MOCVD加热片固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种MOCVD加热片固定装置，属于包装设备技术领域，包括顶盖和底座，顶盖和底座固定连接形成封闭结构，底座上设有定位件，底座上设有缓冲层一，顶盖上与缓冲层一对应位置设有缓冲层二，底座和顶盖形成封闭结构，避免外力干扰，底座内的定位件用于限制MOCVD加热片的移动，避免MOCVD加热片在本装置内移动，缓冲层一和缓冲层二能很好的起到缓震、吸能的作用，避免在运输中因震动而产生裂纹或变形，解决了MOCVD加热片在运输中受到外力而出现裂纹、变形的问题。变形的问题。变形的问题。

【技术实现步骤摘要】
MOCVD加热片固定装置


[0001]本技术属于包装设备
，具体涉及一种MOCVD加热片固定装置。

技术介绍

[0002]金属有机物化学气相沉积Metal Organic Chemical Vapor Deposition，简称MOCVD，是制备混合半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮化物薄膜材料的一种芯片外延技术，加热系统是MOCVD设备的重要组成部分，它能否快速、均匀的加热衬底，直接影响着薄膜沉积的质量、厚度一致性，以及芯片的性能，MOCVD加热片是加热系统的核心部分，其主要作用是提供稳定、均匀的热源，MOCVD加热片的工作温度高，通常采用难容钨、铼等难容金属制备而成，其厚度通常在1mm左右，由于MOCVD加热片厚度较薄、结构为中空，并且钨合金具有一定脆性，MOCVD加热片在包装运输中经常出现裂纹、变形等问题，因此有必要提供一种用于包装运输的MOCVD加热片固定装置，避免在运输中出现裂纹、变形等问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供了MOCVD加热片固定装置，解决了现有技术中MOCVD加热片在包装运输中经常出现裂纹、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MOCVD加热片固定装置，其特征在于，包括顶盖和底座，顶盖和底座固定连接形成封闭结构，底座上设有定位件，定位件用于限制MOCVD加热片的移动，底座上设有缓冲层一，顶盖上与缓冲层一对应位置设有缓冲层二。2.根据权利要求1所述的MOCVD加热片固定装置，其特征在于，底座嵌入顶盖内部，底座与顶盖通过螺钉固定连接，底座和顶盖的横截面为圆形。3.根据权利要求2所述的MOCVD加热片固定装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雪风，郭雅俊，陈亚光，李帅方，张泽洋，念雯雯，
申请(专利权)人：丰联科光电洛阳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：