越来越高。半导体器件生产中的硅芯片必须经严格清洗,否则即使微量污染也会导致器件失效,在对硅芯片进行清洗时需要用到芯片清洗自动喷淋装置对硅芯片进行清洗。
[0003]目前现有的芯片清洗喷淋装置,通过设置有手持容器,达到了可拆卸的效果;但是在使用过程中,由于没有防护措施容易对芯片表面造成损伤,由于喷头单一且固定芯片的容器不可调节转动,使芯片的清洗效果较差,同时结构较为复杂,操作难度较高,且不易维护。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置,包括进水管,所述进水管前端贯穿并固定连接有高压水泵,所述高压水泵输出端贯穿并固定连接有总配水管,所述总配水管前端贯穿并固定连接有上下配水支管,所述上下配水支管顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管,所述左右配水支管与上下配水支管前端贯穿并固定连接有主体,所述主体顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽,所述主体前端底部设置有管道仓,所述主体顶部后端中间位置固定连接有固定板,所述固定板前端左侧中间位置固定连接有控制面板,所述固定板前端中间位置固定连接有控制开关,所述主体底部前端转动连接有仓门,所述左右配水支管前端贯穿并固定连接有左右喷管,所述上下配水支管前端贯穿并固定连接有四个上下喷管,所述清洗槽底部均贯穿并固定连接有下水管,所述主体顶部前端位置有四个均匀排列的固定槽,所述固定槽内部均滑动连接有两个固定滑块,所述固定滑块相对的一侧均转动连接有第一转轴,所述第一转轴后端中间位置均固定连接有第二转轴,所述第二转轴底部后端均转动连接有第三转轴,所述第三转轴后端底部位置转动连接有电动推杆,所述电动推杆输出端固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有连接杆,所述连接杆后端上下两侧均转动连接有固定框。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述:
[0007]所述仓门前端底部固定连接有把手。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述:
[0009]所述左右喷管与上下喷管输出端均固定连接有喷头。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述:
[0011]所述下水管后端中间位置贯穿并固定连接有出水管。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述:
[0013]所述左右喷管固定连接在主体的内部且左右喷管的输出端伸入清洗槽内。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述:
[0015]所述上下喷管贯穿清洗槽的底部并与清洗槽固定连接。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述:
[0017]所述固定框相对的一侧均设置有橡胶垫。
[0018]本技术具有如下有益效果:
[0019]本技术中,在使用装置对芯片进行清洗时,首先将需要清洗的芯片固定在手持容器的固定框上,将芯片放置在两个固定框中间,闭合固定框,将芯片固定,通过手持容器的固定滑块将手持容器安装在主体的固定槽内,通过手持容器上的第一转轴、第二转轴与第三转轴使固定框可以上下左右转动,从而使固定框固定的芯片上下左右转动,通过电动推杆的伸缩带动固定框前后移动,对固定框上的芯片进行调整,通过电机带动连接杆转动使固定框上的芯片转动,从而使芯片可以得到全方位无死角的清洗,通过控制开关控制喷头喷水,同时通过控制面板控制高压水泵调整清洗时的水压,通过左右喷管与左右配水支管从横向上对芯片进行清洗,通过上下配水支管与上下喷管从竖向上对芯片进行清洗,装置在主体设置有管道仓,通过把手打开仓门,方便对管道仓内的管道进行检修与维护,装置设置有四个清洗槽,可以同时对芯片进行清洗,提高了清洗效率,增强了清洗效果,同时简化了操作流程,降低操作难度,提高工作效率,且装置结构较为简单,便于检修维护。
附图说明
[0020]图1为本技术提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的立体图;
[0021]图2为本技术提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的正视图;
[0022]图3为本技术提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的俯视图;
[0023]图4为本技术提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的侧视图;
[0024]图5为本技术提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的手持容器示意图。
[0025]图例说明:
[0026]1、主体;2、清洗槽;3、管道仓;4、固定板;5、控制面板;6、控制卡关;7、固定框;8、左右喷管;9、左右配水支管;10、上下配水支管;11、上下喷管;12、总配水管;13、高压水泵;14、进水管;15、喷头;16、下水管;17、出水管;18、仓门;19、把手;20、固定槽;21、固定滑块;22、第一转轴;23、第二转轴;24、第三转轴;25、电动推杆;26、电机;27、连接杆。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]参照图1

5,本技术提供的一种实施例:一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置,包括进水管14,其特征在于:进水管14前端贯穿并固定连接有高压水泵13,高压水泵13输出端贯穿并固定连接有总配水管12,总配水管12前端贯穿并固定连接有上下配水支管10,上下配水支管10顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管9,左右配水支管9与上下配水支管10前端贯穿并固定本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置,包括进水管(14),其特征在于:所述进水管(14)前端贯穿并固定连接有高压水泵(13),所述高压水泵(13)输出端贯穿并固定连接有总配水管(12),所述总配水管(12)前端贯穿并固定连接有上下配水支管(10),所述上下配水支管(10)顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管(9),所述左右配水支管(9)与上下配水支管(10)前端贯穿并固定连接有主体(1),所述主体(1)顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽(2),所述主体(1)前端底部设置有管道仓(3),所述主体(1)顶部后端中间位置固定连接有固定板(4),所述固定板(4)前端左侧中间位置固定连接有控制面板(5),所述固定板(4)前端中间位置固定连接有控制开关(6),所述主体(1)底部前端转动连接有仓门(18),所述左右配水支管(9)前端贯穿并固定连接有左右喷管(8),所述上下配水支管(10)前端贯穿并固定连接有四个上下喷管(11),所述清洗槽(2)底部均贯穿并固定连接有下水管(16),所述主体(1)顶部前端位置有四个均匀排列的固定槽(20),所述固定槽(20)内部均滑动连接有两个固定滑块(21),所述固定滑块(21)相对的一侧均转动连接有第一转轴(22),所述第一转轴(22)后端中间位置均固定连接有第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:侯志刚苗华胜刘在军杨本广
申请(专利权)人:济南晶久电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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