一种半导体零部件整形模具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体零部件整形模具，包括：底座，底座的一侧固定安装有定位块，定位块的内部开设有螺纹孔，螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的一端转动连接有活动块，活动块的位于底座的表面，本实用新型专利技术具有以下优点：通过将形变后的聚焦环产品放置在底座的表面，再将活动六棱柱安装到产品形变相应的位置，利用圆柱扳手旋转螺纹杆将活动块逐渐卡紧产品，缓慢挤压，将产品变形的部位通过整体修复的手段来达到恢复原状且不再变形的目的。目的。目的。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体零部件整形模具


[0001]本实用涉及整形模具
，具体涉及一种半导体零部件整形模具。

技术介绍

[0002]物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。该零部件是一种无粘合剂形成的聚焦环，该聚焦环能够在物理气相沉积过程中使得晶圆沉积得更加均匀，聚焦环包括多个六边形孔和多个连接构件。
[0003]进行沉积时需要的尺寸较为精密，PVD制程所使用的聚焦环零部件在沉积晶圆时起关键的作用，其母材为不锈钢，该零部件易变形，在拆卸作业以及设备清洗过程易发生应力作用而导致变形；
[0004]该零部件变形将会影响晶圆的生产，在聚焦环安装之前需要对其进行尺寸的检测，如果不合格则进行整形修复；
[0005]所以这里设计生产了一种半导体零部件整形模具，以便于解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术通过一种半导体零部件整形模具，以便于解决上述
技术介绍
中的问题。
[0007]本技术解决技术问题采用的技术方案是：本技术一种半导体零部件整形模具，包括：底座，所述底座的一侧固定安装有定位块，所述定位块的内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端转动连接有活动块，所述活动块的位于底座的表面，通过螺纹杆转动调节活动块的位置，便于活动块逐渐卡紧产品，缓慢挤压。<br/>[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述螺纹杆的另一端固定安装有导向块，所述导向块的内部开设有通孔，所述通孔的内部滑动插接有圆柱扳手，通过圆柱扳手转动带动导向块进行旋转，从而带动螺纹杆进行转动。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述底座的侧面设置有若干个活动六棱柱，通过活动六棱柱安装到产品形变相应的位置，便于对形变位置进行复位。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述活动块的横截面呈弧形设置，便于活动块与产品的侧面贴合。
[0011]本技术具有以下优点：
[0012]本技术通过将形变后的聚焦环产品放置在底座的表面，再将活动六棱柱安装到产品形变相应的位置，利用圆柱扳手旋转螺纹杆将活动块逐渐卡紧产品，缓慢挤压，将产品变形的部位通过整体修复的手段来达到恢复原状且不再变形的目的。
附图说明
[0013]图1是本技术一优选实施例的一种半导体零部件整形模具的整体结构示意图；
[0014]图2是本技术一优选实施例的一种半导体零部件整形模具活动六棱柱的立体示意图；
[0015]图3是本技术一优选实施例的一种半导体零部件整形模具聚焦环产品的立体示意图。
[0016]附图标记说明：1、底座；2、定位块；3、螺纹杆；4、活动块；5、导向块；6、圆柱扳手；7、活动六棱柱。
具体实施方式
[0017]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语
″
中心
″
、
″
上
″
、
″
下
″
、
″
左
″
、
″
右
″
、
″
竖直
″
、
″
水平
″
、
″
内
″
、
″
外
″
等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语
″
第一
″
、
″
第二
″
、
″
第三
″
仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语
″
安装
″
、
″
相连
″
、
″
连接
″
应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0020]实施例
[0021]请参阅图1
‑
3，本技术一种半导体零部件整形模具，包括：底座1，底座1的一侧固定安装有定位块2，定位块2的内部开设有螺纹孔，螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆3，螺纹杆3的一端转动连接有活动块4，活动块4的位于底座1的表面，通过螺纹杆3转动调节活动块4的位置，便于活动块4逐渐卡紧产品，缓慢挤压。
[0022]其中，导向块5固定安装螺纹杆3的另一端，通孔开设于导向块5的内部，圆柱扳手6滑动插接通孔的内部，通过圆柱扳手6转动带动导向块5进行旋转，从而带动螺纹杆3进行转动，底座1的侧面设置有若干个活动六棱柱7，通过活动六棱柱7安装到产品形变相应的位置，便于对形变位置进行复位，活动块4的横截面呈弧形设置，便于活动块4与产品的侧面贴合。
[0023]工作原理：先将活动块4位置开到最大，将聚焦环产品变形较长的一边对准旋转螺纹杆3方向放在底座1上，再将活动六棱柱7安装到相应的位置，利用圆柱扳手6旋转螺纹杆3将活动块4逐渐卡紧产品，缓慢挤压，将产品变形的部位通过整体修复的手段来达到恢复原状且不再变形的目的。
[0024]以上仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也
应视为本技术的保护范围。
[0025]本技术中其他未详述部分均属于现有技术，故在此不再赘述。
[0026]最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体零部件整形模具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的一侧固定安装有定位块(2)，所述定位块(2)的内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)的一端转动连接有活动块(4)，所述活动块(4)的位于底座(1)的表面。2.如权利要求1所述的一种半导体零部件整形模具，其特征在于，所述螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾仁宝，杨国江，李伟东，朱文健，余箫伟，魏韶华，张牧，徐国俊，薛弘宇，
申请(专利权)人：江苏凯威特斯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：