【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种基板移载装置,尤指一种用在平面显示器制程中的基板移载装置。
技术介绍
在平面显示器制程中,玻璃基板常需要做基板载具间的转移操作。现有技术是用机械手臂或徒手将基板从原基板载具中取出后移到另一载具中,如在2000年6月13日公告的美国专利第6,074,154号所揭露的基板处理系统、基板传送系统及基板传送方法。该基板传送系统包括一基板载具、一放置该基板载具的平台及一传送手臂。该传送手臂将基板从该基板载具中取出送到基板处理系统,并将处理后的基板送到原基板载具中。但是该基板传送系统是一片片将基板从基板载具中取出,当基板需要批量转移时,单位时间内取放的基板数量有限,并且利用机械手臂或徒手将基板在基板载具间转移,容易早成基板缺角、破损等现象,使得废品率升高,生产率降低,因此产品成本较高。因此,有必要提供一种可以批量并且安全转移基板的基板移载装置,用以简化取放动作,降低废品率,提高工作效率,降低成本。
技术实现思路
为了克服现有技术在基板移载过程中废品率高、工作效率低的缺点,本专利技术提供一种可以批量并且安全转移基板的基板移载装置。本专利技术解决其技术问题所采用 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:庄政道,邓建松,杨弘文,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,群创光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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