电磁波吸收薄片及其制造方法技术

本发明专利技术旨在提供能够使电磁波吸收薄片的特性得到进一步提高的电磁波吸收薄片的制造方法等。在该制造方法中，将经过粉碎工序而进行过粉碎扁平化处理的处理粉（Ｐ０）投入离心风力式筛选装置（５０）中，利用在容器（５１）内旋转的气流中所作用的离心力与阻力之差，筛选出扁平状软磁性金属粉（Ｐ１）和未扁平粉（Ｐ２）。然后，去除未扁平粉（Ｐ２），使用扁平状软磁性金属粉（Ｐ１）形成电磁波吸收薄片，由此使其性能得以提高。另外，筛选出的未扁平粉（Ｐ２）优选作为粉碎工序的原料粉加以再利用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在应对电磁噪音的零部件等中使用的电磁波吸收薄片的制造方法等。
技术介绍
以个人电脑、游戏机或者便携式信息终端所代表的数字电子设备为主的电子设备，伴随电路的高频化和高性能化而向着高密度的方向发展，以致无源元件容易受到半导体元件等产生噪音的有源元件的影响。在现有技术中，作为它的应对措施，适应铁氧体磁心和准微波带的电磁波吸收体得以使用，而伴随着电子设备的小型化，要求应对噪音的零部件向小型、薄型以及高性能的方向发展。另一方面，为了满足EMC标准，满足100MHz附近的较低频率的噪音标准则成为重要的课题，从而扩大了适应该频带的电磁波吸收体和小型、应对EMI的零部件的需求。与此相对应，已经提出了一种复合磁体薄片的制造方法(例如参照特开2000-4097号公报)，该方法是将扁平状磁性粉末进行退火处理以降低残余应力，然后使其在面内方向取向，继而在有机粘合剂的玻璃化转变温度Tg或以上的温度下，在垂直于薄片面的方向上加压，藉此谋求共振频率的低频化，从而能够在小于等于100MHz的频率下获得较高的导磁率。但是，这样的有机粘合剂和扁平状磁性粉的复合磁体薄片的导磁率在100MHz下至多为30左右，不易获得较高的导磁率。另外，还提出了一种压粉磁心的制造方法(例如，参照特开平11-74140号公报)，其特征在于使用扁平状的软磁性粉末，通过挤压成形而将其成形为板状。该方法因为扁平状软磁性粉末在挤压方向取向，因此具有可以提高导磁率的优点。当想制造厚度比0.4mm更薄的薄片时，在从狭窄的喷嘴挤出来的同时，还有必要施加张力取下并减薄，从而使提高导磁率变得困难。也就是说，在从狭窄的喷嘴挤出时，为了赋予可以取下这种程度的柔软性，有必要增加树脂量，并降低挤压温度下的粘性，因此，导致磁性粉末的填充量减少，以致不能得到较高的导磁率。另外，还提出了一种不用挤压而采用印刷叠层法和刮刀法(doctorblade)进行减薄的方法(例如参照特开平11-176680号公报、特开平11-176680号公报)。特开平11-176680号公报公开了一种如下的方法，其使用纵横尺寸比为5～40的扁平状的软磁性金属粉和粘合剂，采用印刷叠层法制作出厚度为500μm或以下的薄片，然后重叠该薄片使其厚度为10mm或以下，继而进行加压成形和冲裁，这样便制作出磁芯。但是，即使使用该方法，也因为除了溶剂以外，还使用大量的有机粘合剂，因而难以使软磁性金属粉的填充系数高于75％，另外，伴随着成形将不可避免地产生应力退化，而且也不能进行可以有效地消除残余应力的热处理，因而其结果是在100MHz附近的高频下，不能得到较高的导磁率。另外，特开平11-176680号公报公开了一种复合磁体的制造方法，其使用由扁平状软磁性粉末、粘合剂和溶剂构成的料浆状的混合物进行成膜。该方法的特征在于对于已经消除了应力变形的扁平状软磁性粉末不再施加应力变形而制造复合磁体。但对于像这样不给扁平粉末本身施加变形应力的方法，所存在的缺点包括难以提高材料的填充系数，而且从原理上说，因树脂的固化收缩而产生应力将是不可避免的，因此，不能指望在100MHz附近的高频下获得较高的导磁率。以前的技术都是基于这样一种技术思想，即重点考虑在减少扁平状软磁性金属粉的残余应力之后，于下面的成形工序中，不对该扁平状软磁性金属粉施加过大的应力。这种技术思想实质上具有双重的缺点既不能增大金属粉的填充系数，也不会减少成形体的残余应力，从而在频带达数十MHz～数GHz的高频下，复数导磁率的提高是有限的。与此相对照，本专利技术者已经在特开2002-289414号公报中提出了一种具有下述构成的复合磁体，其是将表面形成有绝缘膜的扁平状软磁性金属粉压接接合在一起，以致在扁平状软磁性金属粉所构成的软磁性金属相之间，隔着一层绝缘膜所构成的绝缘相。根据这样的复合磁体，可以将软磁性金属相相对于复合磁体的填充系数设定为50％或以上，另外，还可以将复合磁体设定成厚度为5μm～0.4mm的薄片状。对于这样的复合磁体，其特性的提高通常是可以期待的。
