一种低应力镜头配对形成镜头组的方法及光学测量设备技术

本发明专利技术公开了一种低应力镜头配对形成镜头组的方法及光学测量设备，该方法包括测量各候选镜头的应力大小以及快轴方向，从中选择两个应力接近的候选镜头进行配对组成镜头组；将镜头组安装在椭偏仪上的过程中，入射镜头的快轴方向角度为a，将出射镜头快轴方向调整为90

【技术实现步骤摘要】
一种低应力镜头配对形成镜头组的方法及光学测量设备


[0001]本专利技术涉及光学测量领域，具体涉及一种低应力镜头配对形成镜头组的方法及光学测量设备。

技术介绍

[0002]光谱型椭偏仪是检测半导体晶元膜厚的重要工具，为了检测更小的区域，椭偏仪中需要有一对镜头组对样品进行聚焦，经过样品反射后再进行准直。镜头或镜头组是椭偏仪上常用光学器件，镜头和镜头组的应力对测量结果会有一定的影响，尤其是在紫外波段，影响更大。
[0003]镜头中由于镜头材料本身有应力，镜片之间胶合可能产生应力，镜片安装在镜筒内也可能产生应力，因此，新生产的镜头需要放置一段时间以消除或减少应力。但是即便放置一段时间，镜头仍然无法避免会有残余应力。为了使椭偏仪测量效果达到最佳，需要挑选应力较小的镜头。此外，还需要将两个镜头按照一定的角度进行匹配，使得镜头组总Mueller矩阵接近单位矩阵。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种低应力镜头配对形成镜头组的方法及光学测量设备，该方法采用直通Mueller矩阵椭偏仪测量镜头的M本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低应力镜头配对形成镜头组的方法，其特征在于包括：测量各候选镜头的应力大小以及快轴方向，从中选择两个应力接近的候选镜头进行配对组成镜头组；将所述镜头组安装在椭偏仪上的过程中，入射镜头的快轴方向角度为a，将出射镜头快轴方向调整为90
°
+a或90
°‑
a。2.如权利要求1所述的低应力镜头配对形成镜头组的方法，其特征在于：采用直通Mueller矩阵椭偏仪测量镜头的Mueller矩阵以及快轴方向，并采用镜头的快轴与参考方向相同时的Mueller矩阵中的M34元素或M43元素表征镜头的应力大小。3.如权利要求2所述的低应力镜头配对形成镜头组的方法，其特征在于，两个镜头应力接近，指的是两个镜头的Mueller矩阵的M34元素或M43元素的差异小于低应力标准所对应的阈值。4.如权利要求1所述的低应力镜头配对形成镜头组的方法，其特征在于：将配对的两个镜头的一个作为入射镜头另一个作为出射镜头，当入射镜头的快轴方向与参考方向相同且出射镜头的快轴方向与入射镜头的慢轴方向平行时，测量镜头组整体的Mueller矩阵，并判断该矩阵是否为单位矩阵。5.如权利要求2或4所述的低应力镜头配对形成镜头组的方法，其特征在于，采用直通Mue...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄源，杨翼，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：