本实用新型专利技术公开了一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体，所述柜体的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块，所述柜体的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板，所述柜体的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板，所述第一安装板的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮，所述第一安装板的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副。本实用新型专利技术中，调节盘通过转动螺丝，螺丝向内移动带动限位杆对硅片进行夹紧，通过固定杆上的弹簧自适应硅片的大小对限位杆进行调节，调节好后的限位杆即可放入硅片，可以对大小不同的硅片进行放置。对大小不同的硅片进行放置。对大小不同的硅片进行放置。
【技术实现步骤摘要】
一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置
[0001]本技术涉及扩散炉领域，尤其涉及一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置。
技术介绍
[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，自动进出料装置应用于硅片生产过程中进行扩散、氧化、退火、装置中的自动控制进出料。
[0003]目前，现有的扩散炉专用自动进出料装置在对硅片进行悬挂携带时，由于没有支撑装置，导致硅片在悬挂杆上容易滑动，进而造成脱落，从而降低了其加工效果，而且现有的扩散炉无法对大小不同的硅片进行放置，故需对拉杆式扩散炉用自动进出料装置进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体，所述柜体的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块，所述柜体的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板，所述柜体的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板，所述第一安装板的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮，所述第一安装板的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副，所述第二安装板的前端位置上固定连接有固定块，所述螺母副的一侧中间位置上贯穿并螺纹连接有螺纹杆且螺纹杆与固定块转动连接，所述螺母副的一侧顶部和底部位置上均贯穿并滑动连接有滑杆且滑杆与固定块固定连接，所述螺母副的前端右侧位置上固定连接有安装架，所述安装架的内壁位置上固定连接有调节盘，所述调节盘的一侧位置上贯穿并设置有分布均匀的限位孔，所述限位孔的内壁位置上滑动连接有限位杆，两个所述限位孔的内壁中间位置上贯穿并设置有固定杆且固定杆与限位杆贯穿并滑动连接，所述固定杆的外壁位置上设置有弹簧。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述柜体的底部四角位置上均固定连接有分布均匀的支撑杆。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述安装块的前端顶部中间位置上贯穿并设置有控制面板。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述柜体的前端中间两侧位置上均转动连接有分布均匀的柜门。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述柜体的左侧中间位置上贯穿并固定连接有分布均匀的固定孔。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述螺纹杆的右侧外壁位置上固定连接有从动皮带轮，所述从动皮带轮与主动皮带轮之间位置上设置有皮带。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述调节盘的外壁位置上贯穿并转动连接有分布均匀的螺丝且螺丝与限位杆贯穿并转动连接。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述固定块的前端底部位置上固定连接有挡板。
[0020]本技术具有如下有益效果：
[0021]1、本技术中，伺服电机输出端转动，带动主动皮带轮转动，带动皮带和从动皮带轮转动，从而带动螺纹杆转动，从而带动螺母副、安装架和调节盘移动，通过滑杆可以防止螺母副转动，通过第二安装板前端固定的固定块和挡板可以防止限位杆移位，可以防止硅片脱落。
[0022]2、本技术中，调节盘通过转动螺丝，螺丝向内移动带动限位杆对硅片进行夹紧，通过固定杆上的弹簧自适应硅片的大小对限位杆进行调节，调节好后的限位杆即可放入硅片，可以对大小不同的硅片进行放置。
附图说明
[0023]图1为本技术提出的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置的正视图；
[0024]图2为本技术提出的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置的剖面图；
[0025]图3为本技术提出的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置的螺母副示意图；
[0026]图4为本技术提出的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置的弹簧示意图。
[0027]图例说明：
[0028]1、柜体；2、支撑杆；3、柜门；4、安装块；5、控制面板；6、固定孔；7、第一安装板；8、第二安装板；9、伺服电机；10、主动皮带轮；11、皮带；12、从动皮带轮；13、螺纹杆；14、滑杆；15、螺母副；16、安装架；17、调节盘；18、限位孔；19、限位杆；20、螺丝；21、固定块；22、挡板；23、固定杆；24、弹簧。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第
二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]参照图1
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4，本技术提供的一种实施例：一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体1，柜体1的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块4，柜体1的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板7，柜体1的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板8，第一安装板7的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机9，伺服电机9的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮10，第一安装板7的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副15，第二安装板8的前端位置上固定连接有固定块21，螺母副15的一侧中间位置上贯穿并螺纹连接有螺纹杆13且螺纹杆13与固定块21转动连接，螺母副15的一侧顶部和底部位置上均贯穿并滑动连接有滑杆14且滑杆14与固定块21固定连接，螺母副15的前端右侧位置上固定连接有安装架16，安装架16的内壁位置上固定连接有调节盘17，调节盘17的一侧位置上贯穿并设置有分布均匀的限位孔18，限位孔18的内壁位置上滑动连接有限位杆19，两个限位孔18的内壁中间位置上贯穿并设置有固定杆23且固定杆23与限位杆19贯穿并滑动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体(1)，其特征在于：所述柜体(1)的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块(4)，所述柜体(1)的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板(7)，所述柜体(1)的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板(8)，所述第一安装板(7)的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮(10)，所述第一安装板(7)的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副(15)，所述第二安装板(8)的前端位置上固定连接有固定块(21)，所述螺母副(15)的一侧中间位置上贯穿并螺纹连接有螺纹杆(13)且螺纹杆(13)与固定块(21)转动连接，所述螺母副(15)的一侧顶部和底部位置上均贯穿并滑动连接有滑杆(14)且滑杆(14)与固定块(21)固定连接，所述螺母副(15)的前端右侧位置上固定连接有安装架(16)，所述安装架(16)的内壁位置上固定连接有调节盘(17)，所述调节盘(17)的一侧位置上贯穿并设置有分布均匀的限位孔(18)，所述限位孔(18)的内壁位置上滑动连接有限位杆(19)，两个所述限位孔(18)的内壁中间位置上贯穿并设置有固定杆(23)且固定杆(23)与限位杆(19)贯穿并滑动连接，所述固定杆(23)的外壁位置上设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨本广，侯志刚，刘在军，苗华胜，
申请(专利权)人：济南晶久电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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