技术实现思路
本专利技术是基于这样的技术课题而完成的，其目的在于提供能够使电磁波吸收薄片的特性进一步提高的电磁波吸收薄片的制造方法等。本专利技术者以特性的进一步提高为目标，就上述电磁波吸收薄片的制造过程的各个环节反复地进行了潜心的研究。在该研究过程中，于制作扁平状软磁性金属粉时发现该扁平状软磁性金属粉中混有扁平化不充分的粉末(以下称之为“未扁平粉”)，该未扁平粉对特性的退化产生很大的影响。在此完成的本专利技术的电磁波吸收薄片之制造方法的特征在于，其具有下列工序对原料粉进行粉碎和扁平化处理而得到处理粉的工序；将处理粉筛选为具有预定值或以上的纵横尺寸比的软磁性金属粉(a)和低于预定值的纵横尺寸比的软磁性金属粉(b)的工序；在软磁性金属粉(a)的表面形成绝缘膜的工序；将形成有绝缘膜的软磁性金属粉(a)堆积起来，通过施加压力使软磁性金属粉(a)彼此之间接合在一起而生成薄片状生成物的工序；以及将薄片状生成物进行热处理的工序。这样一来，从处理粉中去除低于预定值的纵横尺寸比的软磁性金属粉(b)，而只使用软磁性金属粉(a)获得电磁波吸收薄片，藉此能够使其特性得以提高。可是，以前在扁平状软磁性金属粉的制作工序中，为了使扁平状软磁性金属粉的粒度一致，使用筛网等对扁平状软磁性金属粉进行分级。然而，通过筛网进行的分级不仅使扁平状软磁性金属粉通过筛网，而且也使未扁平粉通过筛网，从而未扁平粉难以去除。于是，筛选处理粉的工序优选将处理粉投入到在容器内旋转的气流中来进行。如果将处理粉投入到在容器内旋转的气流中，则由于纵横尺寸比不同，引起对离心力的阻力也不同，因而纵横尺寸比较小的处理粉与承受更大阻力的纵横尺寸比较大的处理粉相比，更容易在容器内向外周侧移动。由此，可以从容器内的内周部回收软磁性金属粉(a)，而从容器内的外周部回收软磁性金属粉(b)。可是，人们已经知道，从处理粉中回收软磁性金属粉(a)而残留下来的软磁性金属粉(b)，与原料粉几乎保持相同的形状。于是，可以将该软磁性金属粉(b)作为获得处理粉的工序中的原料粉而加以再利用。由此，可以谋求不废弃软磁性金属粉(b)而进行有效的利用。另外，上述那样的将处理粉投入到在容器内旋转的气流中、利用离心力进行筛选的技术思想，不限于软磁性金属粉(a)和(b)，也能够适用于各种粉体的筛选。也就是说，本专利技术也可以设计为一种粉体的筛选方法，其特征在于将形状互不相同的第1粉体和第2粉体的混合物投入到在容器内旋转的气流中，从容器内的内周部回收第1粉体，从容器内的外周部回收第2粉体，藉此筛选出第1粉体和第2粉体。在这种情况下，形状互不相同的第1粉体和第2粉体利用在气流中作用于第1粉体和第2粉体的离心力和阻力之差，能够对第1粉体和第2粉体进行筛选。只要因形状的不同而引起在气流中受作用的阻力不同，第1粉体和第2粉体便可以是任何粉体，在第1粉体比第2粉体具有更大的纵横尺寸比大的情况下，本专利技术是特别有效的。当将这样的、纵横尺寸比不同的第1粉体和第2粉体投入到在容器内旋转的气流中时，正如上面所叙述的那样，由于对离心力的阻力的不同，纵横尺寸比较小的第2粉体在离心力的作用下，容易在容器内向外周部移动，而纵横尺寸比比第2粉体为大的第1粉体能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电磁波吸收薄片的制造方法，其特征在于，具有下列工序：对原料粉进行粉碎和扁平化处理而得到处理粉的工序；将所述处理粉筛选为具有预定值或以上的纵横尺寸比的软磁性金属粉（ａ）和低于预定值的纵横尺寸比的软磁性金属粉（ｂ）的工序；在所述软磁性金属粉（ａ）的表面形成绝缘膜的工序；将形成有所述绝缘膜的所述软磁性金属粉（ａ）堆积起来，通过施加压力使所述软磁性金属粉（ａ）彼此之间接合在一起而生成薄片状生成物的工序；以及将所述薄片状生成物进行热处理的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：守越广树，若山胜彦，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]