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本发明公开了一种低应力镜头配对形成镜头组的方法及光学测量设备，该方法包括测量各候选镜头的应力大小以及快轴方向，从中选择两个应力接近的候选镜头进行配对组成镜头组；将镜头组安装在椭偏仪上的过程中，入射镜头的快轴方向角度为a，将出射镜头快轴方向调...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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