下载基板移载装置的技术资料

文档序号:3729083

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一种基板移载装置,其包括一第一载具、一第二载具及一平台;该第一载具包括两相对的开口端及一底板,其内设有收容槽以收容基板;该第二载具与第一载具对齐放置,其内设有收容槽以收容基板,其包括一开口端,并且其开口端与第一载具的两开口端之一相对应;该平...
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