一种单晶硅片退火冷却箱制造技术

本实用新型专利技术公开了单晶硅片加工技术领域的一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱，退火箱的内部开设有开口向上的退火腔，退火腔的底部转动连接有转动柱，转动柱的顶端设置有放置组件，转动柱的底端贯穿退火箱并固定连接有电机，退火箱的两侧均固定安装有制冷机，制冷机的出风口与退火腔相连通，退火腔的一侧上部固定安装有温度传感器，退火箱的顶部转动连接有箱盖，箱盖上开设有若干组通风孔，退火箱的底部四角处均固定连接有支撑腿，本实用新型专利技术可以提高单晶硅片退火冷却的效率，同时可以避免外界的环境因素对单晶硅片造成影响，保证了产品的质量。的质量。的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片退火冷却箱


[0001]本技术涉及单晶硅片加工
，具体为一种单晶硅片退火冷却箱。

技术介绍

[0002]单晶硅片用于制造半导体器件、太阳能电池等，在单晶硅片加工生产的过程中，需要对其进行退火处理，将硅片表面附近的氧，从表面挥发脱除，使表面附近的杂质数量减少。目前，现有的单晶硅片退火工艺，是直接将其放置在户外进行冷却退火，这种方式不仅效率较低，且容易受到环境因素的影响，为此，我们提出一种单晶硅片退火冷却箱。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶硅片退火冷却箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱，所述退火箱的内部开设有开口向上的退火腔，所述退火腔的底部转动连接有转动柱，所述转动柱的顶端设置有放置组件，所述转动柱的底端贯穿所述退火箱并固定连接有电机，所述退火箱的两侧均固定安装有制冷机，所述制冷机的出风口与所述退火腔相连通，所述退火腔的一侧上部固定安装有温度传感器，所述退火箱的顶部转动连接有箱盖，所述箱盖上开设有若干组通风孔，所述退火箱的底部四角处均固定连接有支撑腿。
[0005]作为优选，所述放置组件包括放置板，所述放置板固定连接在所述转动柱的顶部，所述放置板的顶部两侧均等距固定连接有固定条，两组所述固定条相互靠近的一侧均开设有插槽。
[0006]作为优选，所述退火箱的正面固定安装有控制器，所述制冷机和所述温度传感器均与所述控制器设置为电性连接。
[0007]作为优选，所述电机通过电机架固定安装在所述退火箱的底部。
[0008]作为优选，所述箱盖的一侧安装有对称平行的两组卡扣，所述退火箱的正面顶部安装有对称平行的两组卡槽，所述卡扣与所述卡槽相适配。
[0009]作为优选，所述通风孔的内壁安装有防尘网。
[0010]作为优选，所述支撑腿的底部固定连接有防滑底座。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术中，通过多组固定条和插槽的配合，方便批量放置单晶硅片，通过启动制冷机将冷气导入到退火腔中，通过启动电机带动转动柱转动，进而带动放置板转动，使得单晶硅片可以被均匀的冷却，提高了退火冷却的效率。
[0013]2、本技术中，通过卡扣和卡槽的配合，可以将箱盖与退火箱进行卡合，进而可以形成一个闭合的整体，通过通风孔内的防尘网起到防尘的作用，避免外界的环境因素对单晶硅片造成影响，保证了产品的质量。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术部分结构剖视图；
[0016]图3为本技术放置组件结构示意图。
[0017]图中：1、退火箱；2、退火腔；3、转动柱；4、放置组件；41、放置板；42、固定条；43、插槽；5、电机；6、制冷机；7、温度传感器；8、控制器；9、箱盖；10、通风孔；11、卡扣；12、卡槽；13、支撑腿；14、防滑底座。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例1：
[0020]请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种技术方案：在单晶片加工生产的过程中有一步退火的工艺，其目的是将硅片表面附近的氧，从其表面挥发脱除，一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱1，退火箱1的内部开设有开口向上的退火腔2，退火腔2的底部转动连接有转动柱3，转动柱3的顶端设置有放置组件4，放置组件4包括放置板41，放置板41固定连接在转动柱3的顶部，放置板41的顶部两侧均等距固定连接有固定条42，两组固定条42相互靠近的一侧均开设有插槽43，转动柱3的底端贯穿退火箱1并固定连接有电机5，电机5通过电机架固定安装在退火箱1的底部，退火箱1的两侧均固定安装有制冷机6，制冷机6为现有的技术，制冷机6的出风口与退火腔2相连通，通过多组固定条42和插槽43的配合，方便批量放置单晶硅片，通过启动制冷机6将冷气导入到退火腔2中，通过启动电机5带动转动柱3转动，进而带动放置板41转动，使得单晶硅片可以被均匀的冷却，提高了退火冷却的效率。
[0021]本实施例中，请参阅图1，退火腔2的一侧上部固定安装有温度传感器7，退火箱1的正面固定安装有控制器8，制冷机6和温度传感器7均与控制器8设置为电性连接，通过温度传感器7可以实时感知退火腔2中的温度，并将温度信号传输至控制器8内，控制器8可以根据预设的温度值对制冷机6进行控制。
[0022]本实施例中，请参阅图1，退火箱1的顶部转动连接有箱盖9，箱盖9的一侧安装有对称平行的两组卡扣11，退火箱1的正面顶部安装有对称平行的两组卡槽12，卡扣11与卡槽12相适配，箱盖9上开设有若干组通风孔10，通风孔10的内壁安装有防尘网，通过卡扣11和卡槽12的配合，可以将箱盖9与退火箱1进行卡合，进而可以形成一个闭合的整体，通过通风孔10内的防尘网起到防尘的作用，避免外界的环境因素对单晶硅片造成影响，保证了产品的质量。
[0023]实施例2：
[0024]请参阅图1，该实施例不同于第一个实施例的是：退火箱1的底部四角处均固定连接有支撑腿13，支撑腿13的底部固定连接有防滑底座14，通过支撑腿13对退火箱1起到支撑的作用，通过防滑底座14起到防滑的作用，避免出现位移的情况。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，
可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱(1)，其特征在于：所述退火箱(1)的内部开设有开口向上的退火腔(2)，所述退火腔(2)的底部转动连接有转动柱(3)，所述转动柱(3)的顶端设置有放置组件(4)，所述转动柱(3)的底端贯穿所述退火箱(1)并固定连接有电机(5)，所述退火箱(1)的两侧均固定安装有制冷机(6)，所述制冷机(6)的出风口与所述退火腔(2)相连通，所述退火腔(2)的一侧上部固定安装有温度传感器(7)，所述退火箱(1)的顶部转动连接有箱盖(9)，所述箱盖(9)上开设有若干组通风孔(10)，所述退火箱(1)的底部四角处均固定连接有支撑腿(13)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于：所述放置组件(4)包括放置板(41)，所述放置板(41)固定连接在所述转动柱(3)的顶部，所述放置板(41)的顶部两侧均等距固定连接有固定条(42)，两组所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张靖，方艺霖，何飞，
申请(专利权)人：扬州永翔新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：