一种单晶硅片退火冷却箱制造技术

本实用新型专利技术公开了单晶硅片加工技术领域的一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱，退火箱的内部开设有开口向上的退火腔，退火腔的底部转动连接有转动柱，转动柱的顶端设置有放置组件，转动柱的底端贯穿退火箱并固定连接有电机，退火箱的两侧均固定安装有制冷机，制冷机的出风口与退火腔相连通，退火腔的一侧上部固定安装有温度传感器，退火箱的顶部转动连接有箱盖，箱盖上开设有若干组通风孔，退火箱的底部四角处均固定连接有支撑腿，本实用新型专利技术可以提高单晶硅片退火冷却的效率，同时可以避免外界的环境因素对单晶硅片造成影响，保证了产品的质量。的质量。的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片退火冷却箱


[0001]本技术涉及单晶硅片加工
，具体为一种单晶硅片退火冷却箱。

技术介绍

[0002]单晶硅片用于制造半导体器件、太阳能电池等，在单晶硅片加工生产的过程中，需要对其进行退火处理，将硅片表面附近的氧，从表面挥发脱除，使表面附近的杂质数量减少。目前，现有的单晶硅片退火工艺，是直接将其放置在户外进行冷却退火，这种方式不仅效率较低，且容易受到环境因素的影响，为此，我们提出一种单晶硅片退火冷却箱。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶硅片退火冷却箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱，所述退火箱的内部开设有开口向上的退火腔，所述退火腔的底部转动连接有转动柱，所述转动柱的顶端设置有放置组件，所述转动柱的底端贯穿所述退火箱并固定连接有电机，所述退火箱的两侧均固定安装有制冷机，所述制冷机的出风口与所述退火腔相连通，所述退火腔的一侧上部固定安装有温度传感器，所述退火箱的顶部转动连接有箱盖，所述箱盖上开设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片退火冷却箱，包括退火箱(1)，其特征在于：所述退火箱(1)的内部开设有开口向上的退火腔(2)，所述退火腔(2)的底部转动连接有转动柱(3)，所述转动柱(3)的顶端设置有放置组件(4)，所述转动柱(3)的底端贯穿所述退火箱(1)并固定连接有电机(5)，所述退火箱(1)的两侧均固定安装有制冷机(6)，所述制冷机(6)的出风口与所述退火腔(2)相连通，所述退火腔(2)的一侧上部固定安装有温度传感器(7)，所述退火箱(1)的顶部转动连接有箱盖(9)，所述箱盖(9)上开设有若干组通风孔(10)，所述退火箱(1)的底部四角处均固定连接有支撑腿(13)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于：所述放置组件(4)包括放置板(41)，所述放置板(41)固定连接在所述转动柱(3)的顶部，所述放置板(41)的顶部两侧均等距固定连接有固定条(42)，两组所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张靖，方艺霖，何飞，
申请(专利权)人：扬州永翔新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